体声波谐振器
    24.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112468106A

    公开(公告)日:2021-03-09

    申请号:CN202010759286.7

    申请日:2020-07-31

    Abstract: 本公开提供了一种体声波谐振器,所述体声波谐振器包括:谐振器,包括中央部和延伸部,在所述中央部中,第一电极、压电层和第二电极顺序地堆叠在基板上,所述延伸部沿着所述中央部的外周设置;以及插入层,在所述延伸部中设置在所述压电层的下方以使所述压电层升高。所述插入层可具有沿着面向所述中央部的侧表面形成的第一倾斜表面,所述第一电极可具有从所述插入层的所述第一倾斜表面的下端延伸的第二倾斜表面。

    声波谐振器
    25.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111211756A

    公开(公告)日:2020-05-29

    申请号:CN201910931599.3

    申请日:2019-09-29

    Abstract: 本公开提供一种声波谐振器,所述声波谐振器包括:基板;绝缘层,设置在所述基板上;谐振部,设置在所述绝缘层上并且包括堆叠在所述绝缘层上的第一电极、压电层和第二电极;腔,设置在所述绝缘层和所述谐振部之间;突起部,包括设置在所述腔的下表面上的多个突起;以及疏水层,设置在所述腔的上表面和所述突起部的表面上。

    体声波谐振器
    27.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112468106B

    公开(公告)日:2024-06-11

    申请号:CN202010759286.7

    申请日:2020-07-31

    Abstract: 本公开提供了一种体声波谐振器,所述体声波谐振器包括:谐振器,包括中央部和延伸部,在所述中央部中,第一电极、压电层和第二电极顺序地堆叠在基板上,所述延伸部沿着所述中央部的外周设置;以及插入层,在所述延伸部中设置在所述压电层的下方以使所述压电层升高。所述插入层可具有沿着面向所述中央部的侧表面形成的第一倾斜表面,所述第一电极可具有从所述插入层的所述第一倾斜表面的下端延伸的第二倾斜表面。

    声波谐振器
    28.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111211756B

    公开(公告)日:2024-06-11

    申请号:CN201910931599.3

    申请日:2019-09-29

    Abstract: 本公开提供一种声波谐振器,所述声波谐振器包括:基板;绝缘层,设置在所述基板上;谐振部,设置在所述绝缘层上并且包括堆叠在所述绝缘层上的第一电极、压电层和第二电极;腔,设置在所述绝缘层和所述谐振部之间;突起部,包括设置在所述腔的下表面上的多个突起;以及疏水层,设置在所述腔的上表面和所述突起部的表面上。

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