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公开(公告)号：CN112543884B
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN201980051171.8
申请日：2019-04-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的固体浸没式透镜单元具备：固体浸没式透镜，其具有用于抵接于由硅基板构成的半导体器件的抵接面、及配置为与物镜相向的球面，且使具有200nm以上1100nm以下范围内的至少一部分的波长的光透射；固持件，其保持固体浸没式透镜；及光学元件，其以位于物镜与固体浸没式透镜之间的方式通过固持件保持，并修正因硅基板与固体浸没式透镜之间的折射率差所引起的像差。
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公开(公告)号：CN113631981B
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202080025051.3
申请日：2020-03-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 实施方式为安装于显微镜(50)的连接端口(P1)的共聚焦显微镜单元(1)，包括：光源(10a～10d)，其向观察对象的试样(M)输出照射光；光检测器(13a～13d)，其检测根据照射光而从试样产生的观察光；扫描镜(4)，其使照射光在试样(M)上扫描，并将从试样(M)产生的观察光朝向光检测器(13a～13d)引导；扫描透镜(7)，其将由扫描镜(4)扫描的照射光导光至显微镜光学系统，将由显微镜光学系统成像的观察光导光至扫描镜(4)；镜筒(3)，其固定有扫描透镜(7)；配件部(21)，其用于将镜筒(3)安装于连接端口(P1)；和可动部(22)，其以可变更镜筒(3)相对于配件部(21)的角度的方式支撑镜筒(3)。
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公开(公告)号：CN112543884A
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN201980051171.8
申请日：2019-04-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的固体浸没式透镜单元具备：固体浸没式透镜，其具有用于抵接于由硅基板构成的半导体器件的抵接面、及配置为与物镜相向的球面，且使具有200nm以上1100nm以下范围内的至少一部分的波长的光透射；固持件，其保持固体浸没式透镜；及光学元件，其以位于物镜与固体浸没式透镜之间的方式通过固持件保持，并修正因硅基板与固体浸没式透镜之间的折射率差所引起的像差。
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公开(公告)号：CN106415354B
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201580025634.5
申请日：2015-05-18
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明所涉及的显微镜装置1A具备：生物体试样台11，其支撑生物体试样B；物镜12，其与生物体试样台11相对配置；激光光源31，其输出通过物镜12而照射于生物体试样B的光；形状测量单元20，其获取生物体试样B的表面形状；控制单元40，其根据在形状测量单元20中获取的信息制作用于矫正起因于生物体试样B的表面形状的像差的像差校正全息数据；第1空间光调制器33，其呈现基于像差校正全息数据的全息图并调制由激光光源31输出的光；检测器37，其检测在生物体试样B中产生的被检测光L2的强度。由此，可以实现能够抑制在生物体试样内部的照射光的聚光强度的降低以及聚光形状的扩大的显微镜装置以及图像获取方法。
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公开(公告)号：CN105122116B
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201480020178.0
申请日：2014-03-25
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B27/283 , G01N21/6458 , G01N2201/0675 , G02B5/3016 , G02B21/0032 , G02B21/0076 , G02B21/0092 , G02B27/0025 , G02B27/0905
Abstract: 光学模块(1A)具备具有光分支面(11)的偏振光分束器(10A)、分别具有使偏振光面旋转的非互易性的光学活性并且分别配置于透过光分支面(11)的第1偏振光成分(L2)以及在光分支面(11)上被反射的第2偏振光成分(L4)的光路上的偏振光元件(20)以及(40)、调制通过第1偏振光元件(20)的第1偏振光成分(L2)并进行反射的第1反射型SLM(30)、调制通过第2偏振光元件(40)的第2偏振光成分(L4)并进行反射的第2反射型SLM(50)。在再次通过第1偏振光元件(20)之后在光分支面(11)上被反射的第1调制光(L3)和在再次通过第2偏振光元件(40)之后透过光分支面(11)的第2调制光(L5)被互相合波。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101460858B
