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公开(公告)号:CN104514904A
公开(公告)日:2015-04-15
申请号:CN201410522903.6
申请日:2014-09-30
Applicant: 喜开理株式会社
Inventor: 西村康典
CPC classification number: F16K31/04 , F16K31/1262 , F16K31/50 , Y10T137/7758 , F16K31/1245 , F16K37/0091 , Y10S251/903
Abstract: 本发明提供一种空气驱动式截止阀,具有:形成于主体的阀座、与所述阀座抵接或分离的阀芯、与所述阀芯一体地连结的驱动部和供给用于驱动所述驱动部的压缩流体的先导式开闭阀,所述先导式开闭阀具有:(a)第一针型阀、变更所述第一针型阀的开度的第一马达、仅使从所述先导式开闭阀侧流向所述驱动部侧的压缩流体流过的第一止回阀;(b)第二针型阀、变更所述第二针型阀的开度的第二马达、仅使从所述驱动部侧流向所述先导式开闭阀侧的压缩流体流过的第二止回阀。
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公开(公告)号:CN101725752A
公开(公告)日:2010-06-09
申请号:CN200910174923.8
申请日:2009-11-03
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: F16K27/00
Abstract: 本发明提供一种气体供给装置及块状凸缘,该气体供给装置能够供给复杂的工艺气体,能够减小地面占有面积。在具有第一线路及第二线路的气体供给装置(1)中,该第一线路与第一质量流控制器(MB)连接,该第二线路与第二质量流控制器(MC)连接,该第一线路具有供给气体A的第一开闭阀(VB3)及供给气体C的第二开闭阀(VB2),该第二线路具有供给气体B的第三开闭阀(VC3)及供给气体D的第四开闭阀(VC2),在气体供给装置(1)中,气体A和气体B是相同的气体。
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公开(公告)号:CN101093057A
公开(公告)日:2007-12-26
申请号:CN200710110099.0
申请日:2007-06-22
Applicant: 喜开理株式会社 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: F16K27/003 , F16K7/14 , F16K31/06 , H01L21/31691 , Y10T137/4259 , Y10T137/87885
Abstract: 液体原材料供应单元适于对汽化器供应液体原材料。该单元包括:集管,其内形成有流动通道;和多个流体控制阀,它们安装在集管上且包括:液体原材料控制阀;清洗溶液控制阀;吹扫气体控制阀;和第一引入控制阀,它可连接到汽化器上,用于控制从流动通道到汽化器的流体供应,吹扫气体控制阀、清洗溶液控制阀、液体原材料控制阀、和第一引入控制阀从集管的上游侧按此顺序安装在集管上。流动通道分别连接那些控制阀的阀口,这些阀口与相应控制阀的阀开口连通,而且流动通道构造成允许从吹扫气体控制阀供应来的吹扫气体直接在设置于吹扫气体控制阀下游的清洗溶液控制阀和液体原材料控制阀的阀口中流动。
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公开(公告)号:CN101023290A
公开(公告)日:2007-08-22
申请号:CN200580031563.6
申请日:2005-09-05
CPC classification number: F16K27/003 , F15B13/0807 , Y10T29/49405 , Y10T137/2587
Abstract: 本发明提供了一种流程块,其压力损失得以减小,并且可以形成超长流程,而且其重量可以减轻。还提供了生产这种流程块的方法。流程块(1)具有块体(11)和盖子元件(12),该块体内形成有通孔(21)和与该通孔(21)相通的凹槽(22),盖子元件(12)盖住该凹槽(22)。用切削工具调节凹槽(22)的深度和宽度可以减小压力损失,用切削工具形成更长的凹槽(22)并用盖子元件(12)盖住凹槽(22)可以形成超长流程,因为可以用切削工具自由地形成凹槽(22),因此可以形成复杂流程,并且可以减小块体(11)的厚度以减轻其重量。
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公开(公告)号:CN101936420A
公开(公告)日:2011-01-05
申请号:CN201010218305.1
申请日:2010-06-28
Applicant: 喜开理株式会社
Abstract: 本发明提供一种小型电磁阀。小型电磁阀(1)具有螺线管部(2)与主体部(3),所述螺线管部(2)包括线圈(5)、固定在线圈(5)的中空部的固定铁心(6)、被固定铁心(6)吸引的可动铁心(7)、固定设置在可动铁心(7)上的阀芯(9)、以及中空状的外罩(4),所述主体部(3)包括阀芯(9)存在的阀室(33)、与阀室(33)连通的流入路(31)与流出路(32)、形成有流入路(31)与流出路(32)的阀主体(30)、形成在阀主体(30)中且与阀芯(9)抵接/分离的阀座(34)、以及使阀芯(9)与阀座(34)抵接的板簧(8),其中,线圈为扁绕线圈(5),在外罩(4)的侧面形成有扁绕线圈(5)的线圈插入孔(40),由此能够防止线圈发热并提高组装性。
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公开(公告)号:CN100427818C
公开(公告)日:2008-10-22
申请号:CN200580012512.9
申请日:2005-04-18
