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公开(公告)号：CN100427818C
公开(公告)日：2008-10-22
申请号：CN200580012512.9
申请日：2005-04-18
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: F16K31/06
CPC classification number: F16K31/06
Abstract: 本发明提供一种电磁比例阀及其流量特性调整方法，即使在产品组装后也能容易地调整电磁比例阀的流量特性。电磁比例阀(1A)具有：绕线管(16)，卷绕有线圈(17)；第三芯部(15)，固定在绕线管(16)中；主体(2)，具有入口流路(3)和出口流路(4)；阀座(6)，使入口流路(3)和出口流路(4)连通；阀封(12)，开闭阀座(6)；动铁芯(10)，与阀封(12)一体化；板簧(8)，向阀座(6)方向对动铁芯(10)施力；第一芯部(9)，位于绕线管(16)和主体(2)之间；和阀盖(19)，可装卸地覆盖于绕线管(16)上，第三芯部(15)、第一芯部(9)和阀盖(19)围绕在线圈(17)的周围形成磁回路，其中，旋转固定螺钉(22)而使阀盖(19)沿轴方向移动，改变磁回路。
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公开(公告)号：CN101408276B
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN200810214925.0
申请日：2008-08-29
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: G01F1/34 , G05D7/0635
Abstract: 流量检定系统和流量检定方法。该系统，适合刚在流量控制装置开始流量控制之后就通过检定气体管道系统中的流量检定流量特性，包括第一截止阀、安装在第一截止阀下游的流量控制装置和用于测量流量控制装置下游的压力的压力传感器，基于由压力传感器测量的压力进行流量检定。该系统还包括用于存储基准值的基准值存储装置，基准值通过对在正常的流量控制操作期间由压力传感器测量的压力值进行积分来计算，和异常检测装置，用于当工艺气体通过第一截止阀被供应到流量控制装置、在流量上被流量控制装置控制并被供应到压力传感器时，通过对由压力传感器测量的压力值进行积分计算压力积分值并将压力积分值与基准值进行比较来检测工艺气体的异常流量。
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公开(公告)号：CN101160486A
公开(公告)日：2008-04-09
申请号：CN200680012433.2
申请日：2006-03-27
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: F16K1/12 , F16K31/047
Abstract: 本发明的目的在于提供一种流量控制阀，该流量控制阀可减小流路阻力使流体易于流动，可使流体流动稳定化，可快速地变更为准确的阀开度，提高开阀及关阀动作的响应性，延长使用寿命，本发明的特征在于，在流路入口端口(16)、阀体(21)、直线变换机构、流路出口端口(17)配置在直线上的流量控制阀中，具有直线变换机构及阀体(21)，所述直线变换机构具有：传递伺服马达(31)的旋转驱动的滚珠丝杠螺母(27)；将旋转驱动变换为直线驱动的滚珠丝杠(23)；形成有传递直线驱动的花键的滚珠丝杠主轴(26)，所述阀体(21)在流路入口端口(16)及流路出口端口(17)的中心轴方向上平行移动，与滚珠丝杠主轴(26)形成为一体。
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公开(公告)号：CN101414162A
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：CN200810166192.8
申请日：2008-10-15
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: G05B19/04 , G05D7/01 , G05D7/06 , H01L21/00 , C23C16/455
CPC classification number: C23C16/45523 , C23C16/45561 , Y10T137/877
Abstract: 一种用于分配和供应流体的流体分流和供应单元，其适合于及时控制要被分配的流体的流量并迅速地以预先确定好的分流比输出该流体。该流体分流和供应单元包括用于控制流体流量的流量控制装置和多个连接到所述流量控制装置次级侧的开关阀。通过确定与所述开关阀的操作周期相对应的一个循环并以所述分流比对所述一个循环进行时间分割来占空控制所述开关阀打开和关闭。
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公开(公告)号：CN101255929A
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：CN200810081264.9
申请日：2008-02-26
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: F16K27/003 , F15B13/0814 , F15B13/0871 , F16L39/00 , Y10T29/49405 , Y10T137/87885
Abstract: 一种可连接到流体控制装置上的形成有通道的通道块包括：第一块构件，该第一块构件形成有多个第一联接面孔隙；第二块构件，该第二块构件形成有与第一联接面孔隙相对应的多个第二联接面孔隙；第一通道端接触部分，该第一通道端接触部分形成在每个第一联接面孔隙周围；第二通道端接触部分，该第二通道端接触部分形成在每个第二联接面孔隙周围；并且以如下方式设置通道端接触部分，该设置方式使得第一块构件的下表面和第二块构件的上表面布置成彼此相对，从而第一和第二通道端接触部分相互接触，并且第一和第二块构件在压力下被加热，以将所述第一和第二通道端接触部分相互扩散结合。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1946960A
