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公开(公告)号：CN101093057A
公开(公告)日：2007-12-26
申请号：CN200710110099.0
申请日：2007-06-22
Applicant: 喜开理株式会社 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: F16K27/003 , F16K7/14 , F16K31/06 , H01L21/31691 , Y10T137/4259 , Y10T137/87885
Abstract: 液体原材料供应单元适于对汽化器供应液体原材料。该单元包括：集管，其内形成有流动通道；和多个流体控制阀，它们安装在集管上且包括：液体原材料控制阀；清洗溶液控制阀；吹扫气体控制阀；和第一引入控制阀，它可连接到汽化器上，用于控制从流动通道到汽化器的流体供应，吹扫气体控制阀、清洗溶液控制阀、液体原材料控制阀、和第一引入控制阀从集管的上游侧按此顺序安装在集管上。流动通道分别连接那些控制阀的阀口，这些阀口与相应控制阀的阀开口连通，而且流动通道构造成允许从吹扫气体控制阀供应来的吹扫气体直接在设置于吹扫气体控制阀下游的清洗溶液控制阀和液体原材料控制阀的阀口中流动。
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公开(公告)号：CN1806216A
公开(公告)日：2006-07-19
申请号：CN200480016146.X
申请日：2004-06-04
Applicant: 喜开理株式会社 , 东京毅力科创株式会社
IPC: G05D16/20
CPC classification number: G05D16/206 , Y10T137/0396 , Y10T137/7761 , Y10T137/87877
Abstract: 一种以简单的构造就能正确调整作用气体的分压比，并且在紧急时能从作用气体供给管路确实抽出作用气体的相对压力控制系统。具有与被供给作用气体的作用气体供给管路连接的多个常开型气动阀(8)、分别与检出气动阀(8)串联连接而检出气动阀(8)输出的压力的压力传感器(3)、根据压力传感器(3)检测出的压力来控制气动阀(8)的操作压力的控制器(25)以及使多个气动阀(8)常时至少1个开阀地关联起来的硬联锁用电磁阀(59)，调整从多个气动阀(8)中给定了的气动阀(8)的开度，按规定的分压比输出作用气体。
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公开(公告)号：CN101438091B
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN200680054549.2
申请日：2006-06-02
Applicant: 喜开理株式会社 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: F17D1/04 , Y10T137/87177 , Y10T137/87885
Abstract: 小型、经济的气体供给单元和气体供给系统。气体供给单元(11A)安装在工作气体输送管路上，并且具有通过流路模块(12—17)连通且控制工作气体的流体控制装置(2—6，9)。气体供给单元具有第一流路模块(14)，包括在流体控制装置内的入口开关阀(4)固定至其一侧，且气体供给单元还具有第二流路模块(17)，包括在流体控制装置内的净化阀(9)固定至其一侧。第一流路模块(14)和第二流路模块(17)在垂直于工作气体的输送方向的方向上层叠。入口开关阀(4)和净化阀(9)设置在质量流控制器(5)和安装表面之间，其中所述质量流控制器(5)安装在工作气体输送管路上，单元(11A)安装在所述安装表面内。
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公开(公告)号：CN101438091A
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：CN200680054549.2
申请日：2006-06-02
Applicant: 喜开理株式会社 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: F17D1/04 , Y10T137/87177 , Y10T137/87885
Abstract: 小型、经济的气体供给单元和气体供给系统。气体供给单元(11A)安装在工作气体输送管路上，并且具有通过流路模块(12－17)连通且控制工作气体的流体控制装置(2－6，9)。气体供给单元具有第一流路模块(14)，包括在流体控制装置内的入口开关阀(4)固定至其一侧，且气体供给单元还具有第二流路模块(17)，包括在流体控制装置内的净化阀(9)固定至其一侧。第一流路模块(14)和第二流路模块(17)在垂直于工作气体的输送方向的方向上层叠。入口开关阀(4)和净化阀(9)设置在质量流控制器(5)和安装表面之间，其中所述质量流控制器(5)安装在工作气体输送管路上，单元(11A)安装在所述安装表面内。
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公开(公告)号：CN100454200C
公开(公告)日：2009-01-21
申请号：CN200480016146.X
申请日：2004-06-04
Applicant: 喜开理株式会社 , 东京毅力科创株式会社
IPC: G05D16/20
CPC classification number: G05D16/206 , Y10T137/0396 , Y10T137/7761 , Y10T137/87877
Abstract: 一种以简单的构造就能正确调整作用气体的分压比，并且在紧急时能从作用气体供给管路确实抽出作用气体的相对压力控制系统。具有与被供给作用气体的作用气体供给管路连接的多个常开型气动阀(8)、分别与检出气动阀(8)串联连接而检出气动阀(8)输出的压力的压力传感器(3)、根据压力传感器(3)检测出的压力来控制气动阀(8)的操作压力的控制器(25)以及使多个气动阀(8)常时至少1个开阀地关联起来的硬联锁用电磁阀(59)，调整从多个气动阀(8)中给定了的气动阀(8)的开度，按规定的分压比输出作用气体。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101093057B
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN200710110099.0
申请日：2007-06-22
