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公开(公告)号:CN103959170A
公开(公告)日:2014-07-30
申请号:CN201280059402.8
申请日:2012-11-21
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: C07C39/14 , B05D1/005 , B05D3/007 , B05D3/0254 , B05D3/06 , C07C39/12 , C07C2603/50 , C07C2603/54 , C09D173/00 , G03F7/004 , G03F7/0752 , G03F7/094 , G03F7/11 , G03F7/30 , G03F7/36
Abstract: 本发明涉及一种由化学式1表示的用于硬掩模组合物的单体、包括该单体的硬掩模组合物、以及使用其的图案形成方法。
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公开(公告)号:CN103903962A
公开(公告)日:2014-07-02
申请号:CN201310430739.1
申请日:2013-09-18
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: H01L21/027 , H01L21/02 , H01L21/311
CPC classification number: H01L23/564 , H01L21/02118 , H01L21/02282 , H01L21/0271 , H01L21/0332 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明公开了一种硬掩模组合物和形成图案的方法以及包括该图案的半导体集成电路器件。该硬掩模组合物,其包含:(A)由以下化学式1表示的用于硬掩模组合物的单体,(B)含芳环的聚合物,以及(C)溶剂。在以下化学式1中,A、A′、A″、L、L′、x、y、和z均与说明书中限定的相同。[化学式1]。
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公开(公告)号:CN104823106B
公开(公告)日:2020-12-22
申请号:CN201380059123.6
申请日:2013-10-02
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: C07C65/40 , G03F7/16 , G03F7/11 , G03F7/40 , G03F7/004 , C07C63/26 , G03F7/075 , G03F7/09 , C07C65/32 , G03F7/26 , C07C63/15 , C07C65/34 , G03F1/00 , G03F7/30 , G03F7/36
Abstract: 本发明是关于一种由化学式1表示的用于硬掩膜组合物的单体、一种含有单体的硬掩膜组合物、以及一种使用硬掩膜组合物的图案形成方法。在上述的化学式1中,A、A′、L、L′、X以及n与说明书中所定义的相同。所述用于硬掩膜组合物的单体具有优良的抗化学性以及抗蚀刻性,不会产生逸出气体。
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公开(公告)号:CN104250228A
公开(公告)日:2014-12-31
申请号:CN201410163675.8
申请日:2014-04-22
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: C07D215/14 , C07D311/58 , C07D409/14 , C07D405/10 , C07D333/16 , C07C37/00 , C07C39/17 , C07C39/225 , C07C29/143 , C07C35/21 , C07C213/02 , C07C217/58 , C07C253/30 , C07C255/53 , C07C17/16 , C07C22/04 , C07C319/12 , C07C323/19 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/40 , C07C22/04 , C07C39/12 , C07C39/225 , C07C217/58 , C07C255/53 , C07C323/19 , C07C2601/14 , C07C2603/50 , C07C2603/52 , C07C2603/54 , C07D215/14 , C07D311/58 , C07D333/16 , C07D333/50 , G03F7/09 , G03F7/094 , C07C35/21 , C07C39/17 , C07D405/10 , C07D409/14 , G03F7/00
Abstract: 本发明公开了一种由以下化学式1表示的用于硬掩膜组合物的单体、包括该单体的硬掩膜组合物、以及使用该硬掩膜组合物形成图案的方法。在以下化学式1中,A、A'、A″、L、L'、X、X'、m、和n与在具体实施方式中的定义相同。[化学式1]
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公开(公告)号:CN104024940A
公开(公告)日:2014-09-03
申请号:CN201280065648.6
申请日:2012-11-29
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/11 , G03F1/38 , G03F7/004 , G03F7/26 , H01L21/027
CPC classification number: C07C39/21 , C07C39/225 , C08G65/38 , G03F1/00 , G03F7/094 , G03F7/20 , H01L21/02118 , H01L21/02282 , H01L21/0332 , H01L21/31144
Abstract: 本发明涉及一种由式1表示的用于硬掩模组合物的单体、包含该单体的硬掩模组合物、以及使用该硬掩模组合物形成图案的方法。
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公开(公告)号:CN103910610A
公开(公告)日:2014-07-09
申请号:CN201310535509.1
申请日:2013-11-01
Applicant: 第一毛织株式会社
Abstract: 本发明披露了一种硬掩模组合物的单体、硬掩模组合物及形成图案的方法。具体地,本发明披露了由以下化学式1表示的用于硬掩模组合物的单体、包含该单体的硬掩模组合物、以及利用硬掩模组合物来形成图案的方法。在化学式1中,A1至A4、X1至X3、M和n与在具体实施方式中描述的相同,[化学式1]
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