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公开(公告)号：CN108562241B
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN201810191173.4
申请日：2018-03-08
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于精密光学检测技术领域，具体为基于光纤束的数字全息柔性测量的装置与方法。本发明采用泰曼‑格林干涉光路设计小型测头，在样品处采用伽利略式望远结构扩束，提高测量的横向分辨率；采用可调谐激光器作为光源，通过波长扫描实现干涉移相；干涉信号经过光纤束传输，并由凸透镜像面转换成像到CCD相机上；在计算机中模拟光波的逆衍射过程，经过数字全息重构原始物面的三维像。本发明装置结构紧凑与灵活，可以对大尺寸工件实现全区域扫描测量，还能测量孔、洞、槽等复杂结构的内侧表面；基于数字全息重构可以克服光场衍射的影响，提高测量的分辨率，同时避免显微成像的精确对焦过程，增加实时测量的灵活性。
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公开(公告)号：CN108562241A
公开(公告)日：2018-09-21
申请号：CN201810191173.4
申请日：2018-03-08
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于精密光学检测技术领域，具体为基于光纤束的数字全息柔性测量的装置与方法。本发明采用泰曼-格林干涉光路设计小型测头，在样品处采用伽利略式望远结构扩束，提高测量的横向分辨率；采用可调谐激光器作为光源，通过波长扫描实现干涉移相；干涉信号经过光纤束传输，并由凸透镜像面转换成像到CCD相机上；在计算机中模拟光波的逆衍射过程，经过数字全息重构原始物面的三维像。本发明装置结构紧凑与灵活，可以对大尺寸工件实现全区域扫描测量，还能测量孔、洞、槽等复杂结构的内侧表面；基于数字全息重构可以克服光场衍射的影响，提高测量的分辨率，同时避免显微成像的精确对焦过程，增加实时测量的灵活性。
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