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公开(公告)号：CN113964265A
公开(公告)日：2022-01-21
申请号：CN202111158194.4
申请日：2021-09-30
Applicant: 复旦大学 , 上海集成电路制造创新中心有限公司
Abstract: 本发明提供了一种约瑟夫森结的制备方法及半导体工艺集成系统，盖方法在制备第一超导金属层后在真空环境下对第一超导金属层表面的自然氧化层进行活性氢还原表面处理，减少或去除第一超导金属层表面的自然氧化层；并且在真空条件下在第一超导金属层表面制备绝缘介质层，由于从活性氢还原表面处理开始的所有操作均在真空条件下进行，因而在减少或去除在第一超导金属层的表面形成的自然氧化层后能够防止第一超导金属层的表面进一步生成新的自然氧化层，从而达到了真正地减少甚至去除第一超导金属层的表面形成的自然氧化层的效果。使得约瑟夫森结的绝缘介质层的厚度更可控，进一步提高了瑟夫森结的阻值的可控度。
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公开(公告)号：CN113394269A
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN202110648672.3
申请日：2021-06-10
Applicant: 上海集成电路制造创新中心有限公司 , 复旦大学
IPC: H01L29/06 , H01L29/161 , H01L29/49 , H01L29/417 , H01L29/78 , H01L21/336
Abstract: 本发明提供了一种源漏接触金属的工艺方法、器件及其制备方法，源漏接触金属的工艺方法，包括：在基底上制作目标鳍片；在所述目标鳍片外外延锗硅材料，形成包围所述目标鳍片的目标锗硅外延层；所述目标锗硅外延层包括位于所述目标鳍片两侧的第一连接角与第二连接角；刻蚀掉所述目标锗硅外延层中的第一锗硅部分与第二锗硅部分，形成源漏的锗硅体层；所述第一锗硅部分包括所述第一连接角，所述第二锗硅部分包括所述第二连接角；在所述锗硅体层外沉积一层硅化物层；形成所述硅化物层与金属的接触连接。
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公开(公告)号：CN112113527B
公开(公告)日：2021-07-13
申请号：CN202011010510.9
申请日：2020-09-23
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于弱刚性薄形零件检测技术领域，具体涉及一种精准测量弱刚性薄形零件厚度的装置及方法。该装置包括基板，基板上设有与基板转动配合的真空回转工作台，真空回转工作台的两侧对称设有两个竖直导轨，两个竖直导轨之间设有横向导轨，横向导轨的两端分别与竖直导轨滑动连接；横向导轨上设有与横向导轨滑动连接的测量探针。本发明通过旋转真空回转工作台和调整测量探针的横向位移，对置于真空回转工作台上的弱刚性薄形零件的两个测量面对应的各个位点的坐标进行螺线式扫描检测，通过计算得到待测零件各个检测位点的厚度值，从而获取弱刚性薄形零件表面的形变信息，对弱刚性薄形零件的加工应用具有重要指导作用。
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公开(公告)号：CN108562241B
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN201810191173.4
申请日：2018-03-08
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于精密光学检测技术领域，具体为基于光纤束的数字全息柔性测量的装置与方法。本发明采用泰曼‑格林干涉光路设计小型测头，在样品处采用伽利略式望远结构扩束，提高测量的横向分辨率；采用可调谐激光器作为光源，通过波长扫描实现干涉移相；干涉信号经过光纤束传输，并由凸透镜像面转换成像到CCD相机上；在计算机中模拟光波的逆衍射过程，经过数字全息重构原始物面的三维像。本发明装置结构紧凑与灵活，可以对大尺寸工件实现全区域扫描测量，还能测量孔、洞、槽等复杂结构的内侧表面；基于数字全息重构可以克服光场衍射的影响，提高测量的分辨率，同时避免显微成像的精确对焦过程，增加实时测量的灵活性。
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公开(公告)号：CN111369455A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN202010124835.3
申请日：2020-02-27
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于视觉测量技术领域，具体为一种基于偏振图像和机器学习的高光物件测量方法。本发明将线偏振片和神经网络算法引入到视觉测量系统中，通过改变偏振角度得到多幅高光强弱不同的图像，从中提取高光像素，将其V通道值作为神经网络算法的训练样本，以进一步抑制高光，最后将所得高光抑制图像导入至立体匹配算法中；本发明能够对具有高反射特性表面的待测物件进行较为准确的视觉测量，通过抑制由外界光源引发的高光现象，提高视觉测量过程中立体匹配的准确率，最终获得更精确的测量结果。实验证明，本发明有效抑制了物件图像的高光，提高了视觉测量中的立体匹配精度，获得了更可靠的深度信息和更精确测量结果。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110966935A
