-
公开(公告)号:CN107039577A
公开(公告)日:2017-08-11
申请号:CN201610949882.5
申请日:2016-10-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/047 , H01L41/29 , H01L41/297 , B06B1/06
CPC classification number: A61B8/4494 , A61B8/4472 , A61B8/54 , B06B1/0622 , G01S7/5208 , G01S7/52082 , G01S15/8913 , G01S15/8925 , H01L27/20 , H01L41/047 , H01L41/081 , H01L41/0815 , H01L41/0973 , H01L41/1132 , H01L41/1876 , H01L41/27 , H01L41/29 , H01L41/318 , H01L41/319 , H01L41/332 , H01L41/0471 , H01L41/297
Abstract: 提供一种具有高压电特性的压电体的压电元件、压电模块、电子设备以及压电元件的制造方法。接收用换能器(52)具备:挠性部(412D);压电膜(423),设置于挠性部(412D);第一电极(422),设置于挠性部(412D)的设置有压电膜(423)一侧的第一面(412B1)和压电膜(423)的与挠性部(412D)相反一侧的面的第二面(423A)之间;以及第二电极(424),设置于第一面(412B1)和第二面(423A)之间,在从挠性部(412D)的厚度方向观察的俯视下,与第一电极(422)隔着间隙相对。
-
公开(公告)号:CN106923861A
公开(公告)日:2017-07-07
申请号:CN201610856572.9
申请日:2016-09-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B06B1/0603 , A61B8/4444 , A61B8/4494 , B06B1/0622 , G01N29/2437 , A61B8/00 , A61B8/44 , A61B8/4483 , H04R17/00
Abstract: 本发明公开了压电元件、探测器以及超声波测定装置,压电元件(50)包括:振动膜(56);压电体(58),配置在所述振动膜(56)的一面侧;以及水平电极构造,在所述压电体(58)上隔开规定间隔而配置有电极,所述振动膜(56)俯视时在与所述规定间隔相对应的部分具有凹部(第一凹部(64))。
-
公开(公告)号:CN106449964A
公开(公告)日:2017-02-22
申请号:CN201610625908.0
申请日:2016-08-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/047 , H01L41/257 , G01H11/08
CPC classification number: H01L41/257 , B06B1/0662 , H01L41/1138 , H01L41/0471 , G01H11/08
Abstract: 本发明涉及压电元件、探测器、超声波测量装置及极化处理方法。在压电元件上,在压电体的一侧面等间隔并以直线状配置有第一电极、第二电极以及第三电极三个电极。在利用压电效应而接收超声波的情况下,将第一电极与第三电极之间的电位差(电压)作为超声波的检测信号而取出。作为用于利用压电效应的初始化的对压电体的极化处理通过在相邻的电极间按顺序施加规定的同一方向的极化处理用电场而进行。即,首先,在第一电极与第二电极之间施加极化处理用电场V1,接着,在第二电极与第三电极之间施加极化处理用电场V1。此时的极化处理用电场V1成为在第一电极与第三电极之间一次性地施加电场而极化处理的情况下的一半。
-
公开(公告)号:CN106206929A
公开(公告)日:2016-12-07
申请号:CN201610357775.3
申请日:2016-05-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供了压电设备、探测器、电子设备及超声波图像装置,该压电设备(57)具备:弹性膜(58),至少部分形成绝缘性的表面区域(65),至少在表面区域(65)具有非晶质结构或随机取向;压电体(63),设置在所述弹性膜(58)上,具有与弹性膜(58)接触的第一面(63a)以及相反侧的第二面(63b),俯视时在对应于表面区域(65)的取向区域(74)进行(100)择优取向;第一电极二电极(62),设置在压电体(63)的第二面(63b),俯视时与取向区域(74)相对应地在与第一电极(61)之间形成间隙(64)。(61),设置在压电体(63)的第二面(63b);以及第
-
公开(公告)号:CN106052666A
公开(公告)日:2016-10-26
申请号:CN201610181833.1
申请日:2016-03-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5649
CPC classification number: H01L41/0477 , C23C14/0036 , C23C14/025 , C23C14/0641 , C23C14/185 , H01L41/29 , H03H9/02023 , H03H9/0509 , H03H9/0514 , H03H9/0519 , H03H9/0547 , H03H9/131 , H03H9/171 , H03H9/215 , G01C19/5656 , G01C19/5649
Abstract: 本发明提供电子器件、电子器件的制造方法、电子设备以及移动体,具有接合强度高且能够比较简单地制造的金属膜结构。电子器件(100)具有:基材(110);第1金属膜(121),其配置在基材(110)上,含有氮和铬;以及第2金属膜(122),其配置在第1金属膜(121)上,含有金,在第1金属膜(121)中,氮原子的数量是铬原子的数量的20%以上且100%以下。并且,对于第1金属膜(121)中的氮原子的分布,被第1金属膜(121)的基材(110)侧的第1区域和第2金属膜(122)侧的第2区域夹着的第3区域比第1区域和第2区域大。
