-
公开(公告)号：CN103221331B
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201180055792.7
申请日：2011-09-18
Applicant: 快捷半导体公司
Inventor： J·布雷泽克 , 约翰·加德纳·布卢姆斯伯 , C·阿卡
CPC classification number: B81B3/0021 , B81B3/0072 , B81B7/0016 , B81B7/0051 , B81C1/00238 , B81C1/00301 , B81C2201/019 , B81C2203/0785 , H01L29/84 , H01L2224/16145 , H01L2224/16227 , H01L2224/16245 , H01L2224/1703 , H01L2224/32145 , H01L2224/32245 , H01L2224/48247 , H01L2224/73204 , H01L2224/73265 , H01L2924/15151 , H01L2924/181 , H01L2924/00012 , H01L2924/00
Abstract: 一个示例包括：集成电路，其包括至少一个电气互连点，所述至少一个电气互连点布置在远离所述集成电路的主体部分延伸的细长臂上；以及包括振荡部分的微机电层，所述微机电层耦合到所述集成电路的所述主体部分，其中，所述微机电层包括盖帽，所述盖帽包括延伸到所述集成电路的膜。
-
公开(公告)号：CN104272062A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201380007615.0
申请日：2013-01-31
Applicant: 快捷半导体公司
Inventor： C·阿卡
IPC: G01C19/56 , G01C19/5719 , G01C19/5783
CPC classification number: G01C19/5712
Abstract: 本发明公开了各种实例，包括用于对运动进行感应的微机电管芯，所述微机电管芯包括与不对称定子电极交错接合的对称质量块电极。这些实例中的一些包括围绕与所述电极在其中设置的所述平面正交的轴弯曲的电极。一个实例提供垂直挠曲部，所述垂直挠曲部以允许围绕水平轴挠曲的方式将内环架耦合到质量块。
-
公开(公告)号：CN104220840A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201380007588.7
申请日：2013-01-31
Applicant: 快捷半导体公司
Inventor： C·阿卡
IPC: G01C19/56 , G01C19/5783 , G01C19/5769 , B81B7/00
CPC classification number: G01C19/5712
Abstract: 本发明公开了各种实例，包括用于对运动进行感应的微机电管芯，所述微机电管芯包括与不对称定子电极交错接合的对称质量块电极。这些实例中的一些包括围绕与所述电极在其中设置的所述平面正交的轴弯曲的电极。一个实例提供垂直挠曲部，所述垂直挠曲部以允许围绕水平轴挠曲的方式将内环架耦合到质量块。
-
公开(公告)号：CN104105945B
公开(公告)日：2018-01-09
申请号：CN201380007577.9
申请日：2013-01-30
Applicant: 快捷半导体公司
Inventor： C·阿卡 , 约翰·加德纳·布卢姆斯伯
IPC: G01C19/5712 , G01P15/125 , G01P15/18
CPC classification number: G01C19/5712 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/0822
Abstract: 除其他情况之外，本文档讨论了惯性传感器，其包括在器件层的x‑y平面中形成的单个质量块，所述单个质量块包括单个中心锚，所述单个中心锚被配置为使所述单个质量块悬吊在通孔晶片上方。所述惯性传感器还包括在所述惯性传感器相应的第一侧和第二侧上的所述器件层的所述x‑y平面中形成的第一电极定子框架和第二电极定子框架，所述第一电极定子框架和所述第二电极定子框架关于所述单个中心锚对称，并且每个电极定子框架独立地包括中心平台和被配置为将所述中心平台固定到所述通孔晶片上的锚，其中所述第一电极定子框架和所述第二电极定子框架的所述锚沿着所述中心平台相对于所述单个中心锚不对称。
-
公开(公告)号：CN103221333B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201180055630.3
申请日：2011-09-16
Applicant: 快捷半导体公司
Inventor： J·布雷泽克 , 约翰·加德纳·布卢姆斯伯 , C·阿卡
CPC classification number: B81B7/008 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2201/0264 , B81B2207/07 , B81C1/0023 , H01L23/481 , H01L2224/131 , H01L2924/1461 , H05K1/18 , H01L2924/014 , H01L2924/00
Abstract: 本文涉及多晶片微机电系统(MEMS)封装。在一示例中，多晶片MEMS封装可以包括：控制器集成电路(IC)，所述控制器集成电路配置成耦合到电路板；MEMS IC，所述MEMS IC安装到所述控制器IC的第一侧；硅通孔，所述硅通孔穿过所述控制器IC在所述第一侧和所述控制器IC的第二侧之间延伸，所述第二侧与所述第一侧相反；并且其中，所述MEMS IC耦合到所述硅通孔。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103403495B
