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公开(公告)号:CN101424948A
公开(公告)日:2009-05-06
申请号:CN200810173857.8
申请日:2008-10-29
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: G01F25/0038 , G01F25/0053
Abstract: 流量检验故障诊断设备、系统、方法及其控制程序产品。一种流量检验故障诊断设备被应用于气体供应管道系统,该气体供应管道系统包括流量控制器件和流量检验单元,该流量检验单元用于通过基于由压力测量器件测量的压力测量流量控制器件的每一个中的流量而探测流量异常。该流量检验故障诊断设备包括故障诊断器件,该故障诊断器件具有在流量检验单元探测到流量异常时诊断压力测量器件中的故障的模式,由此能够增强流量检验的可靠性。
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公开(公告)号:CN101424948B
公开(公告)日:2010-10-27
申请号:CN200810173857.8
申请日:2008-10-29
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: G01F25/0038 , G01F25/0053
Abstract: 流量检验故障诊断设备。一种流量检验故障诊断设备被应用于气体供应管道系统,该气体供应管道系统包括流量控制器件和流量检验单元,该流量检验单元用于通过基于由压力测量器件测量的压力测量流量控制器件的每一个中的流量而探测流量异常。该流量检验故障诊断设备包括故障诊断器件,该故障诊断器件具有在流量检验单元探测到流量异常时诊断压力测量器件中的故障的模式,由此能够增强流量检验的可靠性。
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