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公开(公告)号：CN119481928A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411564473.4
申请日：2024-11-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供一种基于晶体双折射理论和正交解调方案的应用于Pound‑Drever‑Hall(PDH)激光稳频系统中残余幅度噪声的去除方法。包括，基于晶体双折射理论分析了系统中残余幅度噪声产生的原因，优化了PDH模型；进一步根据该模型阐述的噪声产生原因对系统进行优化，首先是针对激光入射偏振角度不固定的问题，在系统中添加偏振控制器对激光输入信号进行约束；其次是针对信号相位漂移而引起的解调信号相位不明确问题，建立正交解调系统，通过实时分析信号相位完成解调相位的更新；最后基于上述工作搭建系统，对PDH频率跟踪系统进行优化。本发明可以解决传统PDH方案中由于残余幅度噪声引起的稳频点消隐、误差曲线扭曲等问题，并最终优化跟踪精度低，长期稳定性差的问题。
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公开(公告)号：CN115420369B
公开(公告)日：2025-01-10
申请号：CN202211002139.0
申请日：2022-08-21
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 中广核研究院有限公司 , 中国广核电力股份有限公司
Abstract: 本发明涉及振动计量技术领域，特别是涉及一种驱动与导向一体的单端侧边励磁圆柱形电磁驱动装置，包括电磁驱动部件和运动部件；电磁驱动部件包括下磁轭、设置于下磁轭上侧的呈环形的永磁体、设置于永磁体上侧的呈环形的上磁轭；下磁轭、永磁体和上磁轭内侧形成运动腔；在下磁轭上且位于运动腔内侧安装有中心磁轭；中心磁轭和上磁轭之间设置有气隙；运动部件包括位于中心磁轭上侧的工作台面，在工作台面靠近中心磁轭的一侧面设置有线圈骨架，线圈骨架滑动套接于中心磁轭的外侧；线圈骨架的外侧壁缠绕有直流线圈和激励线圈。通过采用上述方案，最大程度地降低了运动部件装配难度，并减小了运动部件自重，有效提高了电磁驱动装置的装配精度和驱动能力。
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公开(公告)号：CN119200506A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411317973.8
申请日：2024-09-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/408
Abstract: 一种H桥型精密运动机构二维轨迹协同跟踪系统及方法，涉及精密数控技术领域。X轴反馈控制部分包括反馈控制器Gcx与名义对象Px，Y轴反馈控制部分包括反馈控制器Gcy与名义对象Py，耦合控制部分包括X轴耦合增益、Y轴耦合增益与鲁棒交叉耦合控制器，有无交叉耦合控制分别得到估计轮廓误差εc和ε0，建立估计轮廓误差等效反馈回路，无耦合估计轮廓误差ε0减去等效反馈回路输出得到交叉耦合估计轮廓误差εc，再输入给鲁棒交叉耦合控制器得到等效鲁棒交叉耦合控制器输出，经等效受控对象得到等效反馈回路输出。能够有效地提高轨迹的跟踪精度，具备适应任意轨迹输入的特性，可进行离线设计，设计方法简单，有助于实际应用。
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公开(公告)号：CN119197378A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411418574.0
申请日：2024-10-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明的基于条纹平板的线激光阵列标定方法，包括如下步骤：步骤1、对端齿转子表面进行三维形貌测量；步骤2、线激光传感器测量坐标系间位姿变换线性求解；步骤3、对线激光传感器测量坐标系间位姿变换非线性优化，实现对线激光传感器测量坐标系间位姿关系标定。本发明针对航空发动机端齿结构设计了一种多线激光扫描测量系统，并针对标准球标定存在的精度低，成本高等问题提出使用基于条纹标定板的多线激光测量系统标定模型，标定后实现测量误差不超过2.4微米。
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公开(公告)号：CN119155977A
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202411290280.4
申请日：2024-09-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于多谐振的可见‑红外透明宽带微波吸收光窗属于光学透明电磁屏蔽及微波吸收领域。该光窗由上至下依次堆叠的金属微结构谐振层、透明介质层和金属网栅层构成。金属微结构谐振层由于孔隙和贴片的存在可以产生双谐振频率的电谐振，利用金属微结构谐振层、透明介质层和金属网栅层组成法布里‑珀罗腔，产生法布里‑珀罗腔谐振，利用双谐振频率的电谐振与法布里‑珀罗腔谐振共同作用形成宽带微波吸收。除此之外，本发明金属微结构谐振层和金属网栅层都具有极低的金属占空比，可实现可见‑红外的宽波段高透光。本发明扩展了光学透明宽带微波吸收技术的应用范围，具有耐腐蚀、宽吸收带宽、可见‑红外宽波段透光等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119087779A