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：CN200680054968.6
申请日：2006-10-23
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01N21/956 , G01R31/311
CPC classification number: G01R31/311 , G01N21/95607 , G01R31/2894
Abstract: 由取得半导体器件的不良观察图像(P2)的检查信息取得部(11)、取得布图信息的布图信息取得部(12)、进行不良分析的不良分析部(13)构成不良分析装置(10)。不良分析部(13)抽出半导体器件的多个网路中通过从不良观察图像设定的多个分析区域的至少1个的候补网路、以及该候补网路通过分析区域的通过次数，选择通过次数最多的候补网路，以作为第1不良网路，并且，着眼于第1不良网路未通过的分析区域，进行第2不良网路的选择。由此，实现了能够可靠且高效地进行使用不良观察图像的半导体器件的不良的分析的半导体不良分析装置、不良分析方法、以及不良分析程序。
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公开(公告)号：CN100535700C
公开(公告)日：2009-09-02
申请号：CN200480007557.2
申请日：2004-03-19
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01N21/1717 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N2021/0342 , G02B21/02 , G02B21/365
Abstract: 使用由折射率nL的材质形成的具有曲率半径RL的球面状的透镜面10的固浸透镜(SIL)1，观察试料2的像。在该试料观察中，使用规定的光学系评价由SIL 1所产生的几何学像差特性。然后，将系数k(0＜k＜1)设定成满足使其平均像面变为平坦的条件、或使像差特性为良好的条件，由此将包含沿光轴Ax距离透镜面10的球心C仅为k×(RL/nL)的下游侧的点并与光轴Ax垂直的面，作为试料观察面20，使用SIL 1进行试料的观察。由此实现能够使用固浸透镜良好地观察试料的像的试料观察方法及固浸透镜。
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公开(公告)号：CN100520427C
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200480002466.X
申请日：2004-01-16
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01R31/302
CPC classification number: G01R31/311
Abstract: 本发明涉及一种利用激光束检查半导体集成电路等试样的缺陷的激光束检查装置。该激光束检查装置，以间接方式检测与通过对于供给恒电流或施加恒电压的试样照射激光束、并使该激光束沿试样表面扫描而产生的该试样的电阻值变化对应的电流变化或电场变化。例如，该电流变化是，以磁场检测装置检测因在设在恒电压源与试样间的电源线路中流动的电流所产生的磁场变化的方式间接测量，且经检测该磁场变化即可确定试样的缺陷位置。
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公开(公告)号：CN1761902A
公开(公告)日：2006-04-19
申请号：CN200480007557.2
申请日：2004-03-19
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01N21/1717 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N2021/0342 , G02B21/02 , G02B21/365
Abstract: 使用由折射率nL的材质形成的具有曲率半径RL的球面状的透镜面10的固浸透镜(SIL)1，观察试料2的像。在该试料观察中，使用规定的光学系评价由SIL 1所产生的几何学像差特性。然后，将系数k(0＜k＜1)设定成满足使其平均像面变为平坦的条件、或使像差特性为良好的条件，由此将包含沿光轴Ax距离透镜面10的球心C仅为k×(RL/nL)的下游侧的点并与光轴Ax垂直的面，作为试料观察面20，使用SIL 1进行试料的观察。由此实现能够使用固浸透镜良好地观察试料的像的试料观察方法及固浸透镜。
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公开(公告)号：CN113227805B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN201980086066.8
申请日：2019-10-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01R31/302 , G01R31/26 , H01L23/473
Abstract: 本发明的冷却单元用于半导体器件的检查。冷却单元具备用于将半导体器件的热散热的套。在套设置有使来自半导体器件的光通过的光通过部。套具有空间划分面，其在光通过部与半导体器件相对的状态下，与半导体器件相对并在与半导体器件之间划分空间。在套设置有使供给至空间的流体流动的供给流路。
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