-
公开(公告)号:CN108540103B
公开(公告)日:2022-03-15
申请号:CN201810018188.0
申请日:2018-01-09
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种声波谐振器及制造声波谐振器的方法,所述声波谐振器包括:中央部,在所述中央部中,第一电极、压电层和第二电极顺序地堆叠在基板上;延伸部,从所述中央部向外延伸;及插入层,在所述延伸部中设置在所述压电层下方,其中,所述压电层包括压电部和弯曲部,所述压电部设置在所述中央部中,所述弯曲部设置在所述延伸部中并且根据所述插入层的形状从所述压电部倾斜地延伸。
-
公开(公告)号:CN113746447A
公开(公告)日:2021-12-03
申请号:CN202111060953.3
申请日:2017-08-25
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器和包括该体声波谐振器的滤波器,所述体声波谐振器包括:基板,具有上表面,所述上表面上设置有基板保护层;及膜层,与所述基板一起形成腔,其中,所述基板保护层和所述膜层中的任意一者或两者的厚度偏差为或更小。
-
公开(公告)号:CN107786182B
公开(公告)日:2021-09-28
申请号:CN201710740128.5
申请日:2017-08-25
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器和包括该体声波谐振器的滤波器,所述体声波谐振器包括:基板,具有上表面,所述上表面上设置有基板保护层;及膜层,与所述基板一起形成腔,其中,所述基板保护层和所述膜层中的任意一者或两者的厚度偏差为或更小。
-
公开(公告)号:CN112468106A
公开(公告)日:2021-03-09
申请号:CN202010759286.7
申请日:2020-07-31
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供了一种体声波谐振器,所述体声波谐振器包括:谐振器,包括中央部和延伸部,在所述中央部中,第一电极、压电层和第二电极顺序地堆叠在基板上,所述延伸部沿着所述中央部的外周设置;以及插入层,在所述延伸部中设置在所述压电层的下方以使所述压电层升高。所述插入层可具有沿着面向所述中央部的侧表面形成的第一倾斜表面,所述第一电极可具有从所述插入层的所述第一倾斜表面的下端延伸的第二倾斜表面。
-
公开(公告)号:CN111211756A
公开(公告)日:2020-05-29
申请号:CN201910931599.3
申请日:2019-09-29
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供一种声波谐振器,所述声波谐振器包括:基板;绝缘层,设置在所述基板上;谐振部,设置在所述绝缘层上并且包括堆叠在所述绝缘层上的第一电极、压电层和第二电极;腔,设置在所述绝缘层和所述谐振部之间;突起部,包括设置在所述腔的下表面上的多个突起;以及疏水层,设置在所述腔的上表面和所述突起部的表面上。
-
公开(公告)号:CN109217840A
公开(公告)日:2019-01-15
申请号:CN201810676270.2
申请日:2018-06-27
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种声波谐振器及用于制造声波谐振器的方法。所述声波谐振器包括基板、中央部分、延伸部分和阻挡层。在所述中央部分中,第一电极、压电层和第二电极依次堆叠在所述基板上。所述延伸部分被构造为从所述中央部分延伸并包括设置在所述压电层下方的插入层。所述阻挡层设置在所述第一电极和所述压电层之间。
-
公开(公告)号:CN112468106B
公开(公告)日:2024-06-11
申请号:CN202010759286.7
申请日:2020-07-31
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供了一种体声波谐振器,所述体声波谐振器包括:谐振器,包括中央部和延伸部,在所述中央部中,第一电极、压电层和第二电极顺序地堆叠在基板上,所述延伸部沿着所述中央部的外周设置;以及插入层,在所述延伸部中设置在所述压电层的下方以使所述压电层升高。所述插入层可具有沿着面向所述中央部的侧表面形成的第一倾斜表面,所述第一电极可具有从所述插入层的所述第一倾斜表面的下端延伸的第二倾斜表面。
-
公开(公告)号:CN111211756B
公开(公告)日:2024-06-11
申请号:CN201910931599.3
申请日:2019-09-29
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供一种声波谐振器,所述声波谐振器包括:基板;绝缘层,设置在所述基板上;谐振部,设置在所述绝缘层上并且包括堆叠在所述绝缘层上的第一电极、压电层和第二电极;腔,设置在所述绝缘层和所述谐振部之间;突起部,包括设置在所述腔的下表面上的多个突起;以及疏水层,设置在所述腔的上表面和所述突起部的表面上。
-
-
公开(公告)号:CN108336982B
公开(公告)日:2022-06-03
申请号:CN201810039429.X
申请日:2018-01-16
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器,所述体声波谐振器,包括:基板;膜层,与所述基板一起形成腔;下电极,设置在所述膜层上;压电层,设置在所述下电极的平坦表面上;以及上电极,覆盖所述压电层的部分并使所述压电层的侧部暴露于空气,其中,所述压电层包括台阶部,所述台阶部从所述压电层的所述侧部延伸并设置在所述下电极的所述平坦表面上。
-
-
-
-
-
-
-
-
-