一种高均质微粒径高纯钌粉及其制备方法

    公开(公告)号:CN114289727A

    公开(公告)日:2022-04-08

    申请号:CN202111501964.0

    申请日:2021-12-09

    Abstract: 本发明公开了一种高均质微粒径高纯钌粉及其制备方法,所述高纯钌粉的由重量百分浓度的钌离子水溶液、沉淀剂和分散保护剂制备得到;所述高纯钌粉纯度≥99.999%,近球形,分散性好,平均粒径<3μm;所述高纯钌粉由前驱体制备、前驱体煅烧、前驱体还原、钌粉纯化工艺制备获得。本发明采用化学液相法通过改变反应条件的一种或几种可以有效低控制反应进程,有效控制反应生成物的粒径、形貌;选择了不参与反应、易溶于水的高分子树脂作为分散保护剂,通过物理吸附作用,能有效控制反应生成物的粒径大小,使形貌趋于球形生长,同时改善分散性,助于获得高均质优分散性的产物。本发明获得具有尺寸稳定的微米粒径钌粉,其尺度在1~3μm之间得到控制。从附图可见钌粒子具有尺度均匀、呈类球形的特点,颗粒间分散性好。

    一种CoCrPt系合金溅射靶材和薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN104032274B

    公开(公告)日:2016-07-20

    申请号:CN201410260448.7

    申请日:2014-06-12

    Abstract: 本发明公开了一种CoCrPt系合金溅射靶材和薄膜及其制备方法,所述CoCrPt系合金溅射靶材包括B元素,B元素的含量为0~20个原子百分比,所述合金靶材包括富Co相和富B相两个物相,其中富B相均匀的分布在富Co相中,所述富Co相的平均晶粒尺寸在20~50μm,富B相的平均晶粒尺寸在0~20μm;所述CoCrPt系合金溅射靶材的制备方法,包括:(1)真空熔炼;(2)热等静压;(3)热机械加工;(4)冷机械加工。使用本发明所述的CoCrPt系合金溅射靶材制备的磁记录介质,所述磁记录介质包括基底层,粘结层,软磁层,中间层和磁记录层,所述磁记录介质的矫顽力为3000~5000Oe,方形度为0.80~095。本发明化学成份均匀且偏离名义成分较小,解决了常规制备工艺中轧制开裂,成品率低,合金靶材化学成份偏离名义成份较多、有害杂质含量偏高等技术问题。

    多孔金属合金结构的一种制备方法

    公开(公告)号:CN104178654A

    公开(公告)日:2014-12-03

    申请号:CN201410418024.9

    申请日:2014-08-20

    Abstract: 本发明公开一种多孔金属合金结构的一种制备方法,属于纳米材料领域。主要解决的技术问题是,采用冷冻干燥技术设计多孔金属合金结构的新型制备方法,并且合成多孔的金属合金纳米结构。其步骤包括:1.将两种或者多种金属盐,与氧化铝纳米粒子按比例混合并溶解成水溶液;2.将该水溶液混合搅拌均匀后,放入液氮中进行快速冷冻;3.将冷冻后的样品放入冷冻干燥器中进行冷冻干燥,形成固体结构;4.将冷冻干燥后的样品放入肼蒸气中进行还原;5.将还原后的固体放入碱性溶液中,去除氧化铝,然后进行清洗和干燥。优点在于可以简单有效的制备多种不同金属比例的合金多孔结构,且可以通过控制氧化铝的尺寸和含量来调控合金结构中孔的尺寸和密度。

    一种大尺寸钌基合金溅射靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN104032270A

    公开(公告)日:2014-09-10

    申请号:CN201410260698.0

    申请日:2014-06-12

    Abstract: 本发明公开了一种大尺寸钌基合金溅射靶材及其制备方法,钌基合金靶材包括Al,Co,Cr等元素中的一种或几种,其余为Ru,钌基合金靶材为圆饼状,其直径不小于100mm,致密度不低于99.5%,且其中心区域与边缘区域的致密度差不超过0.3%,且Ru与其他合金元素形成的第二相均匀的分布在Ru基体相中。所述的钌基合金溅射靶材的制备方法,包括通过气体雾化法制备熔点偏低的脆性相钌基合金粉末,再通过气流磨处理该脆性相获得了细小均匀的合金粉末,最后经粉末烧结制备出直径尺寸在100mm以上的钌基合金靶材,本发明获得的合金靶材杂质含量低,致密度高且均匀,成份分布均匀,晶粒细小均匀,使用该靶材溅射成膜的厚度均匀性,性能稳定以及减少了溅射过程的异常放电现象等。

    一种镍铂合金溅射靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN111286703B

    公开(公告)日:2021-12-10

    申请号:CN202010245239.0

    申请日:2020-03-31

    Abstract: 本发明公开了一种镍铂合金溅射靶材及其制备方法,所述镍铂合金溅射靶材中铂的含量为21~31%原子百分比,镍铂溅射靶材溅射面的(111)面的取向率大于30%,(200)面的取向率小于(111)面且大于20%。所述制备方法包括以下步骤:以4N5镍和铂为原料,配制成铂的含量为21~31%的合金,将合金放入熔炼炉中进行熔炼,待原料熔化后置于浇铸模具中进行浇铸获得铸锭;再将铸锭采用温轧轧制形成坯料后再结晶退火,最后加工成型获得靶材。本发明制备获得了成品率高,稳定性好的含铂为21~31原子%的NiPt合金溅射靶材,通过控制晶粒取向改善了靶材的成膜速率和薄膜性能稳定性,获得了沉积速率和膜厚均匀性较好的NiPt薄膜,大大提高了生产效率,极大节约了成本。

    一种晶粒高定向取向的钌溅射靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN111270210B

    公开(公告)日:2021-11-12

    申请号:CN202010186065.5

    申请日:2020-03-17

    Abstract: 本发明公开了一种晶粒高定向取向的钌溅射靶材及其制备方法,钌溅射靶材呈现(002)晶面高定向取向,致密度不低于99.5%,晶粒尺寸1‑10μm,氧含量100 ppm以内;所述(002)晶面与(101)晶面积分强度比不低于3。所述制备方法包括以下步骤:选择4N及以上纯度,粒度为1‑10μm的钌粉;随后将粉末进行冷压成型;再将冷压成型的锭坯进行低温微波烧结;再将锭坯进行低温真空热压烧结进一步提高致密度;最后机加工获得靶材。本发明采用较低的烧结温度、低温真空热压技术及充氢气形成还原气氛,使得钌溅射靶材性能优异,高致密度和(002)晶面高定向取向有助于获得高溅射速率、厚度均匀的钌薄膜,制备工艺简便,条件温和易于操控,而且可大大提高生产效率,极大地节约制备成本。

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