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201180044919.5
申请日：2011-09-16
Applicant: 快捷半导体公司
Inventor： C·阿卡 , 约翰·加德纳·布卢姆斯伯
IPC: G01C19/5712
Abstract: 一个实例包括用于对动作进行感应的微机电芯片，包括：固定部分；连接到所述固定部分的锚；在所述锚的一侧连接到所述锚的第一非线性悬吊构件；在所述锚的所述一侧连接到所述锚的第二非线性悬吊构件，所述第二非线性悬吊构件具有与所述第一非线性悬吊构件关于锚二等分面成镜像关系的形状和位置；以及平面形的质量块，所述质量块至少部分地由所述第一非线性悬吊构件和所述第二非线性悬吊构件悬吊，从而所述质量块能够围绕所述锚旋转并能够在平行于所述固定部分的平面中滑动。
-
公开(公告)号：CN104220840B
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201380007588.7
申请日：2013-01-31
Applicant: 快捷半导体公司
Inventor： C·阿卡
IPC: G01C19/56 , G01C19/5783 , G01C19/5769 , B81B7/00
CPC classification number: G01C19/5712
Abstract: 本发明公开了各种实例，包括用于对运动进行感应的微机电管芯，所述微机电管芯包括与不对称定子电极交错接合的对称质量块电极。这些实例中的一些包括围绕与所述电极在其中设置的所述平面正交的轴弯曲的电极。一个实例提供垂直挠曲部，所述垂直挠曲部以允许围绕水平轴挠曲的方式将内环架耦合到质量块。
-
公开(公告)号：CN104105945A
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201380007577.9
申请日：2013-01-30
Applicant: 快捷半导体公司
Inventor： C·阿卡 , 约翰·加德纳·布卢姆斯伯
IPC: G01C19/5712 , G01P15/125 , G01P15/18
CPC classification number: G01C19/5712 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/0822
Abstract: 除其他情况之外，本文档讨论了惯性传感器，其包括在器件层的x-y平面中形成的单个质量块，所述单个质量块包括单个中心锚，所述单个中心锚被配置为使所述单个质量块悬吊在通孔晶片上方。所述惯性传感器还包括在所述惯性传感器相应的第一侧和第二侧上的所述器件层的所述x-y平面中形成的第一电极定子框架和第二电极定子框架，所述第一电极定子框架和所述第二电极定子框架关于所述单个中心锚对称，并且每个电极定子框架独立地包括中心平台和被配置为将所述中心平台固定到所述通孔晶片上的锚，其中所述第一电极定子框架和所述第二电极定子框架的所述锚沿着所述中心平台相对于所述单个中心锚不对称。
-
公开(公告)号：CN104094084A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201380007523.2
申请日：2013-01-14
Applicant: 快捷半导体公司
Inventor： C·阿卡
IPC: G01C19/5733 , G01P15/125 , G01P15/18
CPC classification number: G01C19/5733 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/0811 , G01P2015/082 , G01P2015/0848
Abstract: 除了其他情况之外，本发明讨论了用于包括分开z轴部分的质量块的装置和方法。示例性质量块可包括中心部分，其被配置为将所述质量块锚定于相邻层；第一z轴部分，其被配置为使用第一铰链围绕第一轴旋转，所述第一轴平行于与z轴正交的x-y平面；第二z轴部分，其被配置为使用第二铰链围绕第二轴旋转，所述第二轴平行于所述x-y平面，其中所述第一z轴部分被配置为独立于所述第二z轴部分旋转。
-
公开(公告)号：CN103221779B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201180055823.9
申请日：2011-09-18
Applicant: 快捷半导体公司
Inventor： C·阿卡
IPC: G01C19/5712 , G01C19/5755 , G01P15/125 , G01P15/18
CPC classification number: B81B3/0018 , B81C1/00158 , G01C19/5712 , G01C19/5755 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/082 , G01P2015/084
Abstract: 一种六自由度(6‑DOF)惯性测量系统的装置层可包括位于x‑y面的单质量块六轴惯性传感器，所述惯性传感器包括主质量块部件、中心悬置系统和驱动电极，其中，所述主质量块部件悬置于单中心支架上，其所述主质量块部件包括向外朝所述六轴惯性传感器的边缘延伸的放射状部分；所述中心悬置系统被配置为在所述单中心支架上悬置所述六轴惯性传感器；所述驱动电极包括移动部分和固定部分，所述移动部分连接到所述放射状部分上，其中，所述驱动电极和所述中心悬置系统被配置为使所述六轴惯性传感器围绕垂直于x‑y面的z轴以驱动频率振动。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
25
records
(took 0.021 seconds)
