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公开(公告)号：CN116700151B
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202310860404.7
申请日：2023-07-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/408
Abstract: 一种精密运动平台的运动轨迹规划系统的参数整定方法，属于精密运动平台技术领域。轨迹生成器的输出为参考轨迹，参考轨迹经柔性系统获得系统输出，且柔性系统的共振频率、阻尼系数及系统输出的残余振荡的信息共同提供给轨迹生成器以修正参考轨迹。方法如下：建立非对称S曲线；获得柔性系统的极点；获得运动轨迹的零点，并建立零残余振动约束下的残余振动方程组；求残余振动为零时的参数值；选择最优的参数值。本发明解决了传统精密运动平台运动轨迹规划大多采用恒加、减速的方式，运动轨迹容易激励柔性结构振动模态造成残余振动甚至物理损伤的问题，同时解决了传统柔性结构残余振动抑制需添加额外的减震装置，重量增加和经济成本较高的问题。
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公开(公告)号：CN116774585A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202310751744.6
申请日：2023-06-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B13/04
Abstract: 一种纳米精度运动台学习控制系统及方法，涉及一种运动台控制系统及方法。闭环反馈部分包括运动轨迹生成器、反馈控制器、运动台及傅里叶变换器一，前馈部分包括傅里叶变换器二、学习控制器、迭代后移算子及傅里叶逆变换器。迭代实验次数j赋初值为j＝1，第j次频域前馈信号赋初值为0；运行系统采集频域误差信号和频域位置测量信号；更新第j+1次频域前馈信号；迭代实验次数j值加1，跳转至步骤二。能够有效抑制外部噪声和扰动的影响，提高收敛性能，而且计算量较少，学习增益确定简单，鲁棒性强，便于工程应用。
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公开(公告)号：CN105186959A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510527408.9
申请日：2015-08-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02P23/00
Abstract: 一种伺服系统滑模控制器参数整定方法。本发明属于运动控制领域。它的方法步骤一：根据伺服系统的机械和电气结构建立伺服系统传递函数模型，获取模型中所需的参数；二：搭建相应的系统simulink仿真模型，留出粒子群优化算法所需的输入和输出接口；三：根据位置跟踪误差和速度跟踪误差需求；四：在matlab中编程对粒子群进行优化；五：将位置矢量对应的c,k和ε传入simulink仿真模型得到系统的位置误差和速度误差响应；六：对每个粒子的速度和位置进行更新；七：当k达到设定的最大迭代次数后，结束迭代过程，输出优化结果，否则返回步骤五；八：将全局最优位置矢量代入伺服系统滑模控制器。本发明能实现抖振的幅值最小或者抖振完全消除，跟踪误差达到最小。
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公开(公告)号：CN102831392A
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201210236094.3
申请日：2012-07-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种远距离虹膜跟踪与采集装置及其方法，它涉及一种虹膜跟踪与采集装置及其方法，具体涉及一种远距离虹膜跟踪与采集装置及其方法。本发明为了解决现有虹膜采集装置不能远距离采集信息，采集过程中需要目标主动配合采集，且很容易被多个目标干扰，识别算法精度较低的问题。本发明的双目摄像头的信号输出端与计算机的人脸信息采集信号输入端连接，长焦摄像机的信号输出端与计算机的变倍变焦后人脸信息的信号输入端连接，二自由度旋转云台的运动信号输入端与计算机的云台运动信号输出端连接，红外光源安装在长焦摄像机上，长焦摄像机安装在二自由度旋转云台上。本发明用于进行远距离虹膜跟踪与采集。
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公开(公告)号：CN117519310A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311646677.8
申请日：2023-12-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05D3/20
Abstract: 一种超精密运动台垂向静态解耦与前馈联合迭代校正方法，属于超精密运动控制领域。该方法可通过一次校正过程同时完成静态控制解耦矩阵与前馈控制器的校正，简化了多自由度运动台控制系统的校正过程，提升了控制系统校正的效率，具有重要的工程应用价值。与先对静态控制解耦矩阵进行校正，再对前馈控制器进行校正的两步法相比，本发明公开的超精密运动台垂向三自由度静态解耦与前馈联合迭代校正方法可以通过一次校正过程同时完成解耦与前馈的校正，提升了超精密运动控制系统校正的效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116909210A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202310860403.2