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202411061774.5
申请日：2024-08-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B11/42
Abstract: 本发明提出一种超低频气浮隔振系统的自抗扰反馈控制器设计方法，所述方法包括以下步骤：建立本发明中超低频气浮隔振系统的动力学方程；推导出隔振系统的状态空间方程；设计基于状态空间的状态观测器来估计总扰动；将状态空间观测器表示为线性扩展状态观测器；将观测器补偿后的模型简化为单位增益双积分器；针对简化后的模型设计比例微分控制器。本方法不依赖于准确的系统参数，因为其具有线性扩展状态观测器，从而具有更强的抗干扰能力。同时该方法简单易用，有效提高了超低频气浮隔振系统的振动隔离效果。
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公开(公告)号：CN119084510A
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202411064409.X
申请日：2024-08-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F9/02 , F16F9/32 , F16F15/023 , G06F30/17 , G06F119/14
Abstract: 一种气浮式大负载低刚度隔振结构及设计方法，本发明为解决在超精密加工、航空航天技术以及微电子制造中，如何有效的控制和隔离微小振动的问题，本发明包括隔振器上板、隔振器下板、隔振器内腔，所述隔振器内腔位于隔振器上板和隔振器下板之间，且隔振器内腔的上端通过转动件与隔振器上板的下表面中部连接。本发明综合利用气浮支承和空气弹簧的优点，在垂向上兼顾大负载和低刚度的特点，在径向上达到零刚度，具有极高的被动隔振价值；兼顾负载能力大、刚度极低、隔振效高的优点，能满足大负载系统的隔振需求。本发明属于精密仪器振动隔离控制技术领域。
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公开(公告)号：CN115325932B
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202211025556.7
申请日：2022-08-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B9/02055 , G01B11/02
Abstract: 本发明是一种外差激光干涉仪光功率与对比度变化引起探测误差的等效测试装置。本发明涉及外差激光干涉仪探测误差测量技术领域，本发明为了针对外差激光干涉仪光功率和对比度变化引起的探测误差测量困难、干扰因素众多的问题。通过调节干涉光的光功率和对比度等效待测目标的偏摆造成的对比度和光功率降低，能够分离位移、振动、空气扰动等干扰因素的影响。本发明外有着光路简洁、元器件少的特点，利于工程实现，并且在实现难易度、测量精度等方面都具有优势。
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公开(公告)号：CN119065248A
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202411175935.3
申请日：2024-08-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B13/04
Abstract: 一种基于鲁棒优化的超精密运动台故障诊断方法，涉及超精密装备制造技术领域。期望位置信号、位置干扰信号和位置故障信号输入控制系统获得位置信号、控制信号和控制对象；位置信号、控制信号和控制对象输出至故障诊断系统，其中，控制对象进行左互质因式分解获得分解矩阵M(s)和N(s)，M(s)和N(s)分别与位置信号和控制信号相乘再作差获得残余误差；残余误差输入鲁棒故障诊断滤波器获得超精密运动台的故障检测信号，与设定阈值进行对比判断是否发生故障。在保证对故障信号敏感的前提下，对系统不确定性引起的误差和外部干扰具有更好的抑制效果，显著提高故障诊断的鲁棒性和准确性。
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公开(公告)号：CN119062706A
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202411064203.7
申请日：2024-08-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F9/02 , F16F9/32 , F16F13/00 , F16F15/023 , F16F15/03
Abstract: 一种多自由度准零刚度气浮弹簧主动隔振装置，本发明为解决在超精密加工过程中，如何有效隔离振动的问题，本发明包括隔振器上板、隔振器下板、隔振器气腔、主动减振单元和隔振器气腔安装在隔振器上板和隔振器下板之间，隔振器气腔的一侧设有主动减振单元。本发明保证垂向低刚度，水平向准零刚度特点，垂向还可以通过外加气室减小刚度。主动减振单元部分主要包含一个水平电机和垂向电机，可以实现两个方向的主动控制。由三台及以上此隔振装置还可以组装成一个六自由度零刚度的主动隔振系统。兼顾负载能力大、刚度极低、隔振效高的优点，能满足光刻系统的隔振需求。本发明属于精密仪器振动隔离控制技术领域。
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