光学模件及其制造方法
    22.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1221827C

    公开(公告)日:2005-10-05

    申请号:CN02128636.1

    申请日:2002-05-08

    Abstract: 提供一种光学模件,其中其上安装有多个光纤或光学部件的一个或多个槽以不同的深度形成,并制造止动孔,以防止钝角现象,从而光轴被准确的对准,还提供了其制造方法。该制造光学模件的方法包括第一蚀刻,以在晶片的第一表面上形成一个或多个槽;以及第二蚀刻,以形成一个或多个止动孔,从而晶片的第二表面被蚀刻而贯通该晶片。该光学模件在基板上具有一个或多个用于安装一个或多个光学部件的槽,包括通过与槽中预定区域相对应的中心区域的底表面贯通而形成的止动孔。

    光学模件及其制造方法
    27.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1402035A

    公开(公告)日:2003-03-12

    申请号:CN02128636.1

    申请日:2002-05-08

    Abstract: 提供一种光学模件,其中其上安装有多个光纤或光学部件的一个或多个槽以不同的深度形成,并制造止动孔,以防止钝角现象,从而光轴被准确的对准,还提供了其制造方法。该制造光学模件的方法包括第一蚀刻,以在晶片的第一表面上形成一个或多个槽;以及第二蚀刻,以形成一个或多个止动孔,从而晶片的第二表面被蚀刻而贯通该晶片。该光学模件在基板上具有一个或多个用于安装一个或多个光学部件的槽,包括通过与槽中预定区域相对应的中心区域的底表面贯通而形成的止动孔。

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