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公开(公告)号：CN101112000B
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN200680003626.1
申请日：2006-09-25
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H04B1/38 , H04L27/227
CPC classification number: H04L27/2272 , H03C3/0966 , H03D3/242 , H04B1/38 , H04L27/2273 , H04L2027/0016 , H04L2027/0022 , H04L2027/0055 , H04W56/00 , H04W88/02 , Y02D70/1222 , Y02D70/40
Abstract: 接收器具有：第一电压控制振荡器，其被配置为产生第一振荡信号；第二电压控制振荡器，其被配置为产生具有第一相位的第二振荡信号；第一相位比较器，其被配置为检测第一与第二振荡信号之间的相位差；解调器，其被配置为进行被接收信号的解调处理，并产生包含在第一振荡信号中的第二相位的定时信息；第二相位比较器，其被配置为检测第一与第二振荡信号之间的相位差；第一控制电压发生器，其被配置为基于由第二相位比较器检测得到的相位差产生用于控制第二电压控制振荡器的相位与频率的第一控制电压。
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公开(公告)号：CN101093966B
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN200710112193.X
申请日：2007-06-21
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01H57/00 , H01G5/16 , H01H2057/006
Abstract: 本发明可以提供一种压电驱动MEMS装置，该压电驱动MEMS装置使动作端和固定电极之间的距离保持恒定而不管残余应变是大是小，并且具有再现性和可靠性良好的机构。均具有折叠梁结构的两个压电驱动致动器平行并且以线对称方式布置，并且在动作端附近彼此连接。
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公开(公告)号：CN101373811A
公开(公告)日：2009-02-25
申请号：CN200810213322.9
申请日：2008-08-22
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01G5/16 , H01H2057/006 , H01L41/094 , H01L41/0946
Abstract: 本发明提供了压电驱动型MEMS装置及便携终端，其使尽量地增大作用部和固定电极的接触面积成为可能。具备：基板(1)；设置在基板上支持部(2)；设置在基板上的固定电极(11)；和执行器(3)，具有第1电极(4)、第1电极上形成的压电膜(5)和压电膜上形成的第2电极(6)，一端经过支持部固定在基板上，另一端配置为与固定电极相对并变为作用部(10)，作用部被贯穿第1电极、压电膜及第2电极的多个缝隙分割为多个电极部，各电极部的至少一部分与相邻电极部的一部分连接，各电极部可以个别地产生弯曲变形。
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公开(公告)号：CN1652458A
公开(公告)日：2005-08-10
申请号：CN200510006851.8
申请日：2005-01-28
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H03H9/15
CPC classification number: H03H9/02015 , H01H2057/006 , H01L41/0477 , H01L41/094 , H01L41/316 , H01L41/319 , H03H3/02 , H03H9/02094 , H03H9/173 , H03H9/174 , H03H9/175 , H03H9/542 , H03H9/582 , H03H9/605 , H03H2003/021 , H03H2003/023 , H03H2003/025 , Y10T29/42 , Y10T29/435 , Y10T29/49002 , Y10T29/49005 , Y10T29/49117 , Y10T29/49155
Abstract: 一种压电薄膜器件包括设置在衬底上的非晶态金属膜和设置在非晶态金属膜上的压电膜。压电膜的一个晶轴在垂直于非晶态金属的表面的方向上对齐。
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公开(公告)号：CN1750380B
公开(公告)日：2012-04-04
申请号：CN200510103951.2
申请日：2005-09-16
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H02N2/02
CPC classification number: H01H57/00 , H01G5/18 , H01G5/38 , H01H2057/006 , H01L41/094 , H01L41/0946 , H01L41/0953 , Y10S977/837
Abstract: 一种压电致动器，包括第一横梁，第一横梁包括第一底电极，在第一底电极上的第一压电膜，以及在第一压电膜上的第一顶电极，设置在第一横梁的一端并固定在衬底上的固定端，设置在第一横梁的另一端并悬浮在自由空间上的连接端；以及第二横梁，第二横梁包括在连接端连接到第一压电膜的第二压电膜，在第二压电膜下面的第二底电极，以及在第二压电膜上的第二顶电极，设置在第二横梁的一端并悬浮在自由空间上的工作端，该端与设置了连接端的另一端相对；其中固定端与工作端的中心之间的距离比工作端到连接端之间的距离短。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101276707B
