公开(公告)号：CN105247650A

公开(公告)日：2016-01-13

申请号：CN201480030121.9

申请日：2014-03-12

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  坂诘卓 ,  伊东佑博

IPC: H01J37/244 ,  G01N23/04 ,  G01N23/225 ,  H01J37/20 ,  H01J37/22 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/22 ,  G01N23/046 ,  G01N2223/3307 ,  G01N2223/418 ,  H01J37/10 ,  H01J37/20 ,  H01J37/222 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/261 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/047 ,  H01J2237/10 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/24578 ,  H01J2237/2611 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明的特征为，在透射型电子显微镜中，对决定一次带电粒子束(900)和试样之间的相互关系的矢量参数(θ、E、I)进行控制，取得与多个不同的矢量参数对应的试样的透射带电粒子图像；在检测从试样透射的透射电子或前方散射电子的检测器(500)上直接或经由预定的部件来配置试样。这样即使在使用了焦点深度比光学显微镜大的电子显微镜的情况下，也能够正确地确定试样内部的结构物的三维位置和密度，能够容易地实施针对试样相同的场所的光学显微镜观察和使用了电子显微镜的三维内部结构观察。

公开(公告)号：CN105144337A

公开(公告)日：2015-12-09

申请号：CN201480013221.0

申请日：2014-01-22

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  佐藤贡 ,  内田宪孝 ,  麻生定光 ,  坂诘卓 ,  森下英郎 ,  伊东佑博 ,  大岛卓

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28

CPC classification number: G01N23/2251 ,  G01N23/2204 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/2605

Abstract: 本发明的目的是解决在利用透射带电粒子的观察中试样的设置或取出费时的问题。带电粒子束装置(601)，其特征在于，具有：将一次带电粒子束向试样(6)照射的带电粒子光学镜筒；能够装拆地配置利用在上述试样(6)内部透射或散射而出的带电粒子发光的发光部件(500)或具有该发光部件(500)的试样台(600)的试样载台；以及检测上述发光部件的发光的检测器(503)。

公开(公告)号：CN104520967A

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN201380041386.4

申请日：2013-07-01

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  佐久间宪之 ,  河西晋佐 ,  安岛雅彦 ,  伊东佑博

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/164 ,  H01J2237/2605

Abstract: 在现有的带电粒子线装置中，由于以在隔膜和试样接近的状态检测信号为前提，所以，不是适合在大气压或者与大气压几乎相等的压力的气体环境下观察如非常有凹凸的试样等的装置结构。因此，本发明提供一种带电粒子线装置，具备以将载置试样的空间与带电粒子光学镜筒隔离的方式配置，使一次带电粒子线透过或通过的能装卸的隔膜的带电粒子线装置，其特征在于，检测由一次带电粒子线的照射而从试样放出的二次粒子的检测器配置于载置上述试样的空间内。

公开(公告)号：CN102308357B

公开(公告)日：2014-12-31

申请号：CN201080006680.8

申请日：2010-01-20

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 片根纯一 ,  伊东佑博

IPC: H01J37/18 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/2605

Abstract: 本发明的扫描带电粒子束装置包括样品室(8)和检测器，上述检测器兼具如下功能：在上述样品室被控制为低真空(1Pa～3000Pa)时，对由气体闪烁的发光现象得到的具有图像信息的光(17)中的、至少从真空紫外区域到可见光区域的光进行检测；对由电子和气体分子的级联放大而得到的具有图像信息的离子电流(11、13)进行检测。由此，能够实现能够应对各种样品的观察的装置，而且，通过设计上述检测部的最佳结构，能够对得到的图像赋予附加价值，将该观察图像提供给多种领域的利用者。另外，通过与高真空用检测器一起使用上述检测器，能够与真空模式无关地向各领域的利用者提供图像。

公开(公告)号：CN103348437B

公开(公告)日：2014-10-29

申请号：CN201180065868.4

申请日：2011-12-16

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 富田真一 ,  小竹航 ,  伊东佑博

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/28 ,  H01J37/04 ,  H01J37/153

CPC classification number: H01J37/1478 ,  H01J37/153 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1536 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/2611

Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置，其在连续地修正焦点的同时观察对试样照射倾斜束而取得的倾斜像或左右视差角像时，能够抑制产生的视野偏移。通过在使一次带电粒子束聚焦在试样（10）表面的物镜（7）和使一次带电粒子束倾斜的倾斜角控制用偏转器（53）之间设置的视野修正用对准器（54），以根据倾斜角控制用偏转器（53）的倾斜角、透镜条件、物镜（7）和试样（10）的距离而求出的修正量，与物镜（7）的焦点修正联动地抑制一次带电粒子束的倾斜时产生的视野偏移。

公开(公告)号：CN103871811A

公开(公告)日：2014-06-18

申请号：CN201410087769.1

申请日：2010-01-20

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 片根纯一 ,  伊东佑博

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/2605

Abstract: 本发明的扫描带电粒子束装置包括样品室（8）和检测器，上述检测器兼具如下功能：在上述样品室被控制为低真空（1Pa～3000Pa）时，对由气体闪烁的发光现象得到的具有图像信息的光（17）中的、至少从真空紫外区域到可见光区域的光进行检测；对由电子和气体分子的级联放大而得到的具有图像信息的离子电流（11、13）进行检测。由此，能够实现能够应对各种样品的观察的装置，而且，通过设计上述检测部的最佳结构，能够对得到的图像赋予附加价值，将该观察图像提供给多种领域的利用者。另外，通过与高真空用检测器一起使用上述检测器，能够与真空模式无关地向各领域的利用者提供图像。

公开(公告)号：CN105917437B

公开(公告)日：2017-08-25

申请号：CN201480073481.7

申请日：2014-12-24

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  片根纯一 ,  河西晋佐 ,  伊东佑博

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/18 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/18 ,  H01J37/226 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2608

Abstract: 本发明提供一种能够简便地进行样本内部和表面的观察的带电粒子束装置。本发明的带电粒子束装置在以下模式下动作：根据来自通过被照射透射了样本(6)的内部的透射带电粒子而发光的发光构件(500)的光的检测信号(512)生成透射带电粒子图像的透射带电粒子图像模式；根据因来自样本(6)的二次带电粒子(517)或反射带电粒子而产生的检测信号(518)生成二次带电粒子图像的二次带电粒子图像模式。

公开(公告)号：CN104584181B

公开(公告)日：2017-07-25

申请号：CN201380040935.6

申请日：2013-06-28

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  伊东佑博

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/16 ,  H01J37/00 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/2605

Abstract: 本发明提供一种试样观察方法，其在试样上照射一次带电粒子线，检测由上述照射得到的二次带电粒子信号，并观察上述试样，该试样观察方法的特征在于，使在保持为真空状态的带电粒子光学镜筒内产生的上述一次带电粒子线透过或通过隔膜，该隔膜以使载置上述试样的空间与上述带电粒子光学镜筒隔离的方式配置，检测通过向置于大气压或比大气压稍低的负压状态的规定的气体环境的上述试样照射上述一次带电粒子线而得到的透过带电粒子线。

公开(公告)号：CN103871811B

公开(公告)日：2016-05-11

申请号：CN201410087769.1

申请日：2010-01-20

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 片根纯一 ,  伊东佑博

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/2605

Abstract: 本发明的扫描带电粒子束装置包括样品室（8）和检测器，上述检测器兼具如下功能：在上述样品室被控制为低真空（1Pa～3000Pa）时，对由气体闪烁的发光现象得到的具有图像信息的光（17）中的、至少从真空紫外区域到可见光区域的光进行检测；对由电子和气体分子的级联放大而得到的具有图像信息的离子电流（11、13）进行检测。由此，能够实现能够应对各种样品的观察的装置，而且，通过设计上述检测部的最佳结构，能够对得到的图像赋予附加价值，将该观察图像提供给多种领域的利用者。另外，通过与高真空用检测器一起使用上述检测器，能够与真空模式无关地向各领域的利用者提供图像。

公开(公告)号：CN104798172A

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：CN201380060806.3

申请日：2013-11-26

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  大岛卓 ,  伊东佑博

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/228 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2004 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/20235 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2608 ,  H01J2237/2801

Abstract: 本发明涉及的带电粒子束装置将从带电粒子束显微镜(601)发出的一次带电粒子束，照射于构成试样台(600)的至少一部分的发光部件(500)上配置的试样(6)，通过发光部件(500)检测透射或散射试样(6)内部的带电粒子，从而取得带电粒子显微镜图像，同时将试样(6)配置于试样台(600)的状态下利用光学显微镜(602)取得光学显微镜图像。