Applicant: 喜开理株式会社 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: F16K27/003 , F16K7/14 , F16K31/06 , H01L21/31691 , Y10T137/4259 , Y10T137/87885
Abstract: 液体原材料供应单元适于对汽化器供应液体原材料。该单元包括：集管，其内形成有流动通道；和多个流体控制阀，它们安装在集管上且包括：液体原材料控制阀；清洗溶液控制阀；吹扫气体控制阀；和第一引入控制阀，它可连接到汽化器上，用于控制从流动通道到汽化器的流体供应，吹扫气体控制阀、清洗溶液控制阀、液体原材料控制阀、和第一引入控制阀从集管的上游侧按此顺序安装在集管上。流动通道分别连接那些控制阀的阀口，这些阀口与相应控制阀的阀开口连通，而且流动通道构造成允许从吹扫气体控制阀供应来的吹扫气体直接在设置于吹扫气体控制阀下游的清洗溶液控制阀和液体原材料控制阀的阀口中流动。
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公开(公告)号：CN100582984C
公开(公告)日：2010-01-20
申请号：CN200680020108.0
申请日：2006-05-22
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: G05D7/0647 , G05D7/0658
Abstract: 为了可通过工艺气体进行流量控制设备的高精度的绝对流量检测，具有：排气流路(31)，将第1截止阀(21)和第2截止阀(22)之间的气体流路(30)与真空泵(14)的入口连通；设置在排气流路(31)上的第3截止阀(23)、压力传感器(11)、温度传感器(12)及第3截止阀(24)；检测用控制装置，与它们连接，存储气体种类固有的压缩因数数据以及由质量流量控制器(10)的出口、第2截止阀(22)、第3截止阀(23)形成的预定空间的容积值，其中，根据第1测量时及第2测量时的压力P1、温度T1、与它们对应的第1压缩因数Z1、容积V求得质量G1，根据第2测量时的压力P2、温度T2、与它们对应的第2压缩因数Z2、容积V求得质量G2，通过质量G1和质量G2的差检测出质量流量控制器(10)的绝对流量。
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公开(公告)号：CN101395453B
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN200780008137.X
申请日：2007-02-22
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: G01F1/383 , G01F1/50 , G01F15/005 , G01F25/0007 , Y10T137/0379 , Y10T137/87249
Abstract: 一种能提高气体流量检验可靠性的气体流量检验单元。该气体流量检验单元具有：第一截止阀(12)，其连接至流量控制装置(10)并被输入有气体；第二截止阀(13)，用于排出气体；连通件(18)，用于使第一截止阀(12)和第二截止阀(13)相互连通；压力传感器(14)，用于检测在第一截止阀(12)和第二截止阀(13)之间供应的气体的压力；温度检测器(15)，用于检测在第一截止阀(12)和第二截止阀(13)之间供应的气体的温度；以及控制装置(16)，用于检验在流量控制装置(10)内流动的气体的流动，检验是通过利用压力传感器(14)检测到的压力结果和温度检测器(15)检测到的温度结果而进行的。第一截止阀(12)的阀座(22)与第二截止阀(13)的阀座(28)之间的体积(Vk)等于或小于流量控制装置(10)的出口与第一截止阀(12)的阀座(22)之间的体积(Ve)。
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公开(公告)号：CN101395453A
公开(公告)日：2009-03-25
申请号：CN200780008137.X
申请日：2007-02-22
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: G01F1/383 , G01F1/50 , G01F15/005 , G01F25/0007 , Y10T137/0379 , Y10T137/87249
Abstract: 一种能提高气体流量检验可靠性的气体流量检验单元。该气体流量检验单元具有：第一截止阀(12)，其连接至流量控制装置(10)并被输入有气体；第二截止阀(13)，用于排出气体；连通件(18)，用于使第一截止阀(12)和第二截止阀(13)相互连通；压力传感器(14)，用于检测在第一截止阀(12)和第二截止阀(13)之间供应的气体的压力；温度检测器(15)，用于检测在第一截止阀(12)和第二截止阀(13)之间供应的气体的温度；以及控制装置(16)，用于检验在流量控制装置(10)内流动的气体的流动，检验是通过利用压力传感器(14)检测到的压力结果和温度检测器(15)检测到的温度结果而进行的。第一截止阀(12)的阀座(22)与第二截止阀(13)的阀座(28)之间的体积(Vk)等于或小于流量控制装置(10)的出口与第一截止阀(12)的阀座(22)之间的体积(Ve)。
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公开(公告)号：CN101194215A
公开(公告)日：2008-06-04
申请号：CN200680020108.0
申请日：2006-05-22
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: G05D7/0647 , G05D7/0658
Abstract: 为了可通过工艺气体进行流量控制设备的高精度的绝对流量检测，具有：排气流路(31)，将第1截止阀(21)和第2截止阀(22)之间的气体流路(30)与真空泵(14)的入口连通；设置在排气流路(31)上的第3截止阀(23)、压力传感器(11)、温度传感器(12)及第3截止阀(24)；检测用控制装置，与它们连接，存储气体种类固有的压缩因数数据以及由质量流量控制器(10)的出口、第2截止阀(22)、第3截止阀(23)形成的预定空间的容积值，其中，根据第1测量时及第2测量时的压力P1、温度T1、与它们对应的第1压缩因数Z1、容积V求得质量G1，根据第2测量时的压力P2、温度T2、与它们对应的第2压缩因数Z2、容积V求得质量G2，通过质量G1和质量G2的差检测出质量流量控制器(10)的绝对流量。
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