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公开(公告)号：CN102162544B
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201110032170.4
申请日：2011-01-26
Applicant: 喜开理株式会社
Abstract: 一种电动真空阀(21)，包括：阀部(22)，具有第一端口(51)和第二端口(52)、阀室(53)及阀座(54)；进给螺纹件(34)，与步进电动机(27)连接；轴(36)；进给螺纹机构，由进给螺纹件(34)和轴(36)构成；防旋转单元，防止轴(36)的旋转；阀芯(42)，安装在轴(36)的前端；及复原弹簧(44)，其中，在停电时，在步进电动机(27)的定子和转子间产生定位转矩，复原弹簧(44)的推力大于通过进给螺纹机构将定位转矩变换而成的阻力，由此进行闭阀。
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公开(公告)号：CN101614283B
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN200910149809.X
申请日：2009-06-26
Applicant: 喜开理株式会社
Abstract: 本发明提供一种真空阀，其即使在产品组装之后，也能够简单且正确地调整行程调整部件的原点位置。真空阀(1)通过使第一活塞(26)与第二活塞(27)单独移动来改变阀芯(7)的行程，阶段性地控制流量。真空阀(1)在使第二活塞(27)与上盖(22)抵接的状态下将行程调整部件(38)拧入调整螺纹部(11d)直至与第二活塞(27)触碰，用固定螺钉(39)固定行程调整部件(38)，从而调整行程调整部件的原点位置。
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公开(公告)号：CN101182888A
公开(公告)日：2008-05-21
申请号：CN200710186949.5
申请日：2007-11-15
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: F16K1/00 , F16K31/122 , F16K51/02
CPC classification number: F16K51/02 , F16K31/1221
Abstract: 本发明提供一种波纹管的耐用性提高了的真空阀。该真空阀包括：阀部分，该阀部分包括第一端口、第二端口、设置在该第一和第二端口之间的阀座，以及可移动成与所述阀座接触或脱离与所述阀座的接触的阀元件；致动器部分，该致动器部分包括孔和联接到所述阀元件上的活塞，操作流体通过该孔供应到所述致动器部分，可根据所述操作流体的压力的变化操作所述活塞，以向所述阀部分施加驱动力；以及波纹管，当所述阀元件上下垂直移动时，该波纹管能收缩和伸长。所述孔设计成具有这样确定的有效截面积，使得所述阀元件和所述活塞的操作速度被控制成防止所述波纹管损坏的预定速度。
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公开(公告)号：CN102169352B
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201010603574.X
申请日：2010-12-22
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: G05D16/02
Abstract: 本发明提供能够以使腔室的压力与目标压力降斜率接近的方式简单且低价地设定切换电动真空阀的阀开度的设定点的电动真空阀的排气速度控制方法、排气速度控制系统及阀开度设定点决定方法。将电动真空阀(21)的阀开度按照等比倍数阶段性地进行控制，在各阀开度下利用真空泵(13)从粘性流区域进行排气，利用压力传感器(15)测定腔室的真空压力以实测出压力降曲线(Y1、Y2、Y3、Y4)以后，使压力降曲线(Y1、Y2、Y3、Y4)以与目标压力降斜率X近似的方式在时间上偏移，将压力降曲线彼此的交点决定为切换电动真空阀(21)的阀开度的设定点(P11、P12、P13)，其后，基于设定点(P11、P12、P13)切换电动真空阀(21)的阀开度，控制粘性流区域中的排气速度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102169352A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN201010603574.X
申请日：2010-12-22
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: G05D16/02
Abstract: 本发明提供能够以使腔室的压力与目标压力降斜率接近的方式简单且低价地设定切换电动真空阀的阀开度的设定点的电动真空阀的排气速度控制方法、排气速度控制系统及阀开度设定点决定方法。将电动真空阀(21)的阀开度按照等比倍数阶段性地进行控制，在各阀开度下利用真空泵(13)从粘性流区域进行排气，利用压力传感器(15)测定腔室的真空压力以实测出压力降曲线(Y1、Y2、Y3、Y4)以后，使压力降曲线(Y1、Y2、Y3、Y4)以与目标压力降斜率X近似的方式在时间上偏移，将压力降曲线彼此的交点决定为切换电动真空阀(21)的阀开度的设定点(P11、P12、P13)，其后，基于设定点(P11、P12、P13)切换电动真空阀(21)的阀开度，控制粘性流区域中的排气速度。
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公开(公告)号：CN102162544A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN201110032170.4
申请日：2011-01-26
Applicant: 喜开理株式会社
Abstract: 一种电动真空阀(21)，包括：阀部(22)，具有第一端口(51)和第二端口(52)、阀室(53)及阀座(54)；进给螺纹件(34)，与步进电动机(27)连接；轴(36)；进给螺纹机构，由进给螺纹件(34)和轴(36)构成；防旋转单元，防止轴(36)的旋转；阀芯(42)，安装在轴(36)的前端；及复原弹簧(44)，其中，在停电时，在步进电动机(27)的定子和转子间产生定位转矩，复原弹簧(44)的推力大于通过进给螺纹机构将定位转矩变换而成的阻力，由此进行闭阀。
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公开(公告)号：CN101182888B
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN200710186949.5
申请日：2007-11-15
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: F16K1/00 , F16K31/122 , F16K51/02
CPC classification number: F16K51/02 , F16K31/1221
Abstract: 本发明提供一种波纹管的耐用性提高了的真空阀。该真空阀包括：阀部分，该阀部分包括第一端口、第二端口、设置在该第一和第二端口之间的阀座，以及可移动成与所述阀座接触或脱离与所述阀座的接触的阀元件；制动器部分，该致动器部分包括孔和联接到所述阀元件上的活塞，操作流体通过该孔供应到所述制动器部分，可根据所述操作流体的压力的变化操作所述活塞，以向所述阀部分施加驱动力；以及波纹管，当所述阀元件上下垂直移动时，该波纹管能收缩和伸长。所述孔设计成具有这样确定的有效截面积，使得所述阀元件和所述活塞的操作速度被控制成防止所述波纹管损坏的预定速度。
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公开(公告)号：CN101614283A
公开(公告)日：2009-12-30
申请号：CN200910149809.X
申请日：2009-06-26
Applicant: 喜开理株式会社
Abstract: 本发明提供一种真空阀，其即使在产品组装之后，也能够简单且正确地调整行程调整部件的原点位置。真空阀(1)通过使第一活塞(26)与第二活塞(27)单独移动来改变阀芯(7)的行程，阶段性地控制流量。真空阀(1)在使第二活塞(27)与上盖(22)抵接的状态下将行程调整部件(38)拧入调整螺纹部(11d)直至与第二活塞(27)触碰，用固定螺钉(39)固定行程调整部件(38)，从而调整行程调整部件的原点位置。
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