公开(公告)号：CN119065248B

公开(公告)日：2025-04-08

申请号：CN202411175935.3

申请日：2024-08-26

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 宋法质 ,  韦鹏宇 ,  吴世豪 ,  刘杨 ,  谭久彬

IPC: G05B13/04

Abstract: 一种基于鲁棒优化的超精密运动台故障诊断方法，涉及超精密装备制造技术领域。期望位置信号、位置干扰信号和位置故障信号输入控制系统获得位置信号、控制信号和控制对象；位置信号、控制信号和控制对象输出至故障诊断系统，其中，控制对象进行左互质因式分解获得分解矩阵M(s)和N(s)，M(s)和N(s)分别与位置信号和控制信号相乘再作差获得残余误差；残余误差输入鲁棒故障诊断滤波器获得超精密运动台的故障检测信号，与设定阈值进行对比判断是否发生故障。在保证对故障信号敏感的前提下，对系统不确定性引起的误差和外部干扰具有更好的抑制效果，显著提高故障诊断的鲁棒性和准确性。

公开(公告)号：CN119065248A

公开(公告)日：2024-12-03

申请号：CN202411175935.3

申请日：2024-08-26

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 宋法质 ,  韦鹏宇 ,  吴世豪 ,  刘杨 ,  谭久彬

IPC: G05B13/04

Abstract: 一种基于鲁棒优化的超精密运动台故障诊断方法，涉及超精密装备制造技术领域。期望位置信号、位置干扰信号和位置故障信号输入控制系统获得位置信号、控制信号和控制对象；位置信号、控制信号和控制对象输出至故障诊断系统，其中，控制对象进行左互质因式分解获得分解矩阵M(s)和N(s)，M(s)和N(s)分别与位置信号和控制信号相乘再作差获得残余误差；残余误差输入鲁棒故障诊断滤波器获得超精密运动台的故障检测信号，与设定阈值进行对比判断是否发生故障。在保证对故障信号敏感的前提下，对系统不确定性引起的误差和外部干扰具有更好的抑制效果，显著提高故障诊断的鲁棒性和准确性。