公开(公告)号：CN101379598B

公开(公告)日：2010-06-23

申请号：CN200780004401.2

申请日：2007-01-30

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 冈本隆浩 ,  桑原力丸 ,  栗山敬祐 ,  辻昭卫

IPC: H01L21/304 ,  B24B37/00

CPC classification number: H01L21/31053 ,  B24B37/24 ,  H01L21/31058 ,  H01L21/3212

Abstract: 本发明的目的在于提供能够在赋予高研磨速度的同时，充分地抑制被研磨面的刮痕的发生，且对于研磨量能够实现高度的被研磨面内均匀性的化学机械研磨垫。上述目的通过研磨层的表面电阻率为1.0×107～9.9×1013Ω的化学机械研磨垫达成。该研磨层优选由含有(A)体积电阻率为1.0×1013～9.9×1017Ω·cm的高分子基质成分和(B)体积电阻率为1.0×106～9.9×1012Ω·cm的成分的组合物形成。

公开(公告)号：CN100500755C

公开(公告)日：2009-06-17

申请号：CN200510077957.7

申请日：2002-06-27

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 森川明彦 ,  鼎健太郎 ,  中西英雄 ,  前田稔 ,  冈本隆浩

IPC: C08L23/00

CPC classification number: C08L23/142 ,  C08L9/00 ,  C08L23/02 ,  C08L23/0869 ,  C08L23/10 ,  C08L23/16 ,  C08L33/04 ,  C08L53/02 ,  C08L83/04 ,  C08L91/00 ,  C08L2205/035 ,  C08L2207/04 ,  C08L2666/04 ,  C08L2666/02

Abstract: 本发明涉及热塑性弹性体组合物及其制造方法，由于其通过将含有橡胶及烯烃系树脂等的聚合物组合物进行动态交联而构成，且橡胶粒子的平均粒径在特定的范围，因此柔软性及弹性回复性等机械特性和成型加工性的均衡性优异。本发明的热塑性弹性体组合物，其特征在于：在交联剂存在下对含有橡胶、烯烃系树脂、软化剂、(甲基)丙烯酸酯系树脂及马来酰亚胺化合物的聚合物组合物进行动态热处理而形成，其中，当将该橡胶、该烯烃系树脂及该软化剂合计为100质量份时，该马来酰亚胺化合物为0.3～10质量份，该(甲基)丙烯酸系树脂为1～30质量份。

公开(公告)号：CN100486770C

公开(公告)日：2009-05-13

申请号：CN200510068474.0

申请日：2005-04-28

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 保坂幸生 ,  志保浩司 ,  宫内裕之 ,  冈本隆浩 ,  长谷川亨 ,  川桥信夫

IPC: B24B37/04 ,  B24B49/12 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B37/04 ,  B24D18/0009

Abstract: 本发明提供一种化学机械研磨垫，其包括具有研磨面的研磨基体及熔合在该研磨基体上的透光性构件，且以平行于研磨面的面切断该透光性构件时的剖面形状为长径除以短径的值大于1的椭圆形。该研磨垫对于半导体晶圆的研磨面，可不降低研磨性能地透过终点检测用光。

公开(公告)号：CN100410017C

公开(公告)日：2008-08-13

申请号：CN200510054230.7

申请日：2005-02-05

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 冈本隆浩 ,  宫内裕之 ,  河原弘二 ,  志保浩司 ,  长谷川亨 ,  川桥信夫

IPC: B24D3/22 ,  C08J5/00 ,  B24B37/00 ,  H01L21/304

Abstract: 一种化学机械抛光垫，包含由(A)苯乙烯聚合物和(B)二烯聚合物构成的非水溶性基质。上述化学机械抛光垫的制造方法，其特征在于制备含有(A)苯乙烯聚合物、(B)二烯聚合物和(C)交联剂的组合物，将上述组合物成形为预定的形状，并在成形的同时或者成形后加热使其固化，以及一种化学机械抛光方法，其特征在于通过上述化学机械抛光垫对被抛光物的被抛光面进行抛光。根据本发明，可以提供一种化学机械抛光垫，其能够优选适用于金属膜的抛光或绝缘膜的抛光、特别是STI技术，在得到平坦的被抛光面的同时，还能达到较高的抛光速度，且具有足够长的寿命。

公开(公告)号：CN100366669C

公开(公告)日：2008-02-06

申请号：CN200510077956.2

申请日：2002-06-27

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 森川明彦 ,  鼎健太郎 ,  中西英雄 ,  前田稔 ,  冈本隆浩

IPC: C08L23/00

CPC classification number: C08L23/142 ,  C08L9/00 ,  C08L23/02 ,  C08L23/0869 ,  C08L23/10 ,  C08L23/16 ,  C08L33/04 ,  C08L53/02 ,  C08L83/04 ,  C08L91/00 ,  C08L2205/035 ,  C08L2207/04 ,  C08L2666/04 ,  C08L2666/02

Abstract: 本发明涉及热塑性弹性体组合物及其制造方法，由于其通过将含有橡胶及烯烃系树脂等的聚合物组合物进行动态交联而构成，且橡胶粒子的平均粒径在特定的范围，因此柔软性及弹性回复性等机械特性和成型加工性的均衡性优异。本发明的热塑性弹性体组合物，其特征在于：在交联剂存在下，对含有充油橡胶、烯烃系树脂、根据需要配合的后添加软化剂、按照JIS K2283在25℃下测定的粘度不足10000cSt的未改性有机聚硅氧烷、按照JIS K2283在25℃下测定的粘度为等于或大于10000cSt的未改性有机聚硅氧烷及改性有机聚硅氧烷的聚合物组成物进行动态热处理而构成，其中，充油橡胶含有橡胶和软化剂，当将该橡胶和该软化剂合计为100质量%时，该橡胶为30～70质量%，该软化剂为30～70质量%。

