公开(公告)号：CN102954819B

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201210262118.2

申请日：2012-07-26

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 中田明子

IPC: G01F1/88 ,  G05D7/06 ,  G05D16/06

CPC classification number: G01F1/34 ,  G01F25/0053 ,  G05D7/0641

Abstract: 本发明提供一种气体流量检定系统及气体流量检定单元，该气体流量检定系统具有：多条工艺气体管线，其将来自工艺气体供给源的气体经由第一管线截止阀、第二管线截止阀和流量控制仪器向工艺腔室供给；及共用气体管线，其为了将来自共用气体供给源的气体经由第二管线截止阀和流量控制仪器排出，而与工艺气体管线分支连接，在共用气体管线上具备共用截止阀、测定用罐、第一压力传感器和压力调整阀，关闭第一管线截止阀及共用截止阀时，利用第一压力传感器测定测定用罐内的气体的压力降低，从而进行流量控制仪器的流量检定，其中，压力调整阀对该压力调整阀的二次侧压力进行反馈控制。

公开(公告)号：CN102985734B

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201180034294.4

申请日：2011-09-30

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 竹田秀行 ,  池之谷真二 ,  村濑广之

IPC: F16K27/00 ,  F16K7/16 ,  F16K7/17 ,  F16K27/02 ,  F16K31/122

CPC classification number: F16K7/17 ,  F16K7/14 ,  F16K27/0236 ,  F16K31/122

Abstract: 本申请课题在于提供一种能够防止在隔膜阀芯与阀座抵接时发生的阀座支承部的弯曲的流体控制阀。因此，流体控制阀具备具有第一流路和第二流路的树脂制阀主体、与树脂制阀主体的上表面连结的树脂制阀上体、夹持在树脂制阀主体与树脂制阀上体之间的树脂制的隔膜阀芯。而且，第一流路具备一端与第一口连通的第一口连通流路和另一端与阀孔连通的第一阀孔连通流路，第一口连通流路与第一阀孔连通流路连通。此外，树脂制阀主体在阀室、第一口连通流路及第一阀孔连通流路之间具备对阀座进行支承的阀座支承部。另外，阀座支承部具有阀座加强部，阀座加强部由将第一流路内的一部分堵塞的形状形成。

公开(公告)号：CN104455647A

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201410429205.1

申请日：2014-08-28

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 伊藤新治 ,  菊池宏

IPC: F16K31/06

CPC classification number: F16K31/0675

Abstract: 本发明提供一种电磁阀，该电磁阀能确保磁路且能确保可动铁芯的移动冲程。在可动铁芯(36)中，在铁芯部(36a)内部、即在径向内侧，由树脂材料等非磁性材料形成的引导部(37)一体收容于该铁芯部(36a)。此外，以锻造成形铁芯部(36a)后，引导部(37)通过嵌件成型而与该铁芯部36a形成一体化。

公开(公告)号：CN101994871B

公开(公告)日：2015-03-11

申请号：CN201010257300.X

申请日：2010-08-12

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 泷芳久

IPC: F16K31/50 ,  F16K31/53 ,  F16K37/00

CPC classification number: F16K1/385 ,  F16K1/04 ,  F16K31/50 ,  F16K37/0016

Abstract: 一种流量控制器(11)的阀壳(12)形成有螺纹孔(13d)。针形阀体(17)的螺纹部分(17b)旋于螺纹孔(13d)。操作件(21)可旋转地设置在阀壳(12)上。操作件(21)与针形阀体(17)一体旋转。操作件(21)具有保持部(22)，其能保持针形阀体(17)的轴部(17c)，从而所述轴部(17c)能与保持部(22)一体旋转。保持部(22)外圆周处形成齿形部分(23a)。齿形部分(23a)与操作件(21)一体旋转。在阀壳(12)内旋转支撑有齿轮(25)。齿轮(25)与齿形部分(23a)啮合。另外，在所述阀壳(12)内旋转支撑有指示环(26)。指示环(26)与齿轮(25)啮合。第一读数显示于所述指示环(26)的外圆周面上。第一读数显示了针形阀体(17)的旋转圈数。

公开(公告)号：CN103328163B

公开(公告)日：2014-05-07

申请号：CN201180033840.2

申请日：2011-12-27

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 丹羽久信 ,  长沼克幸

IPC: B25J13/08 ,  B25J15/08

CPC classification number: B25J15/0253

Abstract: 夹持装置（11）通过步进马达（24）使第1及第2螺旋弹簧（22、23）旋转而使第1及第2机械手部件（32、33）进行直线移动，通过两个机械手部件（32、33）来夹持工件（W）。夹持装置（11）具备磁传感器（34），磁传感器（34）检测伴随第1及第2机械手部件（32、33）与工件（W）的接触而进行的第1及第2螺旋弹簧（22、23）的收缩。步进马达（24）的控制装置（40）进行这样的控制，以通过磁传感器（34）检测到第1及第2螺旋弹簧（22、23）的收缩为契机，使步进马达（24）旋转预定旋转数之后，使步进马达（24）停止。

