场效应晶体管和制造其的方法
    24.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114141863A

    公开(公告)日:2022-03-04

    申请号:CN202111038495.3

    申请日:2021-09-06

    Abstract: 公开了一种场效应晶体管和制造其的方法。该场效应晶体管包括在衬底上的源电极、与源电极分隔开的漏电极、连接在源电极和漏电极之间的沟道、栅绝缘层、以及栅电极。当在第一截面中看时,沟道可以具有中空闭合的截面结构,第一截面由在垂直于衬底的方向上跨过源电极和漏电极的平面形成。栅绝缘层可以在沟道中。栅电极可以通过栅绝缘层与源电极和漏电极绝缘。

    场效应晶体管
    26.
    发明公开
    场效应晶体管 审中-实审

    公开(公告)号:CN113497138A

    公开(公告)日:2021-10-12

    申请号:CN202011501211.5

    申请日:2020-12-18

    Abstract: 本公开提供了场效应晶体管。一种场效应晶体管包括基板、在基板上且在第一方向上彼此间隔开的源电极和漏电极、多个沟道层、围绕所述多个沟道层中的每个的栅绝缘膜、以及围绕栅绝缘膜的栅电极。所述多个沟道层中的每个具有接触源电极和漏电极的端部。所述多个沟道层在远离基板的第二方向上彼此间隔开。所述多个沟道层包括2D半导体材料。

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