公开(公告)号：CN100548576C

公开(公告)日：2009-10-14

申请号：CN200410045172.7

申请日：2004-04-23

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 志保浩司 ,  冈本隆浩 ,  长谷川亨 ,  川桥信夫

IPC: B24B37/04 ,  H01L21/302

CPC classification number: B24B37/24 ,  B24D3/26

Abstract: 一种用于化学机械抛光的抛光垫，其具有优良清除率和能够抛光以获得优良平面性。这种抛光垫包含：(A)70-99.9质量%的交联二烯弹性体和(B)0.1-30质量%的含有酸酐结构的聚合物，以上述化合物(A)和(B)总量为100质量%计，并且其比重为0.9-1.2。

公开(公告)号：CN101379598A

公开(公告)日：2009-03-04

申请号：CN200780004401.2

申请日：2007-01-30

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 冈本隆浩 ,  桑原力丸 ,  栗山敬祐 ,  辻昭卫

IPC: H01L21/304 ,  B24B37/00

CPC classification number: H01L21/31053 ,  B24B37/24 ,  H01L21/31058 ,  H01L21/3212

Abstract: 本发明的目的在于提供能够在赋予高研磨速度的同时，充分地抑制被研磨面的刮痕的发生，且对于研磨量能够实现高度的被研磨面内均匀性的化学机械研磨垫。上述目的通过研磨层的表面电阻率为1.0×107～9.9×1013Ω的化学机械研磨垫达成。该研磨层优选由含有(A)体积电阻率为1.0×1013～9.9×1017Ω·cm的高分子基质成分和(B)体积电阻率为1.0×106～9.9×1012Ω·cm的成分的组合物形成。

公开(公告)号：CN100434464C

公开(公告)日：2008-11-19

申请号：CN02818331.2

申请日：2002-06-27

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 森川明彦 ,  鼎健太郎 ,  中西英雄 ,  前田稔 ,  冈本隆浩

IPC: C08L23/00

CPC classification number: C08L23/16 ,  C08L9/00 ,  C08L23/02 ,  C08L23/0869 ,  C08L23/10 ,  C08L23/14 ,  C08L23/142 ,  C08L33/04 ,  C08L33/12 ,  C08L53/025 ,  C08L83/04 ,  C08L91/00 ,  C08L2205/02 ,  C08L2205/035 ,  C08L2207/04 ,  C08L2207/14 ,  C08L2312/00 ,  C08L2666/04 ,  C08L2666/02

Abstract: 本发明涉及热塑性弹性体组合物，由于其通过将含有橡胶及烯烃系树脂等的聚合物组合物进行动态交联而构成，且橡胶粒子的平均粒径在特定的范围，因此柔软性及弹性回复性等机械特性和成型加工性的均衡性优异。此外，通过使其含有(甲基)丙烯酸酯系树脂和氢化二烯系聚合物，尤其可以成为耐划伤性优异的组合物。此外，通过使其含有马来酰亚胺化合物，尤其可以成为注射熔接性优异的组合物。此外，通过使其含有特定粘度的未改性有机聚硅氧烷和改性有机聚硅氧烷，尤其可以成为初期滑动性及耐久滑动性优异的组合物。

公开(公告)号：CN100398598C

公开(公告)日：2008-07-02

申请号：CN03154996.9

申请日：2003-08-26

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 保坂幸生 ,  冈本隆浩 ,  长谷川亨 ,  川桥信夫 ,  森野克昭

IPC: C08L23/08 ,  C08J5/14 ,  B24D3/28

CPC classification number: B24B37/24 ,  B24D3/28 ,  C08L9/00 ,  C08L23/0853 ,  C08L2666/06 ,  C08L2666/08

Abstract: 本发明涉及研磨垫用组合物以及使用它的研磨垫。目的在于提供成形性及耐磨耗性优异，纵弹性模量的温度依赖性小的研磨垫用组合物以及使用它的研磨垫。本研磨垫用组合物含有非水溶性基质和分散于该非水溶性基质中的水溶性粒子，其中，上述非水溶性基质含有交联乙烯-醋酸乙烯共聚物、和/或不含有交联1，2-聚丁二烯，且相对于上述非水溶性基质全体，含有规定量。

公开(公告)号：CN100358942C

公开(公告)日：2008-01-02

申请号：CN200510077954.3

申请日：2002-06-27

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 森川明彦 ,  鼎健太郎 ,  中西英雄 ,  前田稔 ,  冈本隆浩

IPC: C08L23/00

CPC classification number: C08L23/142 ,  C08L9/00 ,  C08L23/02 ,  C08L23/0869 ,  C08L23/10 ,  C08L23/16 ,  C08L33/04 ,  C08L53/02 ,  C08L83/04 ,  C08L91/00 ,  C08L2205/035 ,  C08L2207/04 ,  C08L2666/04 ,  C08L2666/02

Abstract: 本发明涉及热塑性弹性体组合物及其制造方法，由于其通过将含有橡胶及烯烃系树脂等的聚合物组合物进行动态交联而构成，且橡胶粒子的平均粒径在特定的范围，因此柔软性及弹性回复性等机械特性和成型加工性的均衡性优异。本发明的热塑性弹性体组合物，其特征在于：在交联剂存在下，对含有橡胶、烯烃系树脂、软化剂、按照JISK2283在25℃下测定的粘度不足10000cSt的低粘度未改性有机聚硅氧烷、按照JIS K2283在25℃下测定的粘度为等于或大于10000cSt的高粘度未改性有机聚硅氧烷及改性有机聚硅氧烷的聚合物组合物进行动态热处理而构成。