公开(公告)日：2007-04-11
申请号：CN200580012512.9
申请日：2005-04-18
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: F16K31/06
CPC classification number: F16K31/06
Abstract: 本发明目的在于提供一种电磁比例阀的流量特性调整机构以及使用该机构的流量特性调整方法，即使在产品组装后也能容易地调整电磁比例阀的流量特性。电磁比例阀1A具有：绕线管16，卷绕有线圈17；第三芯部15，固定在绕线管16中；主体2，具有入口流路3和出口流路4；阀座6，使入口流路3和出口流路4连通；阀封12，开闭阀座6；动铁芯10，与阀封12一体化；板簧8，向阀座6方向对动铁芯10施力；第一芯部9，位于绕线管16和主体2之间；和阀盖19，可装卸地覆盖于绕线管16上，第三芯部15、第一芯部9和阀盖19围绕在线圈17的周围形成磁回路，其中，旋转固定螺钉22而使阀盖19沿轴方向移动，改变磁回路。
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公开(公告)号：CN101376088B
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN200810211190.6
申请日：2008-09-01
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: G05D11/132 , Y10T137/86461 , Y10T137/87885
Abstract: 流体混合系统和流体混合设备。一种能快速稳定待混合的多种流体的流量的流体混合系统被设置，以混合流体并将其混合物传送到容器。该系统包括多个用于各种流体且将流体传送到所述容器的双位阀。根据分别表明循环中的打开/关闭比的相应占空比而依次地打开和关闭所述双位阀。
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公开(公告)号：CN101255929B
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：CN200810081264.9
申请日：2008-02-26
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: F16K27/003 , F15B13/0814 , F15B13/0871 , F16L39/00 , Y10T29/49405 , Y10T137/87885
Abstract: 一种可连接到流体控制装置上的形成有通道的通道块包括：第一块构件，该第一块构件形成有多个第一联接面孔隙；第二块构件，该第二块构件形成有与第一联接面孔隙相对应的多个第二联接面孔隙；第一通道端接触部分，该第一通道端接触部分形成在每个第一联接面孔隙周围；第二通道端接触部分，该第二通道端接触部分形成在每个第二联接面孔隙周围；并且以如下方式设置通道端接触部分，该设置方式使得第一块构件的下表面和第二块构件的上表面布置成彼此相对，从而第一和第二通道端接触部分相互接触，并且第一和第二块构件在压力下被加热，以将所述第一和第二通道端接触部分相互扩散结合。
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公开(公告)号：CN101414162B
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN200810166192.8
申请日：2008-10-15
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: G05B19/04 , G05D7/01 , G05D7/06 , H01L21/00 , C23C16/455
CPC classification number: C23C16/45523 , C23C16/45561 , Y10T137/877
Abstract: 一种用于分配和供应流体的流体分流和供应单元，其适合于及时控制要被分配的流体的流量并迅速地以预先确定好的分流比输出该流体。该流体分流和供应单元包括用于控制流体流量的流量控制装置和多个连接到所述流量控制装置次级侧的开关阀。通过确定与所述开关阀的操作周期相对应的一个循环并以所述分流比对所述一个循环进行时间分割来占空控制所述开关阀打开和关闭。
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公开(公告)号：CN101408276A
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200810214925.0
申请日：2008-08-29
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: G01F1/34 , G05D7/0635
Abstract: 流量检定系统和流量检定方法。该系统，适合刚在流量控制装置开始流量控制之后就通过检定气体管道系统中的流量检定流量特性，包括第一截止阀、安装在第一截止阀下游的流量控制装置和用于测量流量控制装置下游的压力的压力传感器，基于由压力传感器测量的压力进行流量检定。该系统还包括用于存储基准值的基准值存储装置，基准值通过对在正常的流量控制操作期间由压力传感器测量的压力值进行积分来计算，和异常检测装置，用于当工艺气体通过第一截止阀被供应到流量控制装置、在流量上被流量控制装置控制并被供应到压力传感器时，通过对由压力传感器测量的压力值进行积分计算压力积分值并将压力积分值与基准值进行比较来检测工艺气体的异常流量。
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