-
公开(公告)号：CN102954819B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201210262118.2
申请日：2012-07-26
Applicant: 喜开理株式会社
Inventor： 中田明子
CPC classification number: G01F1/34 , G01F25/0053 , G05D7/0641
Abstract: 本发明提供一种气体流量检定系统及气体流量检定单元，该气体流量检定系统具有：多条工艺气体管线，其将来自工艺气体供给源的气体经由第一管线截止阀、第二管线截止阀和流量控制仪器向工艺腔室供给；及共用气体管线，其为了将来自共用气体供给源的气体经由第二管线截止阀和流量控制仪器排出，而与工艺气体管线分支连接，在共用气体管线上具备共用截止阀、测定用罐、第一压力传感器和压力调整阀，关闭第一管线截止阀及共用截止阀时，利用第一压力传感器测定测定用罐内的气体的压力降低，从而进行流量控制仪器的流量检定，其中，压力调整阀对该压力调整阀的二次侧压力进行反馈控制。
-
公开(公告)号：CN101424948B
公开(公告)日：2010-10-27
申请号：CN200810173857.8
申请日：2008-10-29
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: G01F25/0038 , G01F25/0053
Abstract: 流量检验故障诊断设备。一种流量检验故障诊断设备被应用于气体供应管道系统，该气体供应管道系统包括流量控制器件和流量检验单元，该流量检验单元用于通过基于由压力测量器件测量的压力测量流量控制器件的每一个中的流量而探测流量异常。该流量检验故障诊断设备包括故障诊断器件，该故障诊断器件具有在流量检验单元探测到流量异常时诊断压力测量器件中的故障的模式，由此能够增强流量检验的可靠性。
-
公开(公告)号：CN101408276B
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN200810214925.0
申请日：2008-08-29
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: G01F1/34 , G05D7/0635
Abstract: 流量检定系统和流量检定方法。该系统，适合刚在流量控制装置开始流量控制之后就通过检定气体管道系统中的流量检定流量特性，包括第一截止阀、安装在第一截止阀下游的流量控制装置和用于测量流量控制装置下游的压力的压力传感器，基于由压力传感器测量的压力进行流量检定。该系统还包括用于存储基准值的基准值存储装置，基准值通过对在正常的流量控制操作期间由压力传感器测量的压力值进行积分来计算，和异常检测装置，用于当工艺气体通过第一截止阀被供应到流量控制装置、在流量上被流量控制装置控制并被供应到压力传感器时，通过对由压力传感器测量的压力值进行积分计算压力积分值并将压力积分值与基准值进行比较来检测工艺气体的异常流量。
-
公开(公告)号：CN101408276A
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200810214925.0
申请日：2008-08-29
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: G01F1/34 , G05D7/0635
Abstract: 流量检定系统和流量检定方法。该系统，适合刚在流量控制装置开始流量控制之后就通过检定气体管道系统中的流量检定流量特性，包括第一截止阀、安装在第一截止阀下游的流量控制装置和用于测量流量控制装置下游的压力的压力传感器，基于由压力传感器测量的压力进行流量检定。该系统还包括用于存储基准值的基准值存储装置，基准值通过对在正常的流量控制操作期间由压力传感器测量的压力值进行积分来计算，和异常检测装置，用于当工艺气体通过第一截止阀被供应到流量控制装置、在流量上被流量控制装置控制并被供应到压力传感器时，通过对由压力传感器测量的压力值进行积分计算压力积分值并将压力积分值与基准值进行比较来检测工艺气体的异常流量。
-
公开(公告)号：CN100582984C
公开(公告)日：2010-01-20
申请号：CN200680020108.0
申请日：2006-05-22
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: G05D7/0647 , G05D7/0658
Abstract: 为了可通过工艺气体进行流量控制设备的高精度的绝对流量检测，具有：排气流路(31)，将第1截止阀(21)和第2截止阀(22)之间的气体流路(30)与真空泵(14)的入口连通；设置在排气流路(31)上的第3截止阀(23)、压力传感器(11)、温度传感器(12)及第3截止阀(24)；检测用控制装置，与它们连接，存储气体种类固有的压缩因数数据以及由质量流量控制器(10)的出口、第2截止阀(22)、第3截止阀(23)形成的预定空间的容积值，其中，根据第1测量时及第2测量时的压力P1、温度T1、与它们对应的第1压缩因数Z1、容积V求得质量G1，根据第2测量时的压力P2、温度T2、与它们对应的第2压缩因数Z2、容积V求得质量G2，通过质量G1和质量G2的差检测出质量流量控制器(10)的绝对流量。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102954819A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201210262118.2
申请日：2012-07-26
Applicant: 喜开理株式会社
Inventor： 中田明子
