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公开(公告)号：CN107271721B
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201710190187.X
申请日：2017-03-27
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01P15/125
Abstract: 公开了高准确度且对温度和老化具有低灵敏度的MEMS加速度传感器。一种加速度传感器，具有：悬置区域(21)，该悬置区域相对于支撑结构(24)可移动；以及感测组件(37)，该感测组件耦合至该悬置区域并且被配置成用于检测该悬置区域相对于该支撑结构的移动。该悬置区域(21)具有在与各自的质心相关联的彼此不同的至少两个构型之间可变的几何形状。该悬置区域(21)由可旋转地锚定至该支撑结构(24)的第一区域(22)以及通过弹性连接元件(25)耦合至该第一区域(22)的第二区域(23)形成，该弹性连接元件被配置成用于允许该第二区域(23)相对于该第一区域(22)相对移动。驱动组件(40)耦合至该第二区域(23)，以便控制该第二区域相对于该第一区域的相对移动。
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公开(公告)号：CN108254706A
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201710515501.7
申请日：2017-06-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开涉及一种具有改进配置的MEMS三轴磁传感器。例如，一种MEMS三轴磁传感器设备(51)设置有感应结构(2)，该感应结构具有：衬底(6)；外部框架(4)，该外部框架内部地限定窗口(5)并且弹性地耦合至第一锚定件(7)，该第一锚定件借助于第一弹性元件(8)相对于该衬底固定；可移动结构(10)，该可移动结构被安排在悬置在该衬底上方的该窗口中、借助于第二弹性元件(12)弹性地耦合至该外部框架并且承载用于流过电流(I)的导电路径(P)；以及弹性安排(22，24)，该弹性安排操作性地耦合至该可移动结构。该可移动结构由于该第一弹性元件和该第二弹性元件以及弹性元件的该安排而执行：响应于源自第一磁场分量(Bx)的洛伦兹力的第一感应移动、响应于源自第二磁场分量(By)的洛伦兹力的第二感应移动、以及响应于源自第三磁场分量(Bz)的洛伦兹力的第三感应移动；该第一、第二和第三感应移动是不同的并且与彼此去耦。
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公开(公告)号：CN115435777A
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202210625074.9
申请日：2022-06-02
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C21/16
Abstract: 本公开的实施例涉及惯性测量电路、对应的装置以及方法。在一个实施例中，一种电路包括：惯性测量单元，被配置为经由由驱动电路装置提供的驱动信号振荡；锁相放大器，被配置为从惯性测量单元接收感测信号和作为驱动信号的函数的参考解调信号，并且基于感测信号提供惯性测量信号，其中参考解调信号受可变相位误差的影响；相位计电路装置，被配置为接收驱动信号和感测信号，并且作为驱动信号和感测信号之间的相位差的函数来提供；用于所述参考解调信号的相位校正信号和校正节点，所述校正节点被配置为将所述相位校正信号应用于所述参考解调信号，使得响应于将所述相位校正信号应用于所述参考解调信号，所述相位误差被保持在参考值附近。
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公开(公告)号：CN109444466B
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN201810996348.9
申请日：2018-08-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 本申请涉及FM惯性传感器和用于操作FM惯性传感器的方法。传感器包括：第一和第二检验质量块；第一和第二电容器，被形成在第一和第二固定电极与第一检验质量块之间；第三和第四电容器，被形成在第三和第四固定电极与第二检验质量块之间；驱动组件，被配置为引起第一和第二检验质量块的反相振荡；偏置电路，被配置为偏置第一和第三电容器以在第一时间间隔中生成振荡频率的第一变化，以及偏置第二和第四电容器以在第二时间间隔中生成振荡频率的第二变化；感测组件，被配置为生成差分输出信号，该差分输出信号是在第一时间间隔期间的振荡频率的值与在第二时间间隔期间的振荡频率的值之间的差的函数。这种差分输出信号可与外部加速度的值和方向相关。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109728791A
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201811288309.X
申请日：2018-10-31
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: H03H9/02
