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公开(公告)号：CN111208498A
公开(公告)日：2020-05-29
申请号：CN201911141035.6
申请日：2019-11-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供了一种能够容易地进行制造的超声波元件及超声波装置。超声波元件的特征在于，具备：配置成3行3列的格子状的9个超声波阵列单元；对于各超声波阵列单元输入输出驱动信号的9个驱动旁路布线；被施加共通电位且与8个超声波阵列单元连接的第一共通旁路布线；与未连接有第一共通旁路布线的超声波阵列单元连接的第二共通旁路布线；以及使第一共通旁路布线和第二共通旁路布线连接的第三共通旁路布线。在相邻配置的超声波阵列单元之间配置有驱动旁路布线、第一共通旁路布线以及第二共通旁路布线中的任意一个。第三共通旁路布线配置在与连接有第二共通旁路布线的超声波阵列单元相邻配置的超声波阵列单元的内部。
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公开(公告)号：CN108878637A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201810418879.X
申请日：2018-05-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/047 , H01L41/053 , H01L41/23 , H01L41/25 , H01L41/29
CPC classification number: B06B1/067 , A61B8/14 , A61B8/4427 , A61B8/4455 , A61B8/4494 , B06B1/0629 , B06B2201/76 , G01N29/245 , G01N2291/02466 , G01N2291/02475 , H01L24/13 , H01L24/16 , H01L24/81 , H01L41/0475 , H01L41/053 , H01L41/0825 , H01L41/23 , H01L41/29 , H01L2224/13644 , H01L2224/13655 , H01L2224/81193 , H01L2224/81424 , H01L2224/81439 , H01L2224/81444 , H01L2224/81447 , H01L2224/81455 , H01L2224/81464 , H01L2224/81466 , H01L2224/81471 , H01L2224/81484 , H01L2224/81901 , H01L2924/14 , H01L2924/01074 , H01L2924/01024 , H01L41/25
Abstract: 本发明涉及安装结构体、超声波器件、超声波探头及超声波装置。安装结构体具备：第一基板，具有设置有功能元件的第一面；配线部，设置在第一面的与功能元件不同的位置上，并连接于功能元件；第二基板，具有与第一面相对的第二面；以及导通部，设置于第二面，与配线部连接，并连接于功能元件，其中，功能元件与第二基板的最短距离比配线部和导通部连接的位置与第二基板的距离更长。
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公开(公告)号：CN103418541B
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201310187662.X
申请日：2013-05-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B06B1/06
CPC classification number: B06B1/0644 , A61B8/4444 , B06B1/0622 , G01S15/02 , G10K9/122 , G10K13/00 , H01L41/053 , H01L41/0825
Abstract: 本发明提供一种超声波换能器、超声波探测器及超声波检查装置。该超声波探测器包括：基板，具有开口；支撑膜，设置在上述基板上、用于封闭上述开口；以及压电元件，设置于开口对应部位，上述开口对应部位是设置于上述支撑膜上、且在从上述基板的厚度方向的俯视观察时与上述开口重叠的区域，其中，上述支撑膜的上述开口对应部位的上述俯视观察时的重心位置的厚度小于上述支撑膜的上述开口对应部位的与上述开口连接的外缘部的厚度。
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公开(公告)号：CN118491833A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410175254.0
申请日：2024-02-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种超声波装置，能够抑制由声音匹配层引起的每个频率的超声波的透过不均匀而高效地输出超声波的。超声波装置具备：振动板，第一面以及与第一面相反的一侧的第二面成为平坦面；声音匹配层，设置在第一面上并与对象物接触；压电元件，设置在第二面上；以及抑制部，在第二面上从法线方向观察形成为框状并以包围压电元件的方式配置，抑制振动板的振动，在将声音匹配层的厚度设为t、将超声波的声速设为V、将从第一面发送的超声波的中心频率设为f的情况下，满足t≤V/f。
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公开(公告)号：CN111715501A
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN202010192790.3
申请日：2020-03-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及微机电系统器件及电子设备。在接合第一部件及第二部件并将用于连通设置于第一部件及第二部件之间的密封空间与外部空间的连通部设置于第二部件时，第一部件和第二部件有可能破损。为此，微机电系统器件具备：第一部件；第二部件，在与所述第一部件之间形成密封空间；以及第三部件，配置于所述第一部件与所述第二部件之间，并接合于所述第一部件及所述第二部件，所述第三部件比所述第一部件及所述第二部件的刚度小，所述第三部件设有连通所述密封空间与外部空间的连通部。