CPC classification number: G01F1/34 , G01F25/0053 , G05D7/0641
Abstract: 本发明提供一种气体流量检定系统及气体流量检定单元，该气体流量检定系统具有：多条工艺气体管线，其将来自工艺气体供给源的气体经由第一管线截止阀、第二管线截止阀和流量控制仪器向工艺腔室供给；及共用气体管线，其为了将来自共用气体供给源的气体经由第二管线截止阀和流量控制仪器排出，而与工艺气体管线分支连接，在共用气体管线上具备共用截止阀、测定用罐、第一压力传感器和压力调整阀，关闭第一管线截止阀及共用截止阀时，利用第一压力传感器测定测定用罐内的气体的压力降低，从而进行流量控制仪器的流量检定，其中，压力调整阀对该压力调整阀的二次侧压力进行反馈控制。
-
公开(公告)号：CN101395453B
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN200780008137.X
申请日：2007-02-22
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: G01F1/383 , G01F1/50 , G01F15/005 , G01F25/0007 , Y10T137/0379 , Y10T137/87249
Abstract: 一种能提高气体流量检验可靠性的气体流量检验单元。该气体流量检验单元具有：第一截止阀(12)，其连接至流量控制装置(10)并被输入有气体；第二截止阀(13)，用于排出气体；连通件(18)，用于使第一截止阀(12)和第二截止阀(13)相互连通；压力传感器(14)，用于检测在第一截止阀(12)和第二截止阀(13)之间供应的气体的压力；温度检测器(15)，用于检测在第一截止阀(12)和第二截止阀(13)之间供应的气体的温度；以及控制装置(16)，用于检验在流量控制装置(10)内流动的气体的流动，检验是通过利用压力传感器(14)检测到的压力结果和温度检测器(15)检测到的温度结果而进行的。第一截止阀(12)的阀座(22)与第二截止阀(13)的阀座(28)之间的体积(Vk)等于或小于流量控制装置(10)的出口与第一截止阀(12)的阀座(22)之间的体积(Ve)。
-
公开(公告)号：CN101424948A
公开(公告)日：2009-05-06
申请号：CN200810173857.8
申请日：2008-10-29
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: G01F25/0038 , G01F25/0053
Abstract: 流量检验故障诊断设备、系统、方法及其控制程序产品。一种流量检验故障诊断设备被应用于气体供应管道系统，该气体供应管道系统包括流量控制器件和流量检验单元，该流量检验单元用于通过基于由压力测量器件测量的压力测量流量控制器件的每一个中的流量而探测流量异常。该流量检验故障诊断设备包括故障诊断器件，该故障诊断器件具有在流量检验单元探测到流量异常时诊断压力测量器件中的故障的模式，由此能够增强流量检验的可靠性。
-
公开(公告)号：CN101395453A
公开(公告)日：2009-03-25
申请号：CN200780008137.X
申请日：2007-02-22
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: G01F1/383 , G01F1/50 , G01F15/005 , G01F25/0007 , Y10T137/0379 , Y10T137/87249
Abstract: 一种能提高气体流量检验可靠性的气体流量检验单元。该气体流量检验单元具有：第一截止阀(12)，其连接至流量控制装置(10)并被输入有气体；第二截止阀(13)，用于排出气体；连通件(18)，用于使第一截止阀(12)和第二截止阀(13)相互连通；压力传感器(14)，用于检测在第一截止阀(12)和第二截止阀(13)之间供应的气体的压力；温度检测器(15)，用于检测在第一截止阀(12)和第二截止阀(13)之间供应的气体的温度；以及控制装置(16)，用于检验在流量控制装置(10)内流动的气体的流动，检验是通过利用压力传感器(14)检测到的压力结果和温度检测器(15)检测到的温度结果而进行的。第一截止阀(12)的阀座(22)与第二截止阀(13)的阀座(28)之间的体积(Vk)等于或小于流量控制装置(10)的出口与第一截止阀(12)的阀座(22)之间的体积(Ve)。
-
公开(公告)号：CN101194215A
公开(公告)日：2008-06-04
申请号：CN200680020108.0
申请日：2006-05-22
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: G05D7/0647 , G05D7/0658
Abstract: 为了可通过工艺气体进行流量控制设备的高精度的绝对流量检测，具有：排气流路(31)，将第1截止阀(21)和第2截止阀(22)之间的气体流路(30)与真空泵(14)的入口连通；设置在排气流路(31)上的第3截止阀(23)、压力传感器(11)、温度传感器(12)及第3截止阀(24)；检测用控制装置，与它们连接，存储气体种类固有的压缩因数数据以及由质量流量控制器(10)的出口、第2截止阀(22)、第3截止阀(23)形成的预定空间的容积值，其中，根据第1测量时及第2测量时的压力P1、温度T1、与它们对应的第1压缩因数Z1、容积V求得质量G1，根据第2测量时的压力P2、温度T2、与它们对应的第2压缩因数Z2、容积V求得质量G2，通过质量G1和质量G2的差检测出质量流量控制器(10)的绝对流量。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
10
records
(took 0.024 seconds)
