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公开(公告)号：CN101122013B
公开(公告)日：2010-06-23
申请号：CN200710140837.6
申请日：2007-08-10
Applicant: 喜开理株式会社 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: F16K27/003 , F15B13/0821 , Y10T137/87885
Abstract: 为提供具有较小底部空间的吹扫气体单元和吹扫气体供应集成单元，所述吹扫气体单元包括：输入块，该输入块用于将吹扫气体输入到所述吹扫气体单元中，所述输入块包括穿过所述输入块形成以在所述输入块的侧表面中提供开口的吹扫通道、和从所述吹扫通道分叉形成的输入通道；输出块，该输出块用于从所述吹扫气体单元输出所述吹扫气体；以及连通块，该连通块连接至所述输入块和所述输出块，以提供在所述输入块和所述输出块之间的连通。
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公开(公告)号：CN101122013A
公开(公告)日：2008-02-13
申请号：CN200710140837.6
申请日：2007-08-10
Applicant: 喜开理株式会社 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: F16K27/003 , F15B13/0821 , Y10T137/87885
Abstract: 为提供具有较小底部空间的吹扫气体单元和吹扫气体供应集成单元，所述吹扫气体单元包括：输入块，该输入块用于将吹扫气体输入到所述吹扫气体单元中，所述输入块包括穿过所述输入块形成以在所述输入块的侧表面中提供开口的吹扫通道、和从所述吹扫通道分叉形成的输入通道；输出块，该输出块用于从所述吹扫气体单元输出所述吹扫气体；以及连通块，该连通块连接至所述输入块和所述输出块，以提供在所述输入块和所述输出块之间的连通。
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公开(公告)号：CN101408276B
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN200810214925.0
申请日：2008-08-29
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: G01F1/34 , G05D7/0635
Abstract: 流量检定系统和流量检定方法。该系统，适合刚在流量控制装置开始流量控制之后就通过检定气体管道系统中的流量检定流量特性，包括第一截止阀、安装在第一截止阀下游的流量控制装置和用于测量流量控制装置下游的压力的压力传感器，基于由压力传感器测量的压力进行流量检定。该系统还包括用于存储基准值的基准值存储装置，基准值通过对在正常的流量控制操作期间由压力传感器测量的压力值进行积分来计算，和异常检测装置，用于当工艺气体通过第一截止阀被供应到流量控制装置、在流量上被流量控制装置控制并被供应到压力传感器时，通过对由压力传感器测量的压力值进行积分计算压力积分值并将压力积分值与基准值进行比较来检测工艺气体的异常流量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101424948A
公开(公告)日：2009-05-06
申请号：CN200810173857.8
申请日：2008-10-29
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: G01F25/0038 , G01F25/0053
Abstract: 流量检验故障诊断设备、系统、方法及其控制程序产品。一种流量检验故障诊断设备被应用于气体供应管道系统，该气体供应管道系统包括流量控制器件和流量检验单元，该流量检验单元用于通过基于由压力测量器件测量的压力测量流量控制器件的每一个中的流量而探测流量异常。该流量检验故障诊断设备包括故障诊断器件，该故障诊断器件具有在流量检验单元探测到流量异常时诊断压力测量器件中的故障的模式，由此能够增强流量检验的可靠性。
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公开(公告)号：CN101424948B
公开(公告)日：2010-10-27
申请号：CN200810173857.8
申请日：2008-10-29
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: G01F25/0038 , G01F25/0053
Abstract: 流量检验故障诊断设备。一种流量检验故障诊断设备被应用于气体供应管道系统，该气体供应管道系统包括流量控制器件和流量检验单元，该流量检验单元用于通过基于由压力测量器件测量的压力测量流量控制器件的每一个中的流量而探测流量异常。该流量检验故障诊断设备包括故障诊断器件，该故障诊断器件具有在流量检验单元探测到流量异常时诊断压力测量器件中的故障的模式，由此能够增强流量检验的可靠性。
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公开(公告)号：CN101414162A
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：CN200810166192.8
申请日：2008-10-15
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: G05B19/04 , G05D7/01 , G05D7/06 , H01L21/00 , C23C16/455
CPC classification number: C23C16/45523 , C23C16/45561 , Y10T137/877
Abstract: 一种用于分配和供应流体的流体分流和供应单元，其适合于及时控制要被分配的流体的流量并迅速地以预先确定好的分流比输出该流体。该流体分流和供应单元包括用于控制流体流量的流量控制装置和多个连接到所述流量控制装置次级侧的开关阀。通过确定与所述开关阀的操作周期相对应的一个循环并以所述分流比对所述一个循环进行时间分割来占空控制所述开关阀打开和关闭。
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公开(公告)号：CN101414162B
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN200810166192.8
申请日：2008-10-15
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: G05B19/04 , G05D7/01 , G05D7/06 , H01L21/00 , C23C16/455
CPC classification number: C23C16/45523 , C23C16/45561 , Y10T137/877
Abstract: 一种用于分配和供应流体的流体分流和供应单元，其适合于及时控制要被分配的流体的流量并迅速地以预先确定好的分流比输出该流体。该流体分流和供应单元包括用于控制流体流量的流量控制装置和多个连接到所述流量控制装置次级侧的开关阀。通过确定与所述开关阀的操作周期相对应的一个循环并以所述分流比对所述一个循环进行时间分割来占空控制所述开关阀打开和关闭。
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公开(公告)号：CN101408276A
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200810214925.0
申请日：2008-08-29
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: G01F1/34 , G05D7/0635
Abstract: 流量检定系统和流量检定方法。该系统，适合刚在流量控制装置开始流量控制之后就通过检定气体管道系统中的流量检定流量特性，包括第一截止阀、安装在第一截止阀下游的流量控制装置和用于测量流量控制装置下游的压力的压力传感器，基于由压力传感器测量的压力进行流量检定。该系统还包括用于存储基准值的基准值存储装置，基准值通过对在正常的流量控制操作期间由压力传感器测量的压力值进行积分来计算，和异常检测装置，用于当工艺气体通过第一截止阀被供应到流量控制装置、在流量上被流量控制装置控制并被供应到压力传感器时，通过对由压力传感器测量的压力值进行积分计算压力积分值并将压力积分值与基准值进行比较来检测工艺气体的异常流量。
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