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公开(公告)号：CN1424820A
公开(公告)日：2003-06-18
申请号：CN02156069.2
申请日：2002-12-13
Applicant: 富士通媒体器件株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/6483 , H03H9/02559
Abstract: 一种表面声波元件，该表面声波元件包括呈梯形布置在一个压电基片上的表面声波(SAW)共振器，从表面声波元件的输入侧观察的第一级的串联臂共振器的共振频率fs1和所有剩余串联臂SAW共振器的平均共振频率fsav满足1.00fsav＞fs1≥0.99fsav。
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公开(公告)号：CN100477313C
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN03108232.7
申请日：2003-03-25
Applicant: 富士通媒体器件株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H01G5/16
Abstract: 本发明公开了一种可调电容器及其制造方法。可调电容器包括衬底、由该衬底支撑的固定电极和可动电极、由衬底支撑并且用来驱动可动电极的压电致动器以及介于固定电极和可动电极之间的介电层。
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公开(公告)号：CN100367666C
公开(公告)日：2008-02-06
申请号：CN02156069.2
申请日：2002-12-13
Applicant: 富士通媒体器件株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/6483 , H03H9/02559
Abstract: 一种表面声波元件，该表面声波元件包括呈梯形布置在一个压电基片上的表面声波(SAW)共振器，从表面声波元件的输入侧观察的第一级的串联臂共振器的共振频率fs1和所有剩余串联臂SAW共振器的平均共振频率fsav满足1.00fsav＞fs1≥0.99fsav。
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公开(公告)号：CN1447453A
公开(公告)日：2003-10-08
申请号：CN03108232.7
申请日：2003-03-25
Applicant: 富士通媒体器件株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H01G5/16
Abstract: 本发明公开了一种可调电容器及其制造方法。可调电容器包括衬底、由该衬底支撑的固定电极和可动电极、由衬底支撑并且用来驱动可动电极的压电致动器以及介于固定电极和可动电极之间的介电层。
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公开(公告)号：CN102054587B
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201010532052.5
申请日：2010-10-27
Applicant: 富士通株式会社
IPC: H01G5/16
Abstract: 本发明涉及可变电容元件、可变电容设备和驱动可变电容元件的方法。可变电容元件包括第一固定电极和第二固定电极，其相互绝缘；可动电极，其设置成面对所述第一固定电极和所述第二固定电极；电介质层，其设置在所述可动电极与所述第一固定电极以及所述第二固定电极之间；第一接线部分，其用于根据所述可动电极的电位将第一驱动电压施加到所述第一固定电极；和第二接线部分，其用于根据所述可动电极的电位将第二驱动电压施加到所述第二固定电极，所述第二驱动电压具有与所述第一驱动电压的极性不同的极性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100547723C
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：CN200610058970.2
申请日：2006-03-09
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H57/00 , H01H2057/006 , H01L41/094 , H01L41/316 , Y10T29/42
Abstract: 一种微移动器件，包括：基础衬底；固定部，其与基础衬底接合；可移动部，其具有连接至固定部的固定端，并沿着基础衬底延伸；以及压电驱动部，其设置在可移动部和固定部与基础衬底相反的一侧上。压电驱动部具有由第一电极膜、第二电极膜以及位于第一和第二电极膜之间的压电膜构成的层叠结构，该第一电极膜与可移动部和固定部接触。可移动部和固定部中的至少一个设置有沿着压电驱动部延伸的沟槽。
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公开(公告)号：CN101276691A
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：CN200810086194.6
申请日：2008-03-18
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01G5/16 , B81B7/008 , B81C99/003 , H01H2059/0018
Abstract: 本发明提供了一种驱动控制微机械装置的设备和方法。在所述驱动控制微机械装置的方法中，所述微机械装置包括两个相对的电极和夹在电极之间的电介质层，在两个所述电极之间提供控制电压，所述控制电压为正极性和负极性交替反转的矩形波形。关于正侧和负侧检测由于提供所述控制电压而通过所述微机械装置的电流，基于检测到的电流，关于所述正侧和负侧获取与所述微机械装置的电容有关的参数。将所述控制电压控制为使得关于所述正侧和负侧获取的所述参数互相一致。这样，在可变电容装置的交换驱动中可抑制电容在正侧与负侧之间的变化。
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公开(公告)号：CN1835188A
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：CN200610058970.2
申请日：2006-03-09
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H57/00 , H01H2057/006 , H01L41/094 , H01L41/316 , Y10T29/42
Abstract: 一种微移动器件，包括：基础衬底；固定部，其与基础衬底接合；可移动部，其具有连接至固定部的固定端，并沿着基础衬底延伸；以及压电驱动部，其设置在可移动部和固定部与基础衬底相反的一侧上。压电驱动部具有由第一电极膜、第二电极膜以及位于第一和第二电极膜之间的压电膜构成的层叠结构，该第一电极膜与可移动部和固定部接触。可移动部和固定部中的至少一个设置有沿着压电驱动部延伸的沟槽。
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公开(公告)号：CN102664102B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201210108857.6
申请日：2010-10-27
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 本发明涉及可变电容元件、可变电容设备和驱动可变电容元件的方法。可变电容元件包括第一固定电极和第二固定电极，其相互绝缘；可动电极，其设置成面对所述第一固定电极和所述第二固定电极；电介质层，其设置在所述可动电极与所述第一固定电极以及所述第二固定电极之间；第一接线部分，其用于根据所述可动电极的电位将第一驱动电压施加到所述第一固定电极；和第二接线部分，其用于根据所述可动电极的电位将第二驱动电压施加到所述第二固定电极，所述第二驱动电压具有与所述第一驱动电压的极性不同的极性。
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公开(公告)号：CN102664102A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201210108857.6
申请日：2010-10-27
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 本发明涉及可变电容元件、可变电容设备和驱动可变电容元件的方法。可变电容元件包括第一固定电极和第二固定电极，其相互绝缘；可动电极，其设置成面对所述第一固定电极和所述第二固定电极；电介质层，其设置在所述可动电极与所述第一固定电极以及所述第二固定电极之间；第一接线部分，其用于根据所述可动电极的电位将第一驱动电压施加到所述第一固定电极；和第二接线部分，其用于根据所述可动电极的电位将第二驱动电压施加到所述第二固定电极，所述第二驱动电压具有与所述第一驱动电压的极性不同的极性。
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