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公开(公告)号：CN100454184C
公开(公告)日：2009-01-21
申请号：CN200510114015.1
申请日：2005-10-13
Applicant: 欧姆龙株式会社
CPC classification number: H01L21/67248 , G05D23/1935 , H01L21/67103
Abstract: 一种控制方法、温度控制方法、温度调节器，容易地进行用于以抑制温度偏差的均匀的温度对半导体晶圆(1)进行热处理的调整作业。利用温度传感器(6a)～(6c)计测改变各沟道的设定温度时的半导体晶圆(1)的温度变化，将半导体晶圆(1)的各沟道间的干涉程度作为干涉矩阵而预先求出，使用该干涉矩阵的逆矩阵算出校正值，以使半导体晶圆(1)达到所希望的温度，利用该运算值校正设定温度。
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公开(公告)号：CN110270996B
公开(公告)日：2022-06-14
申请号：CN201910026820.0
申请日：2019-01-11
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 本发明提供一种机器人的控制装置以及机器人的控制方法。本发明缩短插入或压入动作总体的许可循环时间。本发明是进行插入或压入动作的机器人的控制装置，包括：测量部，测量距插入或压入动作未正常结束时的修正动作的开始时刻的、经过时间；计算部，自预先设定的修正动作总体的许可时间减去从修正动作的开始到结束为止的时间，算出修正动作总体的剩余时间；比较部，将剩余时间、与作为从修正动作的开始到结束为止的经过时间的动作需要时间进行比较；以及控制部，当剩余时间小于动作需要时间时，在许可时间经过之前，中断修正动作。根据本公开的机器人的控制装置以及控制方法，即便进行修正动作时，也能够缩短插入或压入动作总体的许可循环时间。
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公开(公告)号：CN110270996A
公开(公告)日：2019-09-24
申请号：CN201910026820.0
申请日：2019-01-11
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 本发明提供一种机器人的控制装置以及机器人的控制方法。本发明缩短插入或压入动作总体的许可循环时间。本发明是进行插入或压入动作的机器人的控制装置，包括：测量部，测量距插入或压入动作未正常结束时的修正动作的开始时刻的、经过时间；计算部，自预先设定的修正动作总体的许可时间减去从修正动作的开始到结束为止的时间，算出修正动作总体的剩余时间；比较部，将剩余时间、与作为从修正动作的开始到结束为止的经过时间的动作需要时间进行比较；以及控制部，当剩余时间小于动作需要时间时，在许可时间经过之前，中断修正动作。根据本公开的机器人的控制装置以及控制方法，即便进行修正动作时，也能够缩短插入或压入动作总体的许可循环时间。
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公开(公告)号：CN110248531A
公开(公告)日：2019-09-17
申请号：CN201811492384.8
申请日：2018-12-07
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 本发明在具有细长笔直形状的狭槽的承接部中，以短时间自动插入具有与所述狭槽嵌合的平板状形状且相对较柔软的工件零件的零件插入装置、零件插入方法以及程序。机器人的抓手所具有的一对爪具有彼此接近而夹持工件零件时，使工件零件的特定部分在厚度方向上弯曲或折曲的特定形状。使一对爪彼此接近，使工件零件一面在狭槽的短边方向尺寸的范围内包括特定部分而以在厚度方向上弯曲或折曲的方式弹性变形，一面以使特定部分向外部突出的形态夹持。根据力感传感器的输出通过柔顺性控制，将工件零件的特定部分沿着与前端面垂直的插入方向而插入至狭槽中。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN1661642A
公开(公告)日：2005-08-31
申请号：CN200510051791.1
申请日：2005-02-24
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 一种目标值加工装置(1)，具备：输入表示控制过程的目标值的目标值信号的输入部(1a)；将输入到输入部(1a)的目标值信号整形为适于执行控制过程的调节器(3)的控制处理的信号形状的目标值整形器(6)；将由目标值整形器(6)整形的整形目标值信号输出到调节器(3)的输出部(1b)，从而对调节器(3)丝毫不加改良就能实现复杂的控制过程。
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公开(公告)号：CN110248531B
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN201811492384.8
申请日：2018-12-07
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 本发明在具有细长笔直形状的狭槽的承接部中，以短时间自动插入具有与所述狭槽嵌合的平板状形状且相对较柔软的工件零件的零件插入装置、零件插入方法以及程序。机器人的抓手所具有的一对爪具有彼此接近而夹持工件零件时，使工件零件的特定部分在厚度方向上弯曲或折曲的特定形状。使一对爪彼此接近，使工件零件一面在狭槽的短边方向尺寸的范围内包括特定部分而以在厚度方向上弯曲或折曲的方式弹性变形，一面以使特定部分向外部突出的形态夹持。根据力感传感器的输出通过柔顺性控制，将工件零件的特定部分沿着与前端面垂直的插入方向而插入至狭槽中。
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公开(公告)号：CN110154017A
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201811353841.5
申请日：2018-11-14
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 本发明提供一种输送机跟踪系统及其校准方法，即便是机器人操作的经验少的用户，也可以正确地进行校准。移动设备在预定位置上显示一个或多个图案，并对应于在显示所述一个或多个图案的状态下被触摸，朝控制装置中发送表示此被触摸的触摸位置的信息。控制装置根据移动设备以显示有图案的状态配置在拍摄视场中时的由视觉传感器所得的图像测量结果、移动设备由机器人触摸时的触摸位置、以及移动设备配置在拍摄视场中的状态的位置与由机器人触摸时的位置之间的距离，算出参数集。
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