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公开(公告)号：CN104769343A
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201380057699.9
申请日：2013-10-25
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: F16K27/003 , B25B27/10 , F16L23/04 , F16L23/162 , F16L23/18 , F16L41/03 , Y10T29/539 , Y10T137/0402 , Y10T137/598 , Y10T137/6116 , Y10T137/877 , Y10T137/87885 , F16K27/00
Abstract: 本发明的课题在于不使用安装槽而将第一零件及第二零件向密封构件压入。因此，本发明的一方案在第一躯干与第二躯干之间夹设密封构件，使连接用工具与第一躯干和第二躯干的扣合面扣合。而且，通过向扣合面施加载荷而将第一躯干与第二躯干拉近，使密封构件相互为压入状态，并通过夹紧件来保持压入状态。而且，在第一躯干和第二躯干中的任一方或两方的主体部的内侧设置向与拉近方向大致垂直的方向扩展的多个扣合面。
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公开(公告)号：CN104769343B
公开(公告)日：2017-11-03
申请号：CN201380057699.9
申请日：2013-10-25
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: F16K27/003 , B25B27/10 , F16L23/04 , F16L23/162 , F16L23/18 , F16L41/03 , Y10T29/539 , Y10T137/0402 , Y10T137/598 , Y10T137/6116 , Y10T137/877 , Y10T137/87885
Abstract: 本发明的课题在于不使用安装槽而将第一零件及第二零件向密封构件压入。因此，本发明的一方案具有第一躯干、第二躯干、连接部，该连接部在第一躯干与第二躯干之间夹设密封构件，使连接用工具与第一躯干和第二躯干的扣合面扣合。而且，通过向扣合面施加载荷而将第一躯干与第二躯干拉近，使密封构件相互为压入状态，并通过夹紧件来保持压入状态。而且，在第一躯干和第二躯干中的任一方或两方的主体部的内侧设置向与拉近方向大致垂直的方向扩展的多个扣合面。
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公开(公告)号：CN102169352B
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201010603574.X
申请日：2010-12-22
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: G05D16/02
Abstract: 本发明提供能够以使腔室的压力与目标压力降斜率接近的方式简单且低价地设定切换电动真空阀的阀开度的设定点的电动真空阀的排气速度控制方法、排气速度控制系统及阀开度设定点决定方法。将电动真空阀(21)的阀开度按照等比倍数阶段性地进行控制，在各阀开度下利用真空泵(13)从粘性流区域进行排气，利用压力传感器(15)测定腔室的真空压力以实测出压力降曲线(Y1、Y2、Y3、Y4)以后，使压力降曲线(Y1、Y2、Y3、Y4)以与目标压力降斜率X近似的方式在时间上偏移，将压力降曲线彼此的交点决定为切换电动真空阀(21)的阀开度的设定点(P11、P12、P13)，其后，基于设定点(P11、P12、P13)切换电动真空阀(21)的阀开度，控制粘性流区域中的排气速度。
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公开(公告)号：CN102169352A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN201010603574.X
申请日：2010-12-22
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: G05D16/02
Abstract: 本发明提供能够以使腔室的压力与目标压力降斜率接近的方式简单且低价地设定切换电动真空阀的阀开度的设定点的电动真空阀的排气速度控制方法、排气速度控制系统及阀开度设定点决定方法。将电动真空阀(21)的阀开度按照等比倍数阶段性地进行控制，在各阀开度下利用真空泵(13)从粘性流区域进行排气，利用压力传感器(15)测定腔室的真空压力以实测出压力降曲线(Y1、Y2、Y3、Y4)以后，使压力降曲线(Y1、Y2、Y3、Y4)以与目标压力降斜率X近似的方式在时间上偏移，将压力降曲线彼此的交点决定为切换电动真空阀(21)的阀开度的设定点(P11、P12、P13)，其后，基于设定点(P11、P12、P13)切换电动真空阀(21)的阀开度，控制粘性流区域中的排气速度。
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