-
公开(公告)号:CN102180013B
公开(公告)日:2015-04-01
申请号:CN201110008111.3
申请日:2011-01-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/055 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1629 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419
Abstract: 本发明涉及液体喷射头及液体喷射装置,可降低压电元件的应力集中来抑制压电元件的损坏。具备:沿着短边方向并列设置有与喷嘴开口连通的压力发生室的流路形成基板;和压电元件,其在该流路形成基板的一个面侧与压力发生室对应设置,具有第1电极、在第1电极上设置的压电体层及在压电体层上设置的第2电极,第1电极对应于压力发生室独立设置,并且第2电极遍及压力发生室的并列设置方向连续设置,与压力发生室的并列设置方向交叉的方向上,在压电体层的实质上驱动的活性部和实质上不驱动的非活性部的边界的至少一方边界的活性部侧,在第1电极与第2电极之间设置有介电常数比活性部的中央部低的低电介质层。
-
公开(公告)号:CN102310638B
公开(公告)日:2014-08-13
申请号:CN201110191279.2
申请日:2011-07-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1626 , B41J2/1631 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2202/18
Abstract: 本发明提供耐久性提高了的液滴排出头及液滴排出装置。该液滴排出头具备:压力室基板(10),其设置有多个分别连通于喷嘴孔(21)的压力室(11);压电元件(100),其包含在压力室基板的上方依次设置的第一导电层(40)、压电体层(50)及第二导电层(60);俯视具有重叠区域(143),其是压力室、第一导电层、压电体层及第二导电层相重叠的区域;第二导电层俯视与多个压力室重叠而连续地设置;第一导电层在重叠区域以第一方向(210)为较长方向、以与第一方向正交的第二方向(220)为较短方向,按每一重叠区域而设置,且在重叠区域的至少一个第一方向的端侧,具有端部区域(141);端部区域,越朝向第一方向的端缘,其第二方向的宽度越变窄。
-
公开(公告)号:CN103950290A
公开(公告)日:2014-07-30
申请号:CN201410101265.0
申请日:2011-01-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/055 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1629 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419
Abstract: 本发明涉及液体喷射头及液体喷射装置,可降低压电元件的应力集中来抑制压电元件的损坏。具备:沿着短边方向并列设置有与喷嘴开口连通的压力发生室的流路形成基板;和压电元件,其在该流路形成基板的一个面侧与压力发生室对应设置,具有第1电极、在第1电极上设置的压电体层及在压电体层上设置的第2电极,第1电极对应于压力发生室独立设置,并且第2电极遍及压力发生室的并列设置方向连续设置,与压力发生室的并列设置方向交叉的方向上,在压电体层的实质上驱动的活性部和实质上不驱动的非活性部的边界的至少一方边界的活性部侧,在第1电极与第2电极之间设置有介电常数比活性部的中央部低的低电介质层。
-
公开(公告)号:CN102310638A
公开(公告)日:2012-01-11
申请号:CN201110191279.2
申请日:2011-07-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1626 , B41J2/1631 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2202/18
Abstract: 本发明提供耐久性提高了的液滴排出头及液滴排出装置。该液滴排出头具备:压力室基板(10),其设置有多个分别连通于喷嘴孔(21)的压力室(11);压电元件(100),其包含在压力室基板的上方依次设置的第一导电层(40)、压电体层(50)及第二导电层(60);俯视具有重叠区域(143),其是压力室、第一导电层、压电体层及第二导电层相重叠的区域;第二导电层俯视与多个压力室重叠而连续地设置;第一导电层在重叠区域以第一方向(210)为较长方向、以与第一方向正交的第二方向(220)为较短方向,按每一重叠区域而设置,且在重叠区域的至少一个第一方向的端侧,具有端部区域(141);端部区域,越朝向第一方向的端缘,其第二方向的宽度越变窄。
-
公开(公告)号:CN101676109B
公开(公告)日:2011-10-05
申请号:CN200910173568.2
申请日:2009-09-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/04581 , B41J2/04588 , B41J2/055 , B41J2002/14241 , B41J2002/1425 , B41J2002/14266 , B41J2002/14419 , H01L41/0973
Abstract: 本发明提供一种能够减小因反复驱动而引起的变位量的变化率,提高耐久性的液体喷射头及液体喷射装置和执行元件装置。该液体喷射头包括:流路形成基板(10),其形成有与喷射液滴的喷嘴开口连通的压力发生室(12);和压电元件(300),其具备:第一电极(60)、形成在该第一电极上的具有由通式ABO3表示的钙钛矿构造的压电体层(70)、和形成在该压电体层的与第一电极相反侧的第二电极(80);上述压电体层具有单斜晶系构造,上述第一电极(60)及上述第二电极(80)之间产生的电场的方向与上述压电体层的极矩的方向所成的角度,比上述压电体层的压电常数为极大时上述电场的方向与上述压电体层的极矩的方向所成的角度大。
-
-
-
-
-
-
-
-
-