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN200810087276.2
申请日：2008-03-26
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01L41/094 , B81B3/001 , B81B2201/014 , H01G5/18 , H01H59/0009 , H01H2057/006 , H01H2059/0072
Abstract: 本发明提供一种MEMS器件和具有所述MEMS器件的便携式通信终端。具体地说，提供一种工作电压低、接触压力大且分离力大的MEMS器件成为可能。一种MEMS器件，包括：衬底；设置在所述衬底上的支撑单元；设置在所述衬底上的固定电极；致动器，其包括第一电极、形成于所述第一电极上的第一压电膜以及形成于所述第一压电膜上的第二电极，利用所述支撑单元将所述致动器的一端固定到所述衬底上，所述致动器在连接所述支撑单元和所述固定电极的方向上延伸，所述第一电极被设置成面对所述固定电极；以及止动器单元，其设置在连接所述支撑单元和所述固定电极的直线上，并且设置在所述衬底上，以面对所述第一电极。
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公开(公告)号：CN101373811B
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN200810213322.9
申请日：2008-08-22
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01G5/16 , H01H2057/006 , H01L41/094 , H01L41/0946
Abstract: 本发明提供了压电驱动型MEMS装置及便携终端，其使尽量地增大作用部和固定电极的接触面积成为可能。具备：基板(1)；设置在基板上支持部(2)；设置在基板上的固定电极(11)；和执行器(3)，具有第1电极(4)、第1电极上形成的压电膜(5)和压电膜上形成的第2电极(6)，一端经过支持部固定在基板上，另一端配置为与固定电极相对并变为作用部(10)，作用部被贯穿第1电极、压电膜及第2电极的多个缝隙分割为多个电极部，各电极部的至少一部分与相邻电极部的一部分连接，各电极部可以个别地产生弯曲变形。
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公开(公告)号：CN100544049C
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200710091368.3
申请日：2007-03-30
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: B81B3/0072 , B81B2201/032 , H01G5/18 , H01H57/00 , H01H2057/006 , H01L41/094
Abstract: 一种MEMS器件包括：具有第一固定端的第一致动器，其包括第一下电极、第一压电膜、以及第一上电极的层叠结构，并且可通过在第一下电极和第一上电极上施加电压而工作；具有第二固定端的第二致动器，其与第一致动器平行设置，并且包括第二下电极、第二压电膜、以及第二上电极的层叠结构，并且可通过在第二下电极和第二上电极上施加电压而工作；以及电路元件，其具有连接到第一致动器的第一作用部分和连接到第二致动器的第二作用部分。
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公开(公告)号：CN101112000A
公开(公告)日：2008-01-23
申请号：CN200680003626.1
申请日：2006-09-25
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H04B1/38 , H04L27/227
CPC classification number: H04L27/2272 , H03C3/0966 , H03D3/242 , H04B1/38 , H04L27/2273 , H04L2027/0016 , H04L2027/0022 , H04L2027/0055 , H04W56/00 , H04W88/02 , Y02D70/1222 , Y02D70/40
Abstract: 接收器具有：第一电压控制振荡器，其被配置为产生第一振荡信号；第二电压控制振荡器，其被配置为产生具有第一相位的第二振荡信号；第一相位比较器，其被配置为检测第一与第二振荡信号之间的相位差；解调器，其被配置为进行被接收信号的解调处理，并产生包含在第一振荡信号中的第二相位的定时信息；第二相位比较器，其被配置为检测第一与第二振荡信号之间的相位差；第一控制电压发生器，其被配置为基于由第二相位比较器检测得到的相位差产生用于控制第二电压控制振荡器的相位与频率的第一控制电压。
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公开(公告)号：CN1750380A
公开(公告)日：2006-03-22
申请号：CN200510103951.2
申请日：2005-09-16
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H02N2/02
CPC classification number: H01H57/00 , H01G5/18 , H01G5/38 , H01H2057/006 , H01L41/094 , H01L41/0946 , H01L41/0953 , Y10S977/837
Abstract: 一种压电致动器，包括第一横梁，第一横梁包括第一底电极，在第一底电极上的第一压电膜，以及在第一压电膜上的第一顶电极，设置在第一横梁的一端并固定在衬底上的固定端，设置在第一横梁的另一端并悬浮在自由空间上的连接端；以及第二横梁，第二横梁包括在连接端连接到第一压电膜的第二压电膜，在第二压电膜下面的第二底电极，以及在第二压电膜上的第二顶电极，设置在第二横梁的一端并悬浮在自由空间上的工作端，该端与设置了连接端的另一端相对；其中固定端与工作端的中心之间的距离比工作端到连接端之间的距离短。
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