体声波谐振器及声波谐振器

    公开(公告)号:CN114448378A

    公开(公告)日:2022-05-06

    申请号:CN202110768025.6

    申请日:2021-07-07

    Abstract: 提供一种体声波谐振器及声波谐振器。所述体声波谐振器包括:基板;谐振部,包括顺序地堆叠在所述基板上的第一电极、压电层和第二电极;以及温度补偿层,设置在所述压电层的上方和下方中的至少一个处,其中,所述温度补偿层的材料的热膨胀系数的符号与所述压电层的材料的热膨胀系数的符号相反,并且其中,所述温度补偿层的厚度与所述压电层的厚度的关系满足下式:0.25≤温度补偿层的厚度/压电层的厚度≤0.33。

    体声波滤波装置
    24.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114301421A

    公开(公告)日:2022-04-08

    申请号:CN202110770768.7

    申请日:2021-07-08

    Abstract: 本公开提供一种体声波滤波器装置。所述体声波滤波器装置包括:基板;谐振部,在所述基板与所述谐振部之间设置有腔;以及盖,被构造为与所述基板一起形成内部空间,其中,填充气体填充在所述腔和由所述基板和所述盖形成的所述内部空间中的至少一者中,所述填充气体包括氢气和氦气中的至少一种。

    声波谐振器滤波器
    26.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114124018A

    公开(公告)日:2022-03-01

    申请号:CN202110163071.3

    申请日:2021-02-05

    Abstract: 提供一种声波谐振器滤波器。所述声波谐振器滤波器包括:后滤波器,电连接在射频(RF)信号通过的前端口和后端口之间,所述后滤波器包括至少一个薄膜体声波谐振器(FBAR);以及前滤波器,电连接在所述前端口和所述后滤波器之间,并且包括至少一个固态装配型谐振器(SMR)。

    体声波谐振器
    28.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112087215A

    公开(公告)日:2020-12-15

    申请号:CN201911291846.4

    申请日:2019-12-16

    Abstract: 提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括:基板,包括外部连接电极;连接层,连接到所述外部连接电极且设置在所述基板上;第一电极,被设置为覆盖所述连接层的至少一部分;压电层,被设置为覆盖所述第一电极的至少一部分;以及第二电极,被设置为覆盖所述压电层的至少一部分。所述连接层可被设置为围绕腔,并且可连接到所述第一电极和所述第二电极。

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