弹性波器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN101114822A

    公开(公告)日:2008-01-30

    申请号:CN200710107738.8

    申请日:2007-04-28

    CPC classification number: H03H9/72 H03H3/08 H03H9/0576 H03H2250/00

    Abstract: 本发明提供弹性波器件及其制造方法。本发明公开了一种通过在至少两个表面声波器件之间填充树脂而接合所述至少两个表面声波器件来形成的弹性波器件。各个表面声波器件包括:基板、设置在所述基板上的功能部、形成所述功能部的操作所必需的空间部分的凹陷、以及覆盖所述基板的表面的封装,所述至少两个表面声波器件的封装的与通过在所述至少两个表面声波器件之间填充树脂而接合的部分相对应的侧面包括至少一个切去部,并且,所述至少两个表面声波器件的基板的侧面、背面和正面中的每一个的一部分覆盖有第一树脂,并且在所述封装的侧面上的所述至少一个切去部内填充有所述第一树脂。

    声波器件
    19.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101232276B

    公开(公告)日:2010-08-18

    申请号:CN200810003957.6

    申请日:2008-01-23

    CPC classification number: H03H3/08 H01L2224/11

    Abstract: 本发明提供了一种声波器件,其具有以高成品率实现的增强结构。所述声波器件包括:形成在基底上的声波元件;设置在所述基底上以在所述声波元件上方形成空腔的第一密封部分;以及设置在所述第一密封部分上的第二密封部分,其中,所述台阶具有圆化的拐角部分,所述第一密封部分具有第三密封部分和第四密封部分,所述第三密封部分设置在所述基底上以围绕所述声波器件的功能部分,所述第四密封部分设置在所述第三密封部分上以在所述功能部分上方形成所述空腔;并且所述第三密封部分比所述第四密封部分更宽。

Patent Agency Ranking