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: F16K31/06
CPC classification number: F16K31/06
Abstract: 本发明提供一种电磁比例阀及其流量特性调整方法,即使在产品组装后也能容易地调整电磁比例阀的流量特性。电磁比例阀(1A)具有:绕线管(16),卷绕有线圈(17);第三芯部(15),固定在绕线管(16)中;主体(2),具有入口流路(3)和出口流路(4);阀座(6),使入口流路(3)和出口流路(4)连通;阀封(12),开闭阀座(6);动铁芯(10),与阀封(12)一体化;板簧(8),向阀座(6)方向对动铁芯(10)施力;第一芯部(9),位于绕线管(16)和主体(2)之间;和阀盖(19),可装卸地覆盖于绕线管(16)上,第三芯部(15)、第一芯部(9)和阀盖(19)围绕在线圈(17)的周围形成磁回路,其中,旋转固定螺钉(22)而使阀盖(19)沿轴方向移动,改变磁回路。
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公开(公告)号:CN1890496A
公开(公告)日:2007-01-03
申请号:CN200480036690.0
申请日:2004-11-09
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: F16K31/06
CPC classification number: F16K31/0655 , F16K31/0672
Abstract: 一种电磁阀(1),其能够处理腐蚀性控制流体并且能够产生增加的吸力,其中设于缠绕线圈(29)内的固定铁芯突出到该缠绕线圈(29)的下侧;支持阀片(17)的柱塞(16)被板簧(18)支撑在该固定铁芯下方,该阀片(17)在板簧(18)的弹簧力的作用下而一直与阀座(13)保持接触;且通过给缠绕线圈(29)通电,该阀片(17)克服板簧(18)的弹簧力而与阀座(13)分离开。该固定铁芯被分成上下两个部分,设于缠绕线圈(29)内且不与控制流体接触的第一固定铁芯(26)由具有高磁导率的材料制成,而从该缠绕线圈(29)向下突出的第二固定铁芯(27)由抗腐蚀性的材料制成,该材料适应高腐蚀控制流体。
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公开(公告)号:CN101414162A
公开(公告)日:2009-04-22
申请号:CN200810166192.8
申请日:2008-10-15
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: G05B19/04 , G05D7/01 , G05D7/06 , H01L21/00 , C23C16/455
CPC classification number: C23C16/45523 , C23C16/45561 , Y10T137/877
Abstract: 一种用于分配和供应流体的流体分流和供应单元,其适合于及时控制要被分配的流体的流量并迅速地以预先确定好的分流比输出该流体。该流体分流和供应单元包括用于控制流体流量的流量控制装置和多个连接到所述流量控制装置次级侧的开关阀。通过确定与所述开关阀的操作周期相对应的一个循环并以所述分流比对所述一个循环进行时间分割来占空控制所述开关阀打开和关闭。
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公开(公告)号:CN100434783C
公开(公告)日:2008-11-19
申请号:CN200480036690.0
申请日:2004-11-09
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: F16K31/06
CPC classification number: F16K31/0655 , F16K31/0672
Abstract: 一种电磁阀(1),其能够处理腐蚀性控制流体并且能够产生增加的吸力,其中设于缠绕线圈(29)内的固定铁芯突出到该缠绕线圈(29)的下侧;支持阀片(17)的柱塞(16)被板簧(18)支撑在该固定铁芯下方,该阀片(17)在板簧(18)的弹簧力的作用下而一直与阀座(13)保持接触;且通过给缠绕线圈(29)通电,该阀片(17)克服板簧(18)的弹簧力而与阀座(13)分离开。该固定铁芯被分成上下两个部分,设于缠绕线圈(29)内且不与控制流体接触的第一固定铁芯(26)由具有高磁导率的材料制成,而从该缠绕线圈(29)向下突出的第二固定铁芯(27)由抗腐蚀性的材料制成,该材料适应高腐蚀控制流体。
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公开(公告)号:CN1946960A
公开(公告)日:2007-04-11
申请号:CN200580012512.9
申请日:2005-04-18
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: F16K31/06
CPC classification number: F16K31/06
Abstract: 本发明目的在于提供一种电磁比例阀的流量特性调整机构以及使用该机构的流量特性调整方法,即使在产品组装后也能容易地调整电磁比例阀的流量特性。电磁比例阀1A具有:绕线管16,卷绕有线圈17;第三芯部15,固定在绕线管16中;主体2,具有入口流路3和出口流路4;阀座6,使入口流路3和出口流路4连通;阀封12,开闭阀座6;动铁芯10,与阀封12一体化;板簧8,向阀座6方向对动铁芯10施力;第一芯部9,位于绕线管16和主体2之间;和阀盖19,可装卸地覆盖于绕线管16上,第三芯部15、第一芯部9和阀盖19围绕在线圈17的周围形成磁回路,其中,旋转固定螺钉22而使阀盖19沿轴方向移动,改变磁回路。
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