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公开(公告)号：CN113227805A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201980086066.8
申请日：2019-10-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01R31/302 , G01R31/26 , H01L23/473
Abstract: 本发明的冷却单元用于半导体器件的检查。冷却单元具备用于将半导体器件的热散热的套。在套设置有使来自半导体器件的光通过的光通过部。套具有空间划分面，其在光通过部与半导体器件相对的状态下，与半导体器件相对并在与半导体器件之间划分空间。在套设置有使供给至空间的流体流动的供给流路。
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公开(公告)号：CN112105966A
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN201980030433.2
申请日：2019-04-11
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本公开关于一种包含具备可用以实现薄型化的构造的超颖镜的超颖镜单元等。该超颖镜单元具备超颖镜及超颖镜用保持部。超颖镜具备基部及第1天线部分。第1天线部分由具有第1折射率的多条第1天线、及具有第2折射率且位于多条第1天线之间的第1中间部构成。第1天线部分构成为：由多个第1天线端面中的若干端面构成的一维排列，包含端面的大小、端面的形状、及排列间距的至少任一者沿基线变化的图案。
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公开(公告)号：CN107076957B
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201580051416.9
申请日：2015-09-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B7/027 , G02B7/02 , G02B7/16 , G02B21/0052 , G02B21/02 , G02B21/26 , G02B21/33 , G02B21/361 , G02B21/362
Abstract: 固体浸没透镜保持器(8)具备：第1构件(70)，其具有以球面部(6a)的一部分向物镜(21)侧突出的方式将球面部(6a)配置于内部的第1开口(71)；及第2构件(80)，其具有以抵接面(6f)向与物镜(21)侧相反侧突出的方式将抵接部(6d)配置于内部的第2开口(87)。第1构件(70)具有配置于第1开口(71)的物镜(21)侧的3个板构件(93)。在3个板构件(93)的各个，设置有构成为能够与球面部(6a)接触的突出部(73)。
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公开(公告)号：CN102985866A
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201180030903.9
申请日：2011-06-17
Applicant: 浜松光子学株式会社
Inventor： 寺田浩敏
IPC: G02B21/36
Abstract: 图像生成装置（1）是生成被测定物（A）的图像的图像生成装置，包含：激光光源（3），其射出激光；激光输出控制部（11），其调制激光的强度；激光扫描仪（5），其扫描激光的向被测定物（A）的照射位置；调制图案控制部（15），其以对被测定物（A）照射多个空间调制图案的照明光的方式控制激光输出控制部（11）和激光扫描仪（5）；摄像装置（7），其对对应于多个空间调制图案的照明光的照射而从被测定物（A）发出的观察光进行摄像，从而获得多个图案图像；及图像数据运算部（19），其使用由摄像装置（7）取得的多个图案图像，生成被测定物（A）的高分辨率图像。
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公开(公告)号：CN102947922A
公开(公告)日：2013-02-27
申请号：CN201180031209.9
申请日：2011-06-21
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01N21/9501 , G01N21/01 , H01L21/6838 , H01L21/68757 , H01L21/68785 , H01L22/12
Abstract: 本发明的吸附器（10）包含：主体部，其具有配置形成有半导体器件（D）的半导体晶圆（W）的第1面（13）、及与第1面（13）为相反侧的面的第2面（14），且形成有贯通第1面（13）与第2面（14）的贯通孔（15）；以及透光部，其具有供来自半导体器件（D）的光入射的光入射面（16）、及供自光入射面（16）入射的光出射的光出射面（17），且嵌合于贯通孔（15）。而且，在第1面（13）上形成有用于将半导体晶圆（W）真空吸附而将半导体器件（D）固定于光入射面（16）的第1吸附槽（13a），在第2面（14）上形成有用于将固浸透镜（S）真空吸附而固定于光出射面（17）的第2吸附槽（14a）。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100529831C
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200480007556.8
申请日：2004-03-19
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01N21/1717 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N2021/0342 , G02B21/02 , G02B21/365
Abstract: 一种固浸透镜(1)，具备有球状部(2)和底面部(3)。底面部(3)被安装成贴紧在成为观察对象物的半导体装置的基板(10)。该固浸透镜(1)的底面部(3)形成圆筒形状。由此，观察后可以很容易从观察对象物分离，并且观察时可以使高NA的光束通过，本发明用来获得此种固浸透镜和使用该固浸透镜的显微镜。
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公开(公告)号：CN100388043C
公开(公告)日：2008-05-14
申请号：CN200580001606.6
申请日：2005-02-25
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02B21/00
CPC classification number: G02B21/0016 , G02B21/33 , Y10S359/90
Abstract: 本发明的显微镜和试料观察方法，对于检查对象的半导体器件S，设置：图像取得部(1)、包含物镜(20)的光学系统(2)、和可在包含从半导体器件(S)向物镜20的光轴的插入位置与偏离光轴的待机位置之间移动的固态浸没透镜(SIL3)。而且，以两种控制模式进行观察；第一模式，将(SIL3)配置在待机位置，根据半导体器件(S)的基板的折射率(n0)和厚度(t0)修正焦点和像差；第二模式，将(SIL3)配置在插入位置，根据基板的折射率(n0)、厚度(t0)、(SIL3)的折射率(n1)、厚度(d1)和曲率半径(R1)，修正焦点和像差。由此，可获得易于对半导体器件的微细构造进行解析等必要的试料观察的显微镜和试料观察方法。
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公开(公告)号：CN1875308A
公开(公告)日：2006-12-06
申请号：CN200480032462.6
申请日：2004-10-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B21/33 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N2021/0342 , G02B21/0004
Abstract: 在成为检查对像的试样的半导体器件上滴下含有两亲分子的光学密着液(S104)，并在其上面设置固体浸没透镜(S105)。接着，调整固体浸没透镜的揷入位置(S106)，之后，使光学密着液干燥(S108)，使固体浸没透镜与半导体器件光学性地密着。由此，能够实现向试样的所希望的位置的对位容易，能够将固体浸没透镜光学上确实地密着在试样上的试样观察方法及显微镜等。
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公开(公告)号：CN1739034A
公开(公告)日：2006-02-22
申请号：CN200480002466.X
申请日：2004-01-16
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01R31/302
CPC classification number: G01R31/311
Abstract: 本发明涉及一种利用激光束检查半导体集成电路等试样的缺陷的激光束检查装置。该激光束检查装置，以间接方式检测与通过对于供给恒电流或施加恒电压的试样照射激光束、并使该激光束沿试样表面扫描而产生的该试样的电阻值变化对应的电流变化或电场变化。例如，该电流变化是，以磁场检测装置检测因在设在恒电压源与试样间的电源线路中流动的电流所产生的磁场变化的方式间接测量，且经检测该磁场变化即可确定试样的缺陷位置。
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公开(公告)号：CN114096863B
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202080049599.1
申请日：2020-05-19
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01R31/302 , G01R31/26 , G01N21/956
Abstract: 本发明的半导体器件检查方法具备：检测来自半导体器件(D)中的多个位置的光，取得分别与该多个位置相对应的波形的步骤；自分别与多个位置相对应的波形提取与特定的时序相对应的波形，基于提取的波形生成与特定的时序相对应的图像的步骤；以及基于与特定的时序相对应的图像中的亮度分布相关值提取特征点，基于该特征点，特定半导体器件中的驱动元件的位置的步骤。
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