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公开(公告)号：CN104596550A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201510041410.5
申请日：2015-01-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 星载绝对式光电码盘粗码译码电路及采用该电路实现的自适应采样法，涉及光电轴角测量技术领域。解决了目前粗码采样译码电路存在的跳码、电路结构过于复杂及误码率高导致的采样精度低的问题。光电码盘的精码光电流信号输出端同时与1号采样电阻的一端和精码及中精码译码模块的电压信号输入端连接，1号采样电阻的另一端接电源地，精码及中精码译码模块的数字信号输出端与DSP处理器的精码数字信号输入端连接，DSP处理器的控制信号输出端与精码及中精码译码模块的控制信号输入端连接；光电码盘的粗码光电流信号输出端同时与2号采样电阻的一端和限流电阻的一端连接，2号采样电阻的另一端接电源地。它主要应用在光电轴角测量上。
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公开(公告)号：CN103439866B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201310381928.4
申请日：2013-08-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于VxWorks的光刻机双工件台通信方法及装置，涉及一种通信方法及装置。为了解决传统使用TCP或IP协议的VxWorks操作系统通信实时性差的问题。它是基于双工作台光刻机、上位机和VME工控机实现的，采用TCP和UDP通讯协议的双通道，TCP通道用于传输上位机的指令，UDP通道用于传输VME工控机的执行结果信息，使用缓冲队列将所有指令和数据信息缓存，然后再逐个读出，最后执行并发送，并采用零拷贝缓冲区嵌套字接口。它用于光刻机双工件台装在有VxWorks操作系统并接入以太网的环境中通信。
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公开(公告)号：CN104158876A
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：CN201410400092.2
申请日：2014-08-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H04L29/08 , G05B19/042 , G06F9/46
Abstract: 基于Vxworks操作系统的双工件台光刻机控制系统通信装置，属于嵌入式光刻机控制系统通信技术领域。本发明为了解决现有双工件台扫描光刻机与上位机的通信技术由于不能保障数据通信的及时性，影响扫描光刻机的操作精度的问题。它包括上位机、工控机功能模块、运动控制卡、同步控制卡和信号采集板卡，上位机基于MFC构架编写的程序模块实现，工控机功能模块作为下位机，其内部搭载了Vxworks嵌入式实时操作系统，作为整个双工件台扫描光刻机通信系统的中枢，向上通过TCP网络通信协议和上位机进行数据交换，向下通过VME总线和运动控制板卡、同步控制卡、信号采集板卡进行数据的传输。本发明用于双工件台光刻机控制系统的通信。
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公开(公告)号：CN104029829A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410277196.9
申请日：2014-06-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于双频激光干涉仪的垂向伺服机构测量装置及利用其实现高精度垂向运动的方法，属于物理仿真领域。所述伺服机构测量装置包括气路部分、线性电机部分、传感器部分和垂向运动部分。本发明通过高压气瓶为内套筒腔部提供恒压气体，并通过气压控制器调节比例阀开度使外套筒部分得到重力补偿；通过外部工控机发送位置指令给控制器，控制器控制定子内部磁场实现垂向运动，驱动动子带动外套筒垂向运动；双频激光干涉仪实时测量当前位移量，并根据压力、温度、湿度测量单元测量的当前气压、温度、湿度对测量值实时校正，从而控制线性电机部分实现外套筒的高精度垂向运动。本发明具有控制方便、摩擦力小、行程长、精度高等优点。
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公开(公告)号：CN103869834A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201410128664.6
申请日：2014-04-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05D3/12
Abstract: 基于经验模态法的三轴气浮台质心智能调节方法，解决了现有气浮台质心信调节方法的调节精度低，稳定性差的问题，本发明采用三组质心调节机构对三轴气浮台质心进行调节，每组质心调节机构包括电机和质量块，电机用于带动质量块移动，三组质心调节机构均布并安装在三轴气浮台载物平台上，且每组质心调节机构均能够上下移动；采用电子倾角仪测量三轴气浮台载物平台的X轴方向的角度信息，采用电子倾角仪测量三轴气浮台载物平台的Y轴方向的角度信息，采用工控机控制电机移动，实现轴气浮台的质心调节。本发明适用于三轴气浮台质心调节。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103868648A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201410128649.1
