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公开(公告)号：CN102200439A
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN201110070704.2
申请日：2005-09-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/5628 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种振动型陀螺仪及振动型陀螺仪的制造方法，该振动型陀螺仪可改变使用质量除去装置可除去的最低除去量，从而能够进行固有共振频率的粗调和微调。本发明的振动型陀螺仪的压电振动片(10)由以下部分构成：从基部(12)向相反方向延伸的连接臂(13、14)；从连接臂(13、14)各自的前端沿与连接臂(13、14)正交的方向延伸的驱动臂(15A、15B、15C、15D)；和从基部(12)沿与连接臂(13、14)正交的方向延伸的检测臂(16A、16B)，在驱动臂(15A、15B、15C、15D)及检测臂(16A、16B)各自的前端部上，形成有由锤层(18、20)和电极膜(17)构成的作为质量调节用的调节部的第一锤部(19)和第二锤部(23)。
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公开(公告)号：CN101031775A
公开(公告)日：2007-09-05
申请号：CN200580033373.8
申请日：2005-09-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01C19/5628 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种振动型陀螺仪及振动型陀螺仪的制造方法，该振动型陀螺仪可改变使用质量除去装置可除去的最低除去量，从而能够进行固有共振频率的粗调和微调。本发明的振动型陀螺仪的压电振动片(10)由以下部分构成：从基部(12)向相反方向延伸的连接臂(13、14)；从连接臂(13、14)各自的前端沿与连接臂(13、14)正交的方向延伸的驱动臂(15A、15B、15C、15D)；和从基部(12)沿与连接臂(13、14)正交的方向延伸的检测臂(16A、16B)，在驱动臂(15A、15B、15C、15D)及检测臂(16A、16B)各自的前端部上，形成有由锤层(18、20)和电极膜(17)构成的作为质量调节用的调节部的第一锤部(19)和第二锤部(23)。
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公开(公告)号：CN117792318A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311268674.5
申请日：2023-09-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 振动元件的制造方法，能够容易地形成深度不同的槽。振动元件的制造方法包括：准备工序，准备具有处于正反关系的第一面和第二面的石英基板；第一成膜工序，在所述第一面依次重叠第一基底膜、第二基底膜和第一保护膜而形成第一层叠体；第一构图工序，对所述第一层叠体进行构图，在元件形成区域的除了第一槽形成区域和第二槽形成区域以外的区域上保留第一基底膜、第二基底膜和第一保护膜，在所述第一槽形成区域保留所述第一基底膜和所述第二基底膜，在所述第二槽形成区域保留所述第一基底膜；以及第一干式蚀刻工序，隔着所述第一层叠体从所述第一面侧对所述石英基板进行干式蚀刻。
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公开(公告)号：CN111682847B
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202010156758.X
申请日：2020-03-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供振动器件、电子设备以及移动体，能够抑制大型化并且能够搭载更大的振动元件。振动器件具有：基座；中继基板，其被支承于所述基座；以及振动元件，其被支承于所述中继基板，所述中继基板具有：固定部，其直接或间接地固定于所述基座；载置部，其载置有所述振动元件；以及梁部，其连接所述固定部和所述载置部，所述载置部的与所述振动元件连接的部分在俯视观察以之间夹着所述固定部夹的方式位于所述固定部的两侧。
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公开(公告)号：CN116781028A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202310743336.6
申请日：2020-10-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供振动元件以及振荡器，该振动元件以及振荡器的温度检测精度高。振动元件具有：石英基板，其具有第1振动部和第2振动部；一对第1激励电极，它们在第1振动部处形成在石英基板的两个主面上；以及一对第2激励电极，它们在第2振动部处形成为在石英基板的厚度方向上夹着第2振动部，一对第2激励电极中的至少一个第2激励电极形成在相对于两个主面中的至少一个主面倾斜的倾斜面上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116599482A
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202310559452.2
申请日：2020-07-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H3/04
Abstract: 提供振动器件、电子设备以及移动体，具有优异的检测特性。振动器件具有振动元件以及与振动元件对置地配置的支承基板。支承基板具有：基部，其对振动元件进行支承；支承部，其对基部进行支承；多个梁部，它们连接基部和支承部；以及驱动信号布线、驱动恒定电位布线、检测信号布线以及检测恒定电位布线，它们通过梁部而被引绕到基部和支承部，在规定的梁部处，在振动元件侧的面配置有驱动恒定电位布线和检测恒定电位布线中的至少一方，在相反侧的面配置有检测信号布线。
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公开(公告)号：CN116527007A
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202310674085.0
申请日：2020-08-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供振动器件，该振动器件中的振动元件不易损坏。振动器件具有：振动元件，其具有振动基板和电极，该振动基板具有振动臂，该电极配置于振动基板；基体；支承基板，其具有固定于基体的基体固定部、支承振动元件的元件支承部和将基体固定部与元件支承部连接起来的梁部，该支承基板相对于基体支承振动元件；布线图案，其配置于支承基板，与振动元件电连接；以及缓冲部件，其配置于支承基板的布线图案上，硬度比支承基板低。此外，缓冲部件配置于支承基板的与振动元件相对的面侧，在俯视支承基板时，该缓冲部件与振动臂重叠。
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公开(公告)号：CN110071701B
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN201910052463.5
申请日：2019-01-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H3/02 , H03H9/13 , G01C19/5663 , G01C19/5628 , G01C19/5621 , G01C19/5656
Abstract: 提供振动元件及其制造方法、物理量传感器、惯性计测装置。该振动元件的特征在于，具有：基部；振动臂，所述振动臂从所述基部起延伸，具有臂部和施重部；以及施重膜，所述施重膜配置在所述施重部上，所述施重部具有处于正反关系的第1主面和第2主面，所述施重部的重心位于比所述臂部的厚度方向的中心面靠所述第1主面侧的位置，所述施重膜的重心位于比所述中心面靠所述第2主面侧的位置。
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公开(公告)号：CN116260411A
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202211561611.4
申请日：2022-12-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 振动元件的制造方法。能够一并形成外形和槽。在振动元件的制造方法中，振动元件包括具有第1面和第2面的第1振动臂和第2振动臂，该制造方法包括：准备工序，准备石英基板；第1保护膜形成工序，在石英基板的第1基板面形成第1保护膜；第1干蚀刻工序，隔着第1保护膜进行干蚀刻；第2保护膜形成工序，在石英基板的第2基板面形成第2保护膜；以及第2干蚀刻工序，隔着第2保护膜进行干蚀刻，在第1干蚀刻工序中，从第1面到第2面形成第1振动臂和第2振动臂的外形，在第2干蚀刻工序中，不形成第1振动臂和第2振动臂的外形。
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公开(公告)号：CN112311348B
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202010729813.X
申请日：2020-07-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H3/04
Abstract: 提供振动器件、电子设备以及移动体，具有优异的检测特性。振动器件具有振动元件以及与振动元件对置地配置的支承基板。支承基板具有：基部，其对振动元件进行支承；支承部，其对基部进行支承；多个梁部，它们连接基部和支承部；以及驱动信号布线、驱动恒定电位布线、检测信号布线以及检测恒定电位布线，它们通过梁部而被引绕到基部和支承部，在规定的梁部处，在振动元件侧的面配置有驱动恒定电位布线和检测恒定电位布线中的至少一方，在相反侧的面配置有检测信号布线。
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