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公开(公告)号：CN102162544B
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201110032170.4
申请日：2011-01-26
Applicant: 喜开理株式会社
Abstract: 一种电动真空阀(21)，包括：阀部(22)，具有第一端口(51)和第二端口(52)、阀室(53)及阀座(54)；进给螺纹件(34)，与步进电动机(27)连接；轴(36)；进给螺纹机构，由进给螺纹件(34)和轴(36)构成；防旋转单元，防止轴(36)的旋转；阀芯(42)，安装在轴(36)的前端；及复原弹簧(44)，其中，在停电时，在步进电动机(27)的定子和转子间产生定位转矩，复原弹簧(44)的推力大于通过进给螺纹机构将定位转矩变换而成的阻力，由此进行闭阀。
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公开(公告)号：CN101737502B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN200910226413.0
申请日：2009-11-20
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: F16K1/00 , F16K1/32 , F16K31/122 , F16K51/02
Abstract: 本发明提供一种活塞的制动结构简单、分解作业容易的真空阀。真空阀(1)包括具有阀座(44)的阀壳(40)、与阀座(44)抵接或从阀座分开的阀芯(19)、及对阀芯(19)施加驱动力的驱动部(2)，驱动部(2)包括与阀芯(19)连接的驱动轴(17)、连接在驱动轴(17)的与阀芯(19)相反的一侧的活塞(14)、具有收纳活塞(14)的活塞室(13)的气缸(10)、及被活塞(14)保持并划分活塞室(13)的波形隔膜(15)，其中，活塞(14)具有在移动方向上突出的突起部(21a)，气缸(10)在与突起部(21a)相对的面上形成有分解时与突起部(21a)嵌合而进行活塞(14)的制动的制动部(12a)。
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公开(公告)号：CN101737502A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200910226413.0
申请日：2009-11-20
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: F16K1/00 , F16K1/32 , F16K31/122 , F16K51/02
Abstract: 本发明提供一种活塞的制动结构简单、分解作业容易的真空阀。真空阀(1)包括具有阀座(44)的阀壳(40)、与阀座(44)抵接或从阀座分开的阀芯(19)、及对阀芯(19)施加驱动力的驱动部(2)，驱动部(2)包括与阀芯(19)连接的驱动轴(17)、连接在驱动轴(17)的与阀芯(19)相反的一侧的活塞(14)、具有收纳活塞(14)的活塞室(13)的气缸(10)、及被活塞(14)保持并划分活塞室(13)的波形隔膜(15)，其中，活塞(14)具有在移动方向上突出的突起部(21a)，气缸(10)在与突起部(21a)相对的面上形成有分解时与突起部(21a)嵌合而进行活塞(14)的制动的制动部(12a)。
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公开(公告)号：CN102169352B
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201010603574.X
申请日：2010-12-22
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: G05D16/02
Abstract: 本发明提供能够以使腔室的压力与目标压力降斜率接近的方式简单且低价地设定切换电动真空阀的阀开度的设定点的电动真空阀的排气速度控制方法、排气速度控制系统及阀开度设定点决定方法。将电动真空阀(21)的阀开度按照等比倍数阶段性地进行控制，在各阀开度下利用真空泵(13)从粘性流区域进行排气，利用压力传感器(15)测定腔室的真空压力以实测出压力降曲线(Y1、Y2、Y3、Y4)以后，使压力降曲线(Y1、Y2、Y3、Y4)以与目标压力降斜率X近似的方式在时间上偏移，将压力降曲线彼此的交点决定为切换电动真空阀(21)的阀开度的设定点(P11、P12、P13)，其后，基于设定点(P11、P12、P13)切换电动真空阀(21)的阀开度，控制粘性流区域中的排气速度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102169352A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN201010603574.X
申请日：2010-12-22
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: G05D16/02
Abstract: 本发明提供能够以使腔室的压力与目标压力降斜率接近的方式简单且低价地设定切换电动真空阀的阀开度的设定点的电动真空阀的排气速度控制方法、排气速度控制系统及阀开度设定点决定方法。将电动真空阀(21)的阀开度按照等比倍数阶段性地进行控制，在各阀开度下利用真空泵(13)从粘性流区域进行排气，利用压力传感器(15)测定腔室的真空压力以实测出压力降曲线(Y1、Y2、Y3、Y4)以后，使压力降曲线(Y1、Y2、Y3、Y4)以与目标压力降斜率X近似的方式在时间上偏移，将压力降曲线彼此的交点决定为切换电动真空阀(21)的阀开度的设定点(P11、P12、P13)，其后，基于设定点(P11、P12、P13)切换电动真空阀(21)的阀开度，控制粘性流区域中的排气速度。
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公开(公告)号：CN102162544A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN201110032170.4
申请日：2011-01-26
Applicant: 喜开理株式会社
Abstract: 一种电动真空阀(21)，包括：阀部(22)，具有第一端口(51)和第二端口(52)、阀室(53)及阀座(54)；进给螺纹件(34)，与步进电动机(27)连接；轴(36)；进给螺纹机构，由进给螺纹件(34)和轴(36)构成；防旋转单元，防止轴(36)的旋转；阀芯(42)，安装在轴(36)的前端；及复原弹簧(44)，其中，在停电时，在步进电动机(27)的定子和转子间产生定位转矩，复原弹簧(44)的推力大于通过进给螺纹机构将定位转矩变换而成的阻力，由此进行闭阀。
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