公开(公告)号：CN100434783C

公开(公告)日：2008-11-19

申请号：CN200480036690.0

申请日：2004-11-09

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 丹羽庸夫 ,  渡边雅之 ,  小泽幸生 ,  西田成伸 ,  西村康典 ,  高阪明子

IPC: F16K31/06

CPC classification number: F16K31/0655 ,  F16K31/0672

Abstract: 一种电磁阀(1)，其能够处理腐蚀性控制流体并且能够产生增加的吸力，其中设于缠绕线圈(29)内的固定铁芯突出到该缠绕线圈(29)的下侧；支持阀片(17)的柱塞(16)被板簧(18)支撑在该固定铁芯下方，该阀片(17)在板簧(18)的弹簧力的作用下而一直与阀座(13)保持接触；且通过给缠绕线圈(29)通电，该阀片(17)克服板簧(18)的弹簧力而与阀座(13)分离开。该固定铁芯被分成上下两个部分，设于缠绕线圈(29)内且不与控制流体接触的第一固定铁芯(26)由具有高磁导率的材料制成，而从该缠绕线圈(29)向下突出的第二固定铁芯(27)由抗腐蚀性的材料制成，该材料适应高腐蚀控制流体。

公开(公告)号：CN101839355B

公开(公告)日：2014-06-18

申请号：CN201010135748.4

申请日：2010-03-16

Applicant: 喜开理株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 小泽幸生 ,  矢岛孝视 ,  冈部庸之 ,  大仓成幸

IPC: F16K11/085 ,  F16K5/04

CPC classification number: F16K11/0856 ,  Y10T137/4358 ,  Y10T137/85954 ,  Y10T137/86863 ,  Y10T137/86871

Abstract: 本发明涉及一种旋转型切换阀，能够防止主流体从间隙部泄漏。旋转型切换阀具有：阀主体(2)，形成流动有工艺气体的腔室连通路(24)和将主流体排出的排放连通路(25)；以及圆筒阀芯(3)，可旋转地保持在阀主体(2)内，内部形成供主流体流动的主流路(31)，通过使圆筒阀芯3旋转，能够将主流路(31)在腔室连通路(24)和排放连通路(25)之间切换，其中，具有用于使清洗气体向阀主体(2)和圆筒阀芯(3)之间的间隙部(11)流动的清洗气体流路(22a、22b、22c、22d、22e)，通过使清洗气体向间隙部(11)流动，防止主流体从主流路(31)泄漏。

公开(公告)号：CN101839355A

公开(公告)日：2010-09-22

申请号：CN201010135748.4

申请日：2010-03-16

Applicant: 喜开理株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 小泽幸生 ,  矢岛孝视 ,  冈部庸之 ,  大仓成幸

IPC: F16K11/085 ,  F16K5/04

CPC classification number: F16K11/0856 ,  Y10T137/4358 ,  Y10T137/85954 ,  Y10T137/86863 ,  Y10T137/86871

Abstract: 本发明涉及一种旋转型切换阀，能够防止主流体从间隙部泄漏。旋转型切换阀具有：阀主体(2)，形成流动有工艺气体的腔室连通路(24)和将主流体排出的排放连通路(25)；以及圆筒阀芯(3)，可旋转地保持在阀主体(2)内，内部形成供主流体流动的主流路(31)，通过使圆筒阀芯3旋转，能够将主流路(31)在腔室连通路(24)和排放连通路(25)之间切换，其中，具有用于使清洗气体向阀主体(2)和圆筒阀芯(3)之间的间隙部(11)流动的清洗气体流路(22a、22b、22c、22d、22e)，通过使清洗气体向间隙部(11)流动，防止主流体从主流路(31)泄漏。

公开(公告)号：CN101395453B

公开(公告)日：2010-09-29

申请号：CN200780008137.X

申请日：2007-02-22

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 小泽幸生 ,  伊藤稔 ,  土居广树 ,  中田明子

