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    制造化学机械抛光垫的方法及抛光垫
    11.
    发明授权
    制造化学机械抛光垫的方法及抛光垫 有权

    公开(公告)号：CN1970232B

    公开(公告)日：2010-09-29

    申请号：CN200610172857.7

    申请日：2006-09-15

    Applicant: JSR株式会社

    Inventor： 保坂幸生 ,  田野裕之 ,  西村秀树 ,  志保浩司

    IPC: B24D18/00 ,  B24D17/00 ,  B24B29/02 ,  H01L21/304

    CPC classification number: B24B37/26

    Abstract: 本发明涉及一种制造化学机械抛光垫的方法，其提供了一种完全抑制被抛光表面上形成划痕且具有良好抛光速率的化学机械抛光垫。该方法包括(A)组步骤和(B)组步骤中的任一组，(A)组步骤至少包括以下(A1)至(A5)的步骤：(A1)准备用于形成化学机械抛光垫的组合物的步骤；(A2)将用于形成化学机械抛光垫的组合物模制成垫状体的步骤；(A3)将垫状体安装在切削机圆台上的步骤，该切削机至少具有装配有铣刀的铣削单元、能够标引角度并定位的驱动单元和通过驱动单元转动的圆台；(A4)用铣刀形成第二组槽的步骤；以及(A5)形成第一组槽的步骤，并且(B)组步骤至少包括以下(B1)至(B3)的步骤：(B1)准备用于形成化学机械抛光垫的组合物的步骤；(B2)通过使用具有相应于第二组槽形状的凸起的金属模型，将用于形成化学机械抛光垫的组合物模制成具有第二组槽的垫状体的步骤；以及(B3)形成第一组槽的步骤。

    聚合物、放射线敏感性树脂组合物及液晶显示元件用间隔体
    12.
    发明授权
    聚合物、放射线敏感性树脂组合物及液晶显示元件用间隔体 失效

    公开(公告)号：CN101130577B

    公开(公告)日：2010-08-25

    申请号：CN200610121651.1

    申请日：2006-08-25

    Applicant: JSR株式会社

    Inventor： 一户大吾 ,  米仓勇 ,  志保浩司

    IPC: C08F8/30 ,  G02F1/1339 ,  G03F7/20 ,  G03F7/26

    Abstract: 本发明提供一种放射线敏感性树脂组合物，其特征在于，在曝光量之下也得到充分的间隔体形状，并且可以形成弹性回复性、耐摩擦性、与透明基板的附着性、耐热性等优良，并且在取向膜剥离时充分地显示剥离液耐受性的液晶显示元件用间隔体.该放射线敏感性树脂组合物包含以下成分；使(a1)不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐、(a2)1分子中包含1个以上羟基的不饱和化合物和(a3)其他不饱和化合物的共聚物与特定的异氰酸酯化合物反应而得到的聚合物；(B)聚合性不饱和化合物；和(C)放射线敏感性聚合引发剂。

    化学机械抛光垫、其制造方法以及化学机械抛光方法
    14.
    发明授权
    化学机械抛光垫、其制造方法以及化学机械抛光方法 失效

    公开(公告)号：CN100410017C

    公开(公告)日：2008-08-13

    申请号：CN200510054230.7

    申请日：2005-02-05

    Applicant: JSR株式会社

    Inventor： 冈本隆浩 ,  宫内裕之 ,  河原弘二 ,  志保浩司 ,  长谷川亨 ,  川桥信夫

    IPC: B24D3/22 ,  C08J5/00 ,  B24B37/00 ,  H01L21/304

    Abstract: 一种化学机械抛光垫，包含由(A)苯乙烯聚合物和(B)二烯聚合物构成的非水溶性基质。上述化学机械抛光垫的制造方法，其特征在于制备含有(A)苯乙烯聚合物、(B)二烯聚合物和(C)交联剂的组合物，将上述组合物成形为预定的形状，并在成形的同时或者成形后加热使其固化，以及一种化学机械抛光方法，其特征在于通过上述化学机械抛光垫对被抛光物的被抛光面进行抛光。根据本发明，可以提供一种化学机械抛光垫，其能够优选适用于金属膜的抛光或绝缘膜的抛光、特别是STI技术，在得到平坦的被抛光面的同时，还能达到较高的抛光速度，且具有足够长的寿命。

    感放射线性树脂组合物、间隔物及其形成方法
    17.
    发明公开
    感放射线性树脂组合物、间隔物及其形成方法 失效

    公开(公告)号：CN101078879A

    公开(公告)日：2007-11-28

    申请号：CN200710105178.2

    申请日：2007-05-24

    Applicant: JSR株式会社

    Inventor： 浜口仁 ,  杉龙司 ,  久间俊平 ,  志保浩司 ,  松田健太朗

    IPC: G03F7/004 ,  G03F7/028 ,  G03F7/00 ,  G02F1/1339

    Abstract: 本发明提供一种感放射线性树脂组合物，其特征在于，含有(A)嵌段共聚物、(B)聚合性不饱和化合物、(C)感放射线性聚合引发剂，其中(A)嵌段共聚物具有2个以上的嵌段链段，在其中的至少一个嵌段链段上含有碱可溶性部位。可以容易地形成高感度、高分辨率、并且图案形状、压缩特性、耐摩擦性、与透明基板的密合性等诸性能优异的图案状薄膜，抑制了LCD显示中的烧屏的间隔物形成用感放射线性树脂组合物，由该组合物形成的间隔物以及其形成方法。另外，还提供可以减少液晶滴加量所引起的未填充区域故障、防止在滤光片上由于压力所造成的损伤、克服在工序上产生的厚度偏差的间隔物形成用感放射线性树脂组合物。

    制造化学机械抛光垫的方法
    18.
    发明公开
    制造化学机械抛光垫的方法 有权

    公开(公告)号：CN1970232A

    公开(公告)日：2007-05-30

    申请号：CN200610172857.7

    申请日：2006-09-15

    Applicant: JSR株式会社

    Inventor： 保坂幸生 ,  田野裕之 ,  西村秀树 ,  志保浩司

    IPC: B24D18/00 ,  B24D17/00 ,  B24B29/02 ,  H01L21/304

    CPC classification number: B24B37/26

    Abstract: 本发明涉及一种制造化学机械抛光垫的方法，其提供了一种完全抑制被抛光表面上形成划痕且具有良好抛光速率的化学机械抛光垫。该方法包括(A)组步骤和(B)组步骤中的任一组，(A)组步骤至少包括以下(A1)至(A5)的步骤：(A1)准备用于形成化学机械抛光垫的组合物的步骤；(A2)将用于形成化学机械抛光垫的组合物模制成垫状体的步骤；(A3)将垫状体安装在切削机圆台上的步骤，该切削机至少具有装配有铣刀的铣削单元、能够标引角度并定位的驱动单元和通过驱动单元转动的圆台；(A4)用铣刀形成第二组槽的步骤；以及(A5)形成第一组槽的步骤，并且(B)组步骤至少包括以下(B1)至(B3)的步骤：(B1)准备用于形成化学机械抛光垫的组合物的步骤；(B2)通过使用具有相应于第二组槽形状的凸起的金属模型，将用于形成化学机械抛光垫的组合物模制成具有第二组槽的垫状体的步骤；以及(B3)形成第一组槽的步骤。

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