公开(公告)号：CN102472369B

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201080032830.2

申请日：2010-07-20

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 藤村和广 ,  南展史

IPC: F16H1/46 ,  B25J9/06 ,  H01L21/677

CPC classification number: B25J9/102 ,  F16H1/06 ,  F16H1/28 ,  F16H1/46 ,  F16H37/041 ,  H01L21/67742

Abstract: 本发明提供一种可以以小段数获得高减速比的旋转传递机构、使用所述旋转传递机构的输送装置、驱动装置。旋转传递机构(10)具有内侧旋转体(1)、与内侧旋转体(1)同轴配置的外侧旋转体(2)。另外，旋转传递机构(10)具有配置于输入端(下段)(10A)的驱动旋转体(5)及旋转体(6)、配置于输出端(上段)(10B)的2个行星旋转体(3)、(4)。旋转传递机构(10)的中央形成有中空部(9)。在输入端(10A)上通过电动机(16)旋转驱动旋转体(5)时，在输出端(10B)上的2个行星旋转体(3)、(4)在自转的同时又绕内侧旋转体(1)的周围公转。此时，行星旋转体(3)、(4)极其缓慢地绕内侧旋转体(1)的周围公转。因此，可以以小段数获得高减速比。其中，中空部(9)被用作例如通过线缆的孔。

公开(公告)号：CN103026479A

公开(公告)日：2013-04-03

申请号：CN201180036140.9

申请日：2011-07-25

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 南展史 ,  武者和博

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/06

CPC classification number: B65G47/92 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/6831

Abstract: 本发明提供一种能够不损害位置精度而迅速转运基板的基板运送方法和基板运送系统。在利用运送机器人的保持面(210)对基板进行的保持中使用静电吸盘机构，以在保持面(210)产生静电吸附力的状态下，从支撑面(303)向保持面(210)转运基板(W)。从而，能够在将基板(W)转移至保持面(210)之后立即通过静电吸附力来保持基板，因此能够快速实行基板(W)的运送操作，能够缩短在处理室之间运送基板的时间。

公开(公告)号：CN101790785B

公开(公告)日：2013-02-06

申请号：CN200880105619.1

申请日：2008-08-27

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 田中保三 ,  汤山纯平 ,  矢作充 ,  南展史 ,  高桥诚 ,  伊藤慎也

IPC: H01L21/68 ,  B05C5/00 ,  B23Q1/00

CPC classification number: B65H1/00 ,  B41J11/06 ,  B65H2405/312 ,  B65H2701/11312 ,  B65H2801/15

Abstract: 提供了一种在正式设置场所的组装精度较高且作业容易的机台装置。在本发明的机台装置(5)中，分别连接于主底座板(11)上的第一、第二主轨道(17a、17b)且使第一、第二主轨道(17a、17b)延长的副轨道(18)设置于各个副底座板(21)上。所以，当对副底座板(21)进行对位并固定于主底座板(11)时，不影响已经固定在主底座板(11)的副底座板(21)的对位精度。

公开(公告)号：CN102725110A

公开(公告)日：2012-10-10

申请号：CN201080052339.6

申请日：2010-11-01

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 南展史

IPC: B25J15/00 ,  B25J15/08 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67742 ,  H01L21/68707

Abstract: 本发明提供一种在输送物及周围的气体环境温度比较低的环境下及该温度较高的环境下都可靠地保持输送物而实现高速输送、并且能够尽量减少输送物的输送时的灰尘的技术。本发明的输送装置（50）具备具有被传递来自驱动源的动力的多个臂的伸缩自如的连杆机构（20）、和经由第3左臂（3L）、第3右臂（3R）连结在连杆机构（20）的动作前端部上、用来载置基板（10）的载置部（5）。在载置部（5）的基板输送方向下游侧的部位上，设有随着连杆机构（20）的动作而与基板（10）的侧部抵接、将基板（10）向朝向连杆机构（20）的方向施力的下游侧施力机构（7），在载置部（5）的基板输送方向上游侧的部位上，设有随着连杆机构（20）的动作、与基板（10）的侧部抵接而将基板（10）向基板输送方向施力的上游侧施力机构（9）。

公开(公告)号：CN101669199B

公开(公告)日：2011-06-15

申请号：CN200880012654.9

申请日：2008-04-15

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 武者和博 ,  南展史 ,  川口崇文

IPC: H01L21/683 ,  B65G49/06 ,  G02F1/13 ,  G09F9/00

CPC classification number: H01L21/6833 ,  B65G49/061 ,  B65G49/067 ,  B65G2249/02 ,  B65G2249/045 ,  G02F1/1303 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/6838

Abstract: 本发明提供一种基板保持机构和具有该保持机构的基板组装装置，该基板组装装置(20)包括支承台(21)和保持机构(22)。支承台(21)用来支承下侧基板(LW)，保持机构(22)包括保持面和功能性元件。上述保持面用来保持上侧基板(UW)的上表面，上述功能性元件设置在上述保持面上，其保持力会根据电压大小的改变而变化。上述保持机构会使上侧基板(UW)的下表面和被上述支承台(21)所支承的下侧基板(LW)的上表面面对。采用上述基板保持机构时，可以对作用给基板(UW)的保持力进行电气控制。可以有助于简化保持机构的结构。此外，由于可以平稳地改变作用给基板(UW)的保持力，所以也能够始终正常地保持或释放厚度较薄的基板。

