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公开(公告)号：CN101122013A
公开(公告)日：2008-02-13
申请号：CN200710140837.6
申请日：2007-08-10
Applicant: 喜开理株式会社 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: F16K27/003 , F15B13/0821 , Y10T137/87885
Abstract: 为提供具有较小底部空间的吹扫气体单元和吹扫气体供应集成单元，所述吹扫气体单元包括：输入块，该输入块用于将吹扫气体输入到所述吹扫气体单元中，所述输入块包括穿过所述输入块形成以在所述输入块的侧表面中提供开口的吹扫通道、和从所述吹扫通道分叉形成的输入通道；输出块，该输出块用于从所述吹扫气体单元输出所述吹扫气体；以及连通块，该连通块连接至所述输入块和所述输出块，以提供在所述输入块和所述输出块之间的连通。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101122013B
公开(公告)日：2010-06-23
申请号：CN200710140837.6
申请日：2007-08-10
Applicant: 喜开理株式会社 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: F16K27/003 , F15B13/0821 , Y10T137/87885
Abstract: 为提供具有较小底部空间的吹扫气体单元和吹扫气体供应集成单元，所述吹扫气体单元包括：输入块，该输入块用于将吹扫气体输入到所述吹扫气体单元中，所述输入块包括穿过所述输入块形成以在所述输入块的侧表面中提供开口的吹扫通道、和从所述吹扫通道分叉形成的输入通道；输出块，该输出块用于从所述吹扫气体单元输出所述吹扫气体；以及连通块，该连通块连接至所述输入块和所述输出块，以提供在所述输入块和所述输出块之间的连通。
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公开(公告)号：CN101093057B
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN200710110099.0
申请日：2007-06-22
Applicant: 喜开理株式会社 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: F16K27/003 , F16K7/14 , F16K31/06 , H01L21/31691 , Y10T137/4259 , Y10T137/87885
Abstract: 液体原材料供应单元适于对汽化器供应液体原材料。该单元包括：集管，其内形成有流动通道；和多个流体控制阀，它们安装在集管上且包括：液体原材料控制阀；清洗溶液控制阀；吹扫气体控制阀；和第一引入控制阀，它可连接到汽化器上，用于控制从流动通道到汽化器的流体供应，吹扫气体控制阀、清洗溶液控制阀、液体原材料控制阀、和第一引入控制阀从集管的上游侧按此顺序安装在集管上。流动通道分别连接那些控制阀的阀口，这些阀口与相应控制阀的阀开口连通，而且流动通道构造成允许从吹扫气体控制阀供应来的吹扫气体直接在设置于吹扫气体控制阀下游的清洗溶液控制阀和液体原材料控制阀的阀口中流动。
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公开(公告)号：CN101093057A
公开(公告)日：2007-12-26
申请号：CN200710110099.0
申请日：2007-06-22
Applicant: 喜开理株式会社 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: F16K27/003 , F16K7/14 , F16K31/06 , H01L21/31691 , Y10T137/4259 , Y10T137/87885
Abstract: 液体原材料供应单元适于对汽化器供应液体原材料。该单元包括：集管，其内形成有流动通道；和多个流体控制阀，它们安装在集管上且包括：液体原材料控制阀；清洗溶液控制阀；吹扫气体控制阀；和第一引入控制阀，它可连接到汽化器上，用于控制从流动通道到汽化器的流体供应，吹扫气体控制阀、清洗溶液控制阀、液体原材料控制阀、和第一引入控制阀从集管的上游侧按此顺序安装在集管上。流动通道分别连接那些控制阀的阀口，这些阀口与相应控制阀的阀开口连通，而且流动通道构造成允许从吹扫气体控制阀供应来的吹扫气体直接在设置于吹扫气体控制阀下游的清洗溶液控制阀和液体原材料控制阀的阀口中流动。
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公开(公告)号：CN101194215A
公开(公告)日：2008-06-04
申请号：CN200680020108.0
申请日：2006-05-22
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: G05D7/0647 , G05D7/0658
Abstract: 为了可通过工艺气体进行流量控制设备的高精度的绝对流量检测，具有：排气流路(31)，将第1截止阀(21)和第2截止阀(22)之间的气体流路(30)与真空泵(14)的入口连通；设置在排气流路(31)上的第3截止阀(23)、压力传感器(11)、温度传感器(12)及第3截止阀(24)；检测用控制装置，与它们连接，存储气体种类固有的压缩因数数据以及由质量流量控制器(10)的出口、第2截止阀(22)、第3截止阀(23)形成的预定空间的容积值，其中，根据第1测量时及第2测量时的压力P1、温度T1、与它们对应的第1压缩因数Z1、容积V求得质量G1，根据第2测量时的压力P2、温度T2、与它们对应的第2压缩因数Z2、容积V求得质量G2，通过质量G1和质量G2的差检测出质量流量控制器(10)的绝对流量。
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公开(公告)号：CN100582984C
公开(公告)日：2010-01-20
申请号：CN200680020108.0
申请日：2006-05-22
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: G05D7/0647 , G05D7/0658
Abstract: 为了可通过工艺气体进行流量控制设备的高精度的绝对流量检测，具有：排气流路(31)，将第1截止阀(21)和第2截止阀(22)之间的气体流路(30)与真空泵(14)的入口连通；设置在排气流路(31)上的第3截止阀(23)、压力传感器(11)、温度传感器(12)及第3截止阀(24)；检测用控制装置，与它们连接，存储气体种类固有的压缩因数数据以及由质量流量控制器(10)的出口、第2截止阀(22)、第3截止阀(23)形成的预定空间的容积值，其中，根据第1测量时及第2测量时的压力P1、温度T1、与它们对应的第1压缩因数Z1、容积V求得质量G1，根据第2测量时的压力P2、温度T2、与它们对应的第2压缩因数Z2、容积V求得质量G2，通过质量G1和质量G2的差检测出质量流量控制器(10)的绝对流量。
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