Abstract: 本公开涉及相对于温度变化稳定性提高的微机电谐振器系统。MEMS谐振器系统具有微机械谐振结构和电子处理电路，电子处理电路包括第一谐振回路，第一谐振回路激发结构的第一振动模式并且生成在第一谐振频率的第一信号。根据温度变化测量结果，补偿模块补偿由温度变化造成的第一谐振频率的第一变化，以生成在期望频率的时钟信号，期望频率相对于温度是稳定的。电子处理电路还包括第二谐振回路，第二谐振回路激发结构的第二振动模式并且生成在第二谐振频率的第二信号。温度感测模块接收第一和第二信号，并且根据由温度变化造成的第一谐振频率的第一变化和第二谐振频率的第二变化，生成温度变化测量结果。
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公开(公告)号：CN207457474U
公开(公告)日：2018-06-05
申请号：CN201720778011.1
申请日：2017-06-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
CPC classification number: G01R33/0206 , G01R33/0286 , G01R33/038
Abstract: 本公开涉及一种具有改进配置的MEMS三轴磁传感器设备和电子装置。例如，一种MEMS三轴磁传感器设备(51)设置有感应结构(2)，该感应结构具有：衬底(6)；外部框架(4)，该外部框架内部地限定窗口(5)并且弹性地耦合至第一锚定件(7)，该第一锚定件借助于第一弹性元件(8)相对于该衬底固定；可移动结构(10)，该可移动结构被安排在悬置在该衬底上方的该窗口中、借助于第二弹性元件(12)弹性地耦合至该外部框架并且承载用于流过电流(I)的导电路径(P)；以及弹性安排(22，24)，该弹性安排操作性地耦合至该可移动结构。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN211378010U
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN201922051853.9
申请日：2019-11-25
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: H03L7/181
Abstract: 本公开涉及时钟发生器。在一个实施例中，时钟发生器具有可变模量分频器，该可变模量分频器接收高频时钟信号，并且输出分频时钟信号，该分频时钟信号具有由温度补偿电路所生成的模量控制信号控制的频率。抖动滤波器耦合到可变模量分频器的输出并且耦合到温度补偿电路，并且生成补偿时钟信号，该补偿时钟信号具有相对于分频时钟信号被延迟与量化误差信号相关的时间的切换沿。根据本公开的时钟发生器具有小的占用面积和低的功耗水平。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN209043927U
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201821403583.2
申请日：2018-08-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01P15/125 , G01P15/18
Abstract: 本申请涉及惯性传感器和MEMS器件。传感器包括：第一和第二检验质量块；第一和第二电容器，形成在第一和第二固定电极与第一检验质量块之间；第三和第四电容器，形成在第三和第四固定电极与第二检验质量块之间；驱动组件，配置为引起第一和第二检验质量块的反相振荡；偏置电路，配置为偏置第一和第三电容器以在第一时间间隔中生成振荡频率的第一变化，并偏置第二和第四电容器以在第二时间间隔中生成振荡频率的第二变化；感测组件，配置为生成差分输出信号，该差分输出信号是第一时间间隔期间的振荡频率的值与第二时间间隔期间的振荡频率的值之间的差的函数。这种差分输出信号可与外部加速度的值和方向相关。由此提供性能改善的惯性传感器和MEMS器件。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN207601108U
公开(公告)日：2018-07-10
申请号：CN201720310128.7
申请日：2017-03-27
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01P15/125
Abstract: 公开了集成MEMS加速度传感器。一种加速度传感器，具有：悬置区域(21)，该悬置区域相对于支撑结构(24)可移动；以及感测组件(37)，该感测组件耦合至该悬置区域并且被配置成用于检测该悬置区域相对于该支撑结构的移动。该悬置区域(21)具有在与各自的质心相关联的彼此不同的至少两个构型之间可变的几何形状。该悬置区域(21)由可旋转地锚定至该支撑结构(24)的第一区域(22)以及通过弹性连接元件(25)耦合至该第一区域(22)的第二区域(23)形成，该弹性连接元件被配置成用于允许该第二区域(23)相对于该第一区域(22)相对移动。驱动组件(40)耦合至该第二区域(23)，以便控制该第二区域相对于该第一区域的相对移动。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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