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公开(公告)号：CN111084637A
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201911013466.4
申请日：2019-10-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供了能够得到所期望的声音特性的超声波元件及超声波装置。超声波元件具备：元件基板，具有第一面、与第一面成为表里关系的第二面、贯通第一面至第二面的开口部以及包围开口部的隔壁部；支承膜，设置在元件基板的第一面且覆盖开口部，并具有面对开口部的第三面以及与第三面成为表里关系的第四面；压电元件，设置在支承膜的第四面，在从第三面朝向第四面的膜厚方向进行俯视观察时，配置在支承膜的与开口部重叠的区域；保护板，设置成与支承膜的第四面对置，通过粘合部件经由朝向支承膜突出的梁部接合至支承膜；以及壁部，设置在支承膜的第四面，在梁部和压电元件之间设置成朝向保护板突出。
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公开(公告)号：CN104068894B
公开(公告)日：2018-10-19
申请号：CN201410124604.7
申请日：2014-03-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: A61B8/00
Abstract: 本发明涉及超声波换能器装置、探测器、电子设备及超声波图像装置等。其中，超声波换能器装置的特征在于，具备：多个振动膜配置成阵列状的基体；形成于所述振动膜上的压电元件；形成于所述基体上，在从所述基体的厚度方向观察的俯视观察中配置于所述振动膜的区域内以及所述振动膜的区域外的导电体；在从所述基体的厚度方向观察的俯视观察中，仅在所述振动膜的区域外形成于所述导电体上的第一绝缘膜；在从所述基体的厚度方向观察的俯视观察中仅在所述振动膜的区域内形成，具有比所述第一绝缘膜的膜厚小的膜厚，且形成于至少所述压电元件的一部分上的第二绝缘膜。
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公开(公告)号：CN105310719A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510454923.9
申请日：2015-07-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: A61B8/00
CPC classification number: H01L41/0533 , A61B8/4427 , A61B8/4494 , B06B1/0629 , B06B1/067 , G01N29/2437 , G01N29/262 , G10K11/02 , H01L27/18 , H01L41/0973
Abstract: 本发明提供了超声波设备、探测器、电子设备及超声波图像装置，在基体(21)中，声音整合层(73)形成于各个超声波换能器器件(23)上。在相邻的超声波换能器器件(23)之间，配置有与超声波换能器器件(23)的电极(43)连接的导电体(45)。保护膜(47)覆盖导电体(45)。保护膜(47)具有比声音整合层(73)小的透湿性。配置有壁部(51)，其配置于保护膜(47)上，在有关自基体(21)的高度方向在至少一部分的高度范围内，将相邻的超声波换能器器件(23)上的声音整合层(73)相互分隔，且具有区别于声音整合层(73)的的声阻抗。
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公开(公告)号：CN104545994A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201410563113.2
申请日：2014-10-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: A61B8/4444 , A61B8/4281 , A61B8/4405 , A61B8/4411 , A61B8/4427 , A61B8/4483 , A61B8/4488 , A61B8/4494 , A61B8/461 , B06B1/0622 , B06B1/067 , G10K11/02 , G10K11/30
Abstract: 一种超声波装置、超声波探头、超声波探测器、电子设备以及超声波图像装置。超声波装置的特征在于具备：超声波元件阵列基板，具有进行超声波的发送以及接收中的至少一方的多个超声波元件；声透镜，使所述超声波汇聚；声匹配部，配置于所述超声波元件阵列基板与所述声透镜之间，由树脂形成；以及多个柱状的间隔维持部，配置于所述超声波元件阵列基板与所述声透镜之间，并与所述超声波元件阵列基板和所述声透镜接触。
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公开(公告)号：CN104510497A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201410499407.3
申请日：2014-09-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: A61B8/00
CPC classification number: A61B8/4488 , A61B8/4427 , B06B1/0629 , H01L27/20 , H01L41/081 , H01L41/332 , A61B8/14
Abstract: 本发明提供超声波装置、探测器、电子设备以及超声波图像装置。一种超声波装置，其特征在于，具备：基体，其具有被阵列状地配置的多个开口；多个超声波换能器元件，其分别对应每个所述开口而配置，且分别具有振动膜；以及增强体，从所述基体的厚度方向俯视观察，在相邻的所述振动膜之间的区域中被固定于所述基体，具有比所述基体大的杨氏模量。
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