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公开(公告)号：CN101377255A
公开(公告)日：2009-03-04
申请号：CN200810214921.2
申请日：2008-08-29
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: F16K41/10 , F16K1/48 , F16K31/122 , F16K27/02 , F16K51/02
Abstract: 一种可以连接真空腔和真空泵的耐用的真空开/关阀，所述真空开/关阀设置为通过改变作为阀元件的O形圈相对于阀座的开度来控制所述真空腔中的真空压力。活塞的外周表面和气缸的内周表面之间的预定间隙被波纹密封件密封，所述波纹密封件根据通过移动打开或者关闭所述阀的活塞的运动而改变形状。所述波纹密封件包括具有预定倾斜角的倾斜表面，所述活塞的外周包括具有预定倾斜角的倾斜表面，这样，当所述阀元件与所述阀座接触时，与活塞接触的波纹密封件的内直径等于活塞的外直径。
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公开(公告)号：CN101320275A
公开(公告)日：2008-12-10
申请号：CN200810125402.9
申请日：2008-06-05
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: F16K31/0613 , Y10T137/7762
Abstract: 一种真空压力控制系统，其包括真空室、真空泵、真空开/关阀、真空压力控制装置和伺服阀，真空泵用于从真空室抽吸气体，真空开/关阀用于通过由从作为动力源的空气供应源所供应的驱动空气改变开度来控制真空室中的真空压力，真空压力控制装置用于控制真空开/关阀，伺服阀用于控制真空开/关阀的开度。
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公开(公告)号：CN102162544B
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201110032170.4
申请日：2011-01-26
Applicant: 喜开理株式会社
Abstract: 一种电动真空阀(21)，包括：阀部(22)，具有第一端口(51)和第二端口(52)、阀室(53)及阀座(54)；进给螺纹件(34)，与步进电动机(27)连接；轴(36)；进给螺纹机构，由进给螺纹件(34)和轴(36)构成；防旋转单元，防止轴(36)的旋转；阀芯(42)，安装在轴(36)的前端；及复原弹簧(44)，其中，在停电时，在步进电动机(27)的定子和转子间产生定位转矩，复原弹簧(44)的推力大于通过进给螺纹机构将定位转矩变换而成的阻力，由此进行闭阀。
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公开(公告)号：CN101320275B
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN200810125402.9
申请日：2008-06-05
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: F16K31/0613 , Y10T137/7762
Abstract: 一种真空压力控制系统，其包括真空室、真空泵、真空开/关阀、真空压力控制装置和伺服阀，真空泵用于从真空室抽吸气体，真空开/关阀用于通过由从作为动力源的空气供应源所供应的驱动空气改变开度来控制真空室中的真空压力，真空压力控制装置用于控制真空开/关阀，伺服阀用于控制真空开/关阀的开度。
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公开(公告)号：CN101377255B
公开(公告)日：2010-06-23
申请号：CN200810214921.2
申请日：2008-08-29
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: F16K41/10 , F16K1/48 , F16K31/122 , F16K27/02 , F16K51/02
Abstract: 一种可以连接真空腔和真空泵的耐用的真空开/关阀，所述真空开/关阀设置为通过改变作为阀元件的O形圈相对于阀座的开度来控制所述真空腔中的真空压力。活塞的外周表面和气缸的内周表面之间的预定间隙被波纹密封件密封，所述波纹密封件根据通过移动打开或者关闭所述阀的活塞的运动而改变形状。所述波纹密封件包括具有预定倾斜角的倾斜表面，所述活塞的外周包括具有预定倾斜角的倾斜表面，这样，当所述阀元件与所述阀座接触时，与活塞接触的波纹密封件的内直径等于活塞的外直径。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102169352B
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201010603574.X
申请日：2010-12-22
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: G05D16/02
Abstract: 本发明提供能够以使腔室的压力与目标压力降斜率接近的方式简单且低价地设定切换电动真空阀的阀开度的设定点的电动真空阀的排气速度控制方法、排气速度控制系统及阀开度设定点决定方法。将电动真空阀(21)的阀开度按照等比倍数阶段性地进行控制，在各阀开度下利用真空泵(13)从粘性流区域进行排气，利用压力传感器(15)测定腔室的真空压力以实测出压力降曲线(Y1、Y2、Y3、Y4)以后，使压力降曲线(Y1、Y2、Y3、Y4)以与目标压力降斜率X近似的方式在时间上偏移，将压力降曲线彼此的交点决定为切换电动真空阀(21)的阀开度的设定点(P11、P12、P13)，其后，基于设定点(P11、P12、P13)切换电动真空阀(21)的阀开度，控制粘性流区域中的排气速度。
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公开(公告)号：CN102169352A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN201010603574.X
申请日：2010-12-22
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: G05D16/02
Abstract: 本发明提供能够以使腔室的压力与目标压力降斜率接近的方式简单且低价地设定切换电动真空阀的阀开度的设定点的电动真空阀的排气速度控制方法、排气速度控制系统及阀开度设定点决定方法。将电动真空阀(21)的阀开度按照等比倍数阶段性地进行控制，在各阀开度下利用真空泵(13)从粘性流区域进行排气，利用压力传感器(15)测定腔室的真空压力以实测出压力降曲线(Y1、Y2、Y3、Y4)以后，使压力降曲线(Y1、Y2、Y3、Y4)以与目标压力降斜率X近似的方式在时间上偏移，将压力降曲线彼此的交点决定为切换电动真空阀(21)的阀开度的设定点(P11、P12、P13)，其后，基于设定点(P11、P12、P13)切换电动真空阀(21)的阀开度，控制粘性流区域中的排气速度。
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公开(公告)号：CN102162544A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN201110032170.4
申请日：2011-01-26
Applicant: 喜开理株式会社
Abstract: 一种电动真空阀(21)，包括：阀部(22)，具有第一端口(51)和第二端口(52)、阀室(53)及阀座(54)；进给螺纹件(34)，与步进电动机(27)连接；轴(36)；进给螺纹机构，由进给螺纹件(34)和轴(36)构成；防旋转单元，防止轴(36)的旋转；阀芯(42)，安装在轴(36)的前端；及复原弹簧(44)，其中，在停电时，在步进电动机(27)的定子和转子间产生定位转矩，复原弹簧(44)的推力大于通过进给螺纹机构将定位转矩变换而成的阻力，由此进行闭阀。
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