公开(公告)号：CN102162544B

公开(公告)日：2013-06-12

申请号：CN201110032170.4

申请日：2011-01-26

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 内藤正博 ,  吉安一智 ,  伊藤慎 ,  梅泽俊祐

IPC: F16K31/04 ,  F16K41/10 ,  F16K51/02

Abstract: 一种电动真空阀(21)，包括：阀部(22)，具有第一端口(51)和第二端口(52)、阀室(53)及阀座(54)；进给螺纹件(34)，与步进电动机(27)连接；轴(36)；进给螺纹机构，由进给螺纹件(34)和轴(36)构成；防旋转单元，防止轴(36)的旋转；阀芯(42)，安装在轴(36)的前端；及复原弹簧(44)，其中，在停电时，在步进电动机(27)的定子和转子间产生定位转矩，复原弹簧(44)的推力大于通过进给螺纹机构将定位转矩变换而成的阻力，由此进行闭阀。

公开(公告)号：CN102985734A

公开(公告)日：2013-03-20

申请号：CN201180034294.4

申请日：2011-09-30

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 竹田秀行 ,  池之谷真二 ,  村濑广之

IPC: F16K27/00 ,  F16K7/16 ,  F16K7/17 ,  F16K27/02 ,  F16K31/122

CPC classification number: F16K7/17 ,  F16K7/14 ,  F16K27/0236 ,  F16K31/122

Abstract: 本申请课题在于提供一种能够防止在隔膜阀芯与阀座抵接时发生的阀座支承部的弯曲的流体控制阀。因此，流体控制阀具备具有第一流路和第二流路的树脂制阀主体、与树脂制阀主体的上表面连结的树脂制阀上体、夹持在树脂制阀主体与树脂制阀上体之间的树脂制的隔膜阀芯。而且，第一流路具备一端与第一口连通的第一口连通流路和另一端与阀孔连通的第一阀孔连通流路，第一口连通流路与第一阀孔连通流路连通。此外，树脂制阀主体在阀室、第一口连通流路及第一阀孔连通流路之间具备对阀座进行支承的阀座支承部。另外，阀座支承部具有阀座加强部，阀座加强部由将第一流路内的一部分堵塞的形状形成。

公开(公告)号：CN101438091B

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN200680054549.2

申请日：2006-06-02

Applicant: 喜开理株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 守谷修司 ,  长冈秀树 ,  冈部庸之 ,  板藤宽 ,  土居广树 ,  伊藤稔

IPC: F16L41/02 ,  F16K27/00 ,  F17D5/00

CPC classification number: F17D1/04 ,  Y10T137/87177 ,  Y10T137/87885

Abstract: 小型、经济的气体供给单元和气体供给系统。气体供给单元(11A)安装在工作气体输送管路上，并且具有通过流路模块(12—17)连通且控制工作气体的流体控制装置(2—6，9)。气体供给单元具有第一流路模块(14)，包括在流体控制装置内的入口开关阀(4)固定至其一侧，且气体供给单元还具有第二流路模块(17)，包括在流体控制装置内的净化阀(9)固定至其一侧。第一流路模块(14)和第二流路模块(17)在垂直于工作气体的输送方向的方向上层叠。入口开关阀(4)和净化阀(9)设置在质量流控制器(5)和安装表面之间，其中所述质量流控制器(5)安装在工作气体输送管路上，单元(11A)安装在所述安装表面内。

公开(公告)号：CN101614283B

公开(公告)日：2012-05-02

申请号：CN200910149809.X

申请日：2009-06-26

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 内藤正博 ,  伊藤慎 ,  市川雅规 ,  小洞匡博

IPC: F16K1/02 ,  F16K1/52 ,  F16K17/36 ,  F16K31/00

Abstract: 本发明提供一种真空阀，其即使在产品组装之后，也能够简单且正确地调整行程调整部件的原点位置。真空阀(1)通过使第一活塞(26)与第二活塞(27)单独移动来改变阀芯(7)的行程，阶段性地控制流量。真空阀(1)在使第二活塞(27)与上盖(22)抵接的状态下将行程调整部件(38)拧入调整螺纹部(11d)直至与第二活塞(27)触碰，用固定螺钉(39)固定行程调整部件(38)，从而调整行程调整部件的原点位置。

公开(公告)号：CN101320275B

公开(公告)日：2012-03-28

申请号：CN200810125402.9

申请日：2008-06-05

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 渡边雅之 ,  宫原诚 ,  梅泽俊祐

IPC: G05D16/16 ,  F16K51/02 ,  F16K17/36 ,  F16K37/00 ,  H01L21/00

CPC classification number: F16K31/0613 ,  Y10T137/7762

Abstract: 一种真空压力控制系统，其包括真空室、真空泵、真空开/关阀、真空压力控制装置和伺服阀，真空泵用于从真空室抽吸气体，真空开/关阀用于通过由从作为动力源的空气供应源所供应的驱动空气改变开度来控制真空室中的真空压力，真空压力控制装置用于控制真空开/关阀，伺服阀用于控制真空开/关阀的开度。