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公开(公告)号:CN108878637B
公开(公告)日:2023-11-10
申请号:CN201810418879.X
申请日:2018-05-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及安装结构体、超声波器件、超声波探头及超声波装置。安装结构体具备:第一基板,具有设置有功能元件的第一面;配线部,设置在第一面的与功能元件不同的位置上,并连接于功能元件;第二基板,具有与第一面相对的第二面;以及导通部,设置于第二面,与配线部连接,并连接于功能元件,其中,功能元件与第二基板的最短距离比配线部和导通部连接的位置与第二基板的距离更长。
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公开(公告)号:CN110568424B
公开(公告)日:2023-05-05
申请号:CN201910487514.7
申请日:2019-06-05
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 一种超声波装置及电子设备,超声波装置(1)具备向第一方向(13)发送超声波(12)的超声波元件(4)排列而成的基板(2),在超声波元件(4)的第一方向(13)侧配置有降低基板(2)的混响振动的混响降低膜(15),在混响降低膜(15)上相邻的超声波元件之间配置有槽部(18)。
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公开(公告)号:CN109314827A
公开(公告)日:2019-02-05
申请号:CN201780025761.4
申请日:2017-04-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供一种安装结构体、超声波器件、超声波检测头、超声波装置以及电子设备,能容易地进行基板之间的电连接。安装结构体具备:第一基板,具有设置功能元件的第一面;配线部,设置于第一面的与功能元件不同的位置,与功能元件导通;第二基板,具有与第一面相对的第二面;以及导通部,设置于第二面,连接到配线部,与功能元件导通,功能元件与第二基板的最短距离比配线部和导通部连接的位置与第二基板的最大距离长。
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公开(公告)号:CN103418541A
公开(公告)日:2013-12-04
申请号:CN201310187662.X
申请日:2013-05-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B06B1/06
CPC classification number: B06B1/0644 , A61B8/4444 , B06B1/0622 , G01S15/02 , G10K9/122 , G10K13/00 , H01L41/053 , H01L41/0825
Abstract: 本发明提供一种超声波换能器、超声波探测器及超声波检查装置。该超声波探测器包括:基板,具有开口;支撑膜,设置在上述基板上、用于封闭上述开口;以及压电元件,设置于开口对应部位,上述开口对应部位是设置于上述支撑膜上、且在从上述基板的厚度方向的俯视观察时与上述开口重叠的区域,其中,上述支撑膜的上述开口对应部位的上述俯视观察时的重心位置的厚度小于上述支撑膜的上述开口对应部位的与上述开口连接的外缘部的厚度。
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公开(公告)号:CN104545994B
公开(公告)日:2019-04-23
申请号:CN201410563113.2
申请日:2014-10-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 一种超声波装置、超声波探头、超声波探测器、电子设备以及超声波图像装置。超声波装置的特征在于具备:超声波元件阵列基板,具有进行超声波的发送以及接收中的至少一方的多个超声波元件;声透镜,使所述超声波汇聚;声匹配部,配置于所述超声波元件阵列基板与所述声透镜之间,由树脂形成;以及多个柱状的间隔维持部,配置于所述超声波元件阵列基板与所述声透镜之间,并与所述超声波元件阵列基板和所述声透镜接触。
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公开(公告)号:CN104068894A
公开(公告)日:2014-10-01
申请号:CN201410124604.7
申请日:2014-03-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: A61B8/00
CPC classification number: B06B1/0622 , A61B8/4483 , B06B1/0611 , G01N29/44
Abstract: 本发明涉及超声波换能器装置、探测器、电子设备及超声波图像装置等。其中,超声波换能器装置的特征在于,具备:多个振动膜配置成阵列状的基体;形成于所述振动膜上的压电元件;形成于所述基体上,在从所述基体的厚度方向观察的俯视观察中配置于所述振动膜的区域内以及所述振动膜的区域外的导电体;在从所述基体的厚度方向观察的俯视观察中,仅在所述振动膜的区域外形成于所述导电体上的第一绝缘膜;在从所述基体的厚度方向观察的俯视观察中仅在所述振动膜的区域内形成,具有比所述第一绝缘膜的膜厚小的膜厚,且形成于至少所述压电元件的一部分上的第二绝缘膜。
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公开(公告)号:CN104068893A
公开(公告)日:2014-10-01
申请号:CN201410120672.6
申请日:2014-03-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: A61B8/00
CPC classification number: A61B8/4494 , A61B8/4427 , A61B8/5207 , B06B1/0629 , B06B1/0688 , H01L27/20 , H01L41/047 , H01L41/0805 , H01L41/332 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种超声波换能器装置及其制造方法、探测器、电子设备以及超声波图像装置。超起波换能器装置的特征在于,具备多个振动膜配置为阵列状的基体、形成于所述振动膜上的第一电极膜、形成于所述第一电极膜上的压电体膜、形成于所述压电体膜上的第二电极膜以及形成为比所述第一电极膜的膜厚大的膜厚且与所述第一电极膜连接的第一导电膜。
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公开(公告)号:CN111084637B
公开(公告)日:2023-01-03
申请号:CN201911013466.4
申请日:2019-10-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供了能够得到所期望的声音特性的超声波元件及超声波装置。超声波元件具备:元件基板,具有第一面、与第一面成为表里关系的第二面、贯通第一面至第二面的开口部以及包围开口部的隔壁部;支承膜,设置在元件基板的第一面且覆盖开口部,并具有面对开口部的第三面以及与第三面成为表里关系的第四面;压电元件,设置在支承膜的第四面,在从第三面朝向第四面的膜厚方向进行俯视观察时,配置在支承膜的与开口部重叠的区域;保护板,设置成与支承膜的第四面对置,通过粘合部件经由朝向支承膜突出的梁部接合至支承膜;以及壁部,设置在支承膜的第四面,在梁部和压电元件之间设置成朝向保护板突出。
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