公开(公告)号：CN102057477A

公开(公告)日：2011-05-11

申请号：CN200980120845.1

申请日：2009-06-03

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 佐藤诚一 ,  矢作充 ,  南展史 ,  武者和博 ,  高桥诚

IPC: H01L21/683 ,  B23Q1/01 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07 ,  H01L21/304 ,  H01L21/68 ,  B05C13/00

CPC classification number: H01L21/68785 ,  B65G49/061 ,  B65G49/065 ,  B65G49/067 ,  B65G2249/045 ,  H01L21/68 ,  H01L21/6838

Abstract: 本发明提供一种具有定位功能的载物台，该载物台即使在处理对象物重量大的情况下，也能够高精度并且容易地进行特别是θ方向的定位，且成本低。该具有定位功能的载物台具有暴露基板(S)处理面并保持基板(S)的载物台本体(4a)，还包括可自由地吸附在与所述的基板处理面相对的另外一面上的吸附装置(8)、向所述吸附装置上吸附位置以外的区域供给气体的气体供给装置(9)和向所述吸附装置施加旋转力使基板以所述吸附装置为旋转中心在同一平面内旋转的驱动装置(10)。

公开(公告)号：CN101790783A

公开(公告)日：2010-07-28

申请号：CN200880105526.9

申请日：2008-08-27

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 田中保三 ,  汤山纯平 ,  矢作充 ,  南展史 ,  高桥诚 ,  伊藤慎也

IPC: H01L21/68 ,  B05C5/00 ,  B23Q1/00

CPC classification number: B65G7/04

Abstract: 提供一种在正式设置场所的对位容易的机台装置。使配置有副底座板(21)的架台(25)承载于台车(22)上而构成副载置台(20a～20d)，利用台车(22)使副底座板(21)移动，并将架台(25)固定在具有主底座板(11)的主载置台(10)。由设置于副载置台(20a～20d)的调整机构(30)对主底座板(11)和副底座板(21)进行对位。由于在主载置台(10)和副载置台(20a～20d)设置有主定位部件(16)和副定位部件(241、242)，因而能够以复原对位状态的方式进行分离。所以，在搬送之后，在组装时容易进行对位。

公开(公告)号：CN101326625B

公开(公告)日：2010-04-21

申请号：CN200780000632.6

申请日：2007-02-23

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 田中保三 ,  汤山纯平 ,  矢作充 ,  南展史

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/682 ,  G03F7/70716 ,  G03F7/70975

Abstract: 本发明的台架装置能分割而进行陆路运输、同时确保对被处理基板进行准确处理。台架装置(11)备有夹着设有被处理基板的基板支承面地相向配置的一对导架(13X1、13X2)、和可移动地支承在该对导架(13X1、13X2)上面的门形架(13Y)。该台架装置(11)由含有一方导架(13X1)的第1构造体(V1)、含有另一方导架(13X2)的第2构造体(V2)、和含有门形架(13Y)的第3构造体(V3)的结合体构成。这样，即使是大型的台架装置，也能自由分离成各构造体(V1～V3)，从而能进行陆路运输。另外，由于在门形架(13Y)的移动路径上没有接缝，故不损害门形架(13Y)的移送精度，可确保准确的基板处理。

公开(公告)号：CN101678970A

公开(公告)日：2010-03-24

申请号：CN200880019238.1

申请日：2008-06-03

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 武者和博 ,  南展史 ,  川口崇文 ,  村上裕彦 ,  中野美尚 ,  江上洋一

IPC: B65G49/07 ,  B25J15/08 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/6838

Abstract: 本发明提供一种既可实现基板搬运高速化又能确保适当的搬运动作的基板托持机构。其中，在末端执行器(14)的托持面(14a)上设置由碳纳米管制成的保持部(15)，并用碳纳米管的顶端来托持基板(W)。此时，基板和碳纳米管间产生分子间相互作用力，基板以对托持面具有一定吸引力的状态受其托持。该吸引力在大气中、空气中都会发生，且单位面积上碳纳米管的根数越多，吸引力越强。根据上述构造，可有效防止托持面上的被搬运物滑动，实现基板搬运的高速化。此外，碳纳米管有很好的耐热性，可防止在高温环境下使用时保持部因热变质或因粘着而引起的搬运不良，可确保适当的基板搬运动作。

公开(公告)号：CN112589807B

公开(公告)日：2023-03-31

申请号：CN202011049143.3

申请日：2020-09-29

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 武者和博 ,  南展史 ,  铃木杰之

IPC: B25J11/00 ,  B25J9/16 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明提供能够扩大设计自由度的基板输送装置和基板输送方法。基板输送装置具备：臂；末端执行器，与所述臂连结；驱动部，使所述臂上升来使所述末端执行器接收基板；以及控制部，对所述驱动部的输出进行控制来变更所述臂的上升速度，所述控制部构成为，一边通过使所述臂以第1速度上升来使所述末端执行器朝向所述基板上升，一边在所述末端执行器开始使所述基板的高度位置上升时，将所述上升速度改变为比所述第1速度低的第2速度。