申请日：2014-04-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01M1/12
Abstract: 三轴气浮仿真实验平台的质心测量方法，属于物理仿真领域，本发明为解决现有测量气浮台质心技术存在的问题。本发明方法包括以下步骤：步骤一、采用双轴倾斜角传感器测量、获取X轴角速度ωx和Y轴角速度ωy；采用角加速度传感器测量、获取Z轴角速度ωz；步骤二、列出三轴气浮仿真实验平台的运动学方程：步骤三、列出三轴气浮仿真实验平台的动力学方程：步骤四、对步骤三所述动力学方程的三个公式分别在时间t0、t1和t2内进行积分，并与步骤二的运动学方程联立求解，获取三轴气浮仿真实验平台的质心位置（rx，ry，rz）。
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公开(公告)号：CN103863585A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201410128807.3
申请日：2014-04-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B64G7/00
Abstract: 三自由度空间模拟器，属于航空航天领域模拟设备领域。为了解决空间仿真试验设备存在通用性不强、成本高、机械结构复杂和维护费用昂贵的问题。它包括两自由度平动部分和单自由度旋转部分，所述模拟器的支撑面之间采用高压气瓶利用气浮原理设计，两自由度平动部分通过气浮导轨、气浮槽、X轴光栅尺和Y轴光栅尺实现水平XY方向的水平运动，单自由度旋转部分通过旋转轴、反作用飞轮和圆光栅尺实现360°顺逆时针方向的运动，所述模拟器还包括三个通信控制器，分别采集X轴方向、Y轴方向和旋转轴方向的位置信息，同时还用于驱动模拟器的喷嘴进行喷气。它用于航空航天实验模拟外太空微重力和微干扰环境。
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公开(公告)号：CN103847986A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201410128695.1
申请日：2014-04-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B64G7/00
Abstract: 带有随动线缆台的气浮台，属于航天器的仿真测试设备技术领域。本发明为了解决现有气浮台由于供气的高压气瓶的容量有限，而造成其运行时间短的问题。它包括气浮、测量、随动线缆台、载物台及上位机五个部分，底座上所有的部件均处于气浮状态，两个随动线缆台用于提供外部的气路和电路的接口，由此保障模拟工作持续的进行，运行时间不受限制；两个位置传感器分别检测两个元件之间的相对位置关系，再通过上位机的控制，通过控制各元件喷嘴的喷气，来保持设备的同步。本发明为航天器的仿真测试气浮台。
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公开(公告)号：CN102621826B
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201210120751.8
申请日：2012-04-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20 , G05B19/418
CPC classification number: Y02P90/02
Abstract: 基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法，本发明具体涉及基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法。它为了解决步进扫描光刻机曝光过程中的同步误差大，光刻效率低的问题。本发明的上位机与下位机通过以太网连接，同步控制组件通过VME64标准总线与下位机连接，同步控制组件通过VME64自定义协议总线与激光计数组件和运动控制组件连接，同步控制组件的网口通过网线与下位机的网口连接，VME总线包括VME64自定义协议总线和VME64标准总线。本发明达到了控制和减小步进扫描过程中的同步误差，提高光刻效率的目的。本发明适用于扫描光刻机领域。
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公开(公告)号：CN102621826A
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：CN201210120751.8
申请日：2012-04-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20 , G05B19/418
CPC classification number: Y02P90/02
Abstract: 基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法，本发明具体涉及基于VME总线的步进扫描光刻机的同步控制系统及该系统的同步控制方法。它为了解决步进扫描光刻机曝光过程中的同步误差大，光刻效率低的问题。本发明的上位机与下位机通过以太网连接，同步控制组件通过VME64标准总线与下位机连接，同步控制组件通过VME64自定义协议总线与激光计数组件和运动控制组件连接，同步控制组件的网口通过网线与下位机的网口连接，VME总线包括VME64自定义协议总线和VME64标准总线。本发明达到了控制和减小步进扫描过程中的同步误差，提高光刻效率的目的。本发明适用于扫描光刻机领域。
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