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201911287998.7
申请日：2019-12-15
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于精密测量技术领域，具体为一种基于标志点的偏折测量系统一体化几何标定方法。本发明方法包括：引入一个带标志点的反射镜辅助标定，以实现原位测量需求，克服离轴偏折测量系统中相机无法直接标定屏幕位姿的问题；在中间区域设置参考平面反射镜，其周围区域均匀分布两圈特征圆斑；将转台标定工作与屏幕-相机标定工作融合，利用转台旋转标定板以提供多组姿态方程，用于对测量系统全局优化，并消除平面镜位姿不确定导致的屏幕位姿的歧义问题，实现屏幕-相机位姿的精准标定。本发明可有效估计测量系统的各部件的位姿，包括相机、屏幕和转台，对实现高精度偏折测量技术具有重要意义。
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公开(公告)号：CN108051121B
公开(公告)日：2019-10-15
申请号：CN201711134653.9
申请日：2017-11-16
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种胶合过程在线应力分析装置。其包括瞬态干涉仪、光学扩束系统、胶合单元、数据处理单元、温度控制单元、UV照明单元和应力分析单元；胶合单元经过真空除气、通过UV照明单元固化，通过温度控制单元实施检测；瞬态干涉仪、光学扩束系统和胶合单元的光轴重合，瞬态干涉仪发出的准直光经光学扩束系统扩束后，再经胶合单元反射，回到瞬态干涉仪中输出干涉图，数据处理单元处理干涉图得到干涉图视频图像，数据处理单元、温度控制单元和UV照明单元的数据同时输入到应力分析单元，得到胶合过程中应力随着固化时间、固化温度和光源强度之间的变化关系。采用本发明装置可以快速找出适合不同应用场合的胶合剂，缩短胶合时间。
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公开(公告)号：CN110146032A
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201910436690.8
申请日：2019-05-23
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于精密测量技术领域，具体为一种基于光场分布的合成孔径相机标定方法。本发明方法步骤为：为了克服针孔相机模型的光瞳像差问题，将成像光瞳分割为多个子光瞳，按照实际光场分布，将成像传感器分割为子光瞳对应的不同成像区域；结合合成孔径相机模型联合标定优化，构建一个更符合实际成像过程的相机模型。本发明可有效消除单个针孔成像假设造成的光瞳像差，克服单目视觉的方向歧义性；对于提高摄影测量技术的测量精度有重要意义。
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公开(公告)号：CN106863136B
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201710026894.5
申请日：2017-01-15
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于光学加工技术领域，具体为一种CCOS抛光工艺全频段收敛路径规划方法。该方法的步骤如下：首先根据去除函数和检测得到的面形误差计算加工速度分布矩阵，再根据速度分布矩阵确定路径算法中的初始迭代路径，进而通过路径算法不断地对初始路径进行扩充，通过反复迭代得到加工抛光路径，最终依据得到的抛光路径和驻留时间矩阵生成控制程序，对待加工工件进行CCOS抛光。本发明优点在于能够使机床在沿抛光路径运动时最大程度地保持速率稳定，从而使加工低中频得以更好收敛，另外每次加工时的路径选择均不相同，这有利于面形中频收敛，二者综合使得加工质量得以提高。
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公开(公告)号：CN109855546A
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201811603799.8
申请日：2018-12-26
Applicant: 复旦大学
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域，具体为一种短相干干涉测量透镜中心厚度的系统和方法。本发明公开的短相干干涉测量透镜中心厚度的系统，包括可见激光光源，超辐射发光二极管（SLD）红外光源，隔离器，波分复用器WDM，测量镜头，分光耦合器，环路器，准直镜头，参考反射镜，平衡探测器，数据采集卡，被测透镜等。本发明以一种宽光谱短相干红外激光作为光源，采用干涉的方法，以非接触的形式测量透镜镜片的中心厚度，能够实现快速、高精度的测量；该系统测量精度可以达到5μm。
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