IPC: G01F25/00 ,  G01F1/00 ,  G01F1/34

CPC classification number: G01F1/383 ,  G01F1/50 ,  G01F15/005 ,  G01F25/0007 ,  Y10T137/0379 ,  Y10T137/87249

Abstract: 一种能提高气体流量检验可靠性的气体流量检验单元。该气体流量检验单元具有：第一截止阀(12)，其连接至流量控制装置(10)并被输入有气体；第二截止阀(13)，用于排出气体；连通件(18)，用于使第一截止阀(12)和第二截止阀(13)相互连通；压力传感器(14)，用于检测在第一截止阀(12)和第二截止阀(13)之间供应的气体的压力；温度检测器(15)，用于检测在第一截止阀(12)和第二截止阀(13)之间供应的气体的温度；以及控制装置(16)，用于检验在流量控制装置(10)内流动的气体的流动，检验是通过利用压力传感器(14)检测到的压力结果和温度检测器(15)检测到的温度结果而进行的。第一截止阀(12)的阀座(22)与第二截止阀(13)的阀座(28)之间的体积(Vk)等于或小于流量控制装置(10)的出口与第一截止阀(12)的阀座(22)之间的体积(Ve)。

公开(公告)号：CN101395453A

公开(公告)日：2009-03-25

申请号：CN200780008137.X

申请日：2007-02-22

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 小泽幸生 ,  伊藤稔 ,  土居广树 ,  中田明子

IPC: G01F25/00 ,  G01F1/00 ,  G01F1/34

CPC classification number: G01F1/383 ,  G01F1/50 ,  G01F15/005 ,  G01F25/0007 ,  Y10T137/0379 ,  Y10T137/87249

Abstract: 一种能提高气体流量检验可靠性的气体流量检验单元。该气体流量检验单元具有：第一截止阀(12)，其连接至流量控制装置(10)并被输入有气体；第二截止阀(13)，用于排出气体；连通件(18)，用于使第一截止阀(12)和第二截止阀(13)相互连通；压力传感器(14)，用于检测在第一截止阀(12)和第二截止阀(13)之间供应的气体的压力；温度检测器(15)，用于检测在第一截止阀(12)和第二截止阀(13)之间供应的气体的温度；以及控制装置(16)，用于检验在流量控制装置(10)内流动的气体的流动，检验是通过利用压力传感器(14)检测到的压力结果和温度检测器(15)检测到的温度结果而进行的。第一截止阀(12)的阀座(22)与第二截止阀(13)的阀座(28)之间的体积(Vk)等于或小于流量控制装置(10)的出口与第一截止阀(12)的阀座(22)之间的体积(Ve)。

公开(公告)号：CN1890496A

公开(公告)日：2007-01-03

申请号：CN200480036690.0

申请日：2004-11-09

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 丹羽庸夫 ,  渡边雅之 ,  小泽幸生 ,  西田成伸 ,  西村康典 ,  高阪明子

IPC: F16K31/06

CPC classification number: F16K31/0655 ,  F16K31/0672

Abstract: 一种电磁阀(1)，其能够处理腐蚀性控制流体并且能够产生增加的吸力，其中设于缠绕线圈(29)内的固定铁芯突出到该缠绕线圈(29)的下侧；支持阀片(17)的柱塞(16)被板簧(18)支撑在该固定铁芯下方，该阀片(17)在板簧(18)的弹簧力的作用下而一直与阀座(13)保持接触；且通过给缠绕线圈(29)通电，该阀片(17)克服板簧(18)的弹簧力而与阀座(13)分离开。该固定铁芯被分成上下两个部分，设于缠绕线圈(29)内且不与控制流体接触的第一固定铁芯(26)由具有高磁导率的材料制成，而从该缠绕线圈(29)向下突出的第二固定铁芯(27)由抗腐蚀性的材料制成，该材料适应高腐蚀控制流体。