申请日：2023-07-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/408
Abstract: 基于频率选择的精密运动平台运动轨迹规划系统及方法，属于精密运动平台技术领域。轨迹生成器输出参考S曲线；参考S曲线经柔性系统获得系统输出，柔性系统的共振频率以及系统输出的残余振荡信息共同提供给轨迹生成器以修正参考S曲线。方法如下：确定参考S曲线的阶次；设计含参S型运动轨迹并获得轨迹含参零点；确定S型运动轨迹的参数；判定参数是否合理；判定残余振荡是否满足要求，确定运动轨迹设计标准。本发明解决了传统精密运动平台运动轨迹规划参数设计仅着眼于运动轨迹的几何光顺忽略了被控对象的柔性特性的问题，且不需要添加额外的减震装置，减少了整体重量，降低了经济成本。
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公开(公告)号：CN116700150A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310860402.8
申请日：2023-07-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/408
Abstract: 精密运动平台点位运动鲁棒轨迹规划系统及其规划方法，属于精密运动平台技术领域。轨迹生成器输出参考S曲线；参考S曲线经柔性系统获得系统输出，柔性系统的共振频率以及系统输出的残余振荡信息共同提供给轨迹生成器以修正参考S曲线。方法如下：设计对称S型运动轨迹，设计S型运动轨迹参数；修整轨迹增强运动轨迹对模型摄动鲁棒性；判定S型运动轨迹设计是否合理；将获得的非对称S曲线输入柔性系统，获得系统输出；按照系统需求判定残余振荡是否满足要求。本发明解决了传统精密运动平台点位运动轨迹规划方法仅关注运动轨迹的几何光顺未考虑被控对象柔性特性的问题，同时解决了传统点位运动轨迹规划方法加减速对称规划增加运动耗时的问题。
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公开(公告)号：CN104965394B
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201510471721.5
申请日：2015-08-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种双工件台系统换台过程控制方法，本发明属于半导体制造装备的技术领域。它的方法步骤为：第一工件台移动到左侧预处理工作位置处；第二工件台移动到右侧曝光工作位置处；第一X向移动平台移动到左侧换卡位置处，第二X向移动平台移动到右侧换卡位置处；公转电机带动第一工件台和第二工件台逆时针旋转180度；第二工件台移动到左侧预处理工作位置处；第一工件台移动到右侧曝光工作位置处；公转电机带动第一工件台和第二工件台顺时针旋转180度。本发明方法采用回转换台方案，与直线换台方案相比，减少了换台过程中对台体的冲击，减少了换台时间，提高了工件台定位精度，对增加光刻机产率起到了至关重要的作用。
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公开(公告)号：CN105068386A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201510561426.9
申请日：2015-09-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种双工件台系统安全保护方法，它属于半导体制造装备的技术领域。它的方法步骤一：在多个多路运动控制卡内分别设置多组字节大小的双口RAM；二：多个多路运动控制卡中的FPGA以200us采样周期，通过VME工控机中的VME自定义总线从信号采集卡获取各电机的位置信息，并存放在相应的双口RAM内；三：嵌入式主控CPU板通过VME总线获取各多路运动控制卡内各电机的位置及位置误差信息；四：上位机通过以太网接收来自嵌入式主控CPU板的数据，并判断数据类型，当该数据为故障代码时，弹出对话框，提示用户出现故障，并显示故障代码。本发明基于VxWorks操作系统与VME总线工作，在系统某一机构发生故障时，利用软件使本机构和其他机构停止运行，保障了双工件台系统的安全运行。
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公开(公告)号：CN116909210B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202310860403.2
申请日：2023-07-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/408
Abstract: 基于频率选择的精密运动平台运动轨迹规划系统及方法，属于精密运动平台技术领域。轨迹生成器输出参考S曲线；参考S曲线经柔性系统获得系统输出，柔性系统的共振频率以及系统输出的残余振荡信息共同提供给轨迹生成器以修正参考S曲线。方法如下：确定参考S曲线的阶次；设计含参S型运动轨迹并获得轨迹含参零点；确定S型运动轨迹的参数；判定参数是否合理；判定残余振荡是否满足要求，确定运动轨迹设计标准。本发明解决了传统精密运动平台运动轨迹规划参数设计仅着眼于运动轨迹的几何光顺忽略了被控对象的柔性特性的问题，且不需要添加额外的减震装置，减少了整体重量，降低了经济成本。
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