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公开(公告)号：CN1677056A
公开(公告)日：2005-10-05
申请号：CN200510059704.7
申请日：2005-03-29
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: G01P15/123 , B81B3/0051 , B81B2201/0235 , G01C19/56 , G01P1/023 , G01P15/0802 , G01P15/18 , G01P2015/0842
Abstract: 一种惯性传感器，包括：传感部分，其具有由梁支撑的配重，该配重是可运动部分；以及限制配重的可运动范围的配重止动件，该配重止动件以给定间距设置在配重的附近，并成为利用MEMS技术所加工的惯性传感器的衬底的一部分。
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公开(公告)号：CN101274741A
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：CN200810090308.4
申请日：2008-03-28
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体部品株式会社
CPC classification number: G01P15/0802 , B81B3/0008 , B81B2201/0242 , G01C19/5719 , G01P15/125 , G01P15/14
Abstract: 本发明提供一种微移动器件、晶片及其制造方法。该微移动器件通过加工多层结构的材料基板而获得，该多层结构包括：第一层；第二层，在其位于该第一层一侧的表面上具有微细粗糙区；以及中间层，其设置在该第一层与该第二层之间，该微移动器件包括在该第一层中形成的第一结构和在该第二层中形成的第二结构。该第二结构包括经由间隙与第一结构相对的、并在其位于第一结构一侧具有微细粗糙区的部分，且该第二结构相对于该第一结构可相对移位。
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公开(公告)号：CN1904553A
公开(公告)日：2007-01-31
申请号：CN200610107860.0
申请日：2006-07-26
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/5719
Abstract: 一种角速度传感器，包括：第一平衡环部；第二平衡环部，其通过设置在所述第一平衡环部的相对两侧面处的第一扭杆而与所述第一平衡环部连接；框架部，其通过设置在所述第二平衡环部的相对两侧面处的第二扭杆而与所述第二平衡环部连接；第一静电耦合部，设置在所述第一平衡环部的相对两侧面处以使所述第一平衡环部和所述第二平衡环部静电耦合；以及第二静电耦合部，设置在所述第二平衡环部的相对两侧面处以使所述第二平衡环部和所述框架部静电耦合。在所述第一平衡环部中，沿所述第一扭杆的方向的侧面的最大宽度比设置有所述第一扭杆的侧面的宽度大。
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公开(公告)号：CN1766648A
公开(公告)日：2006-05-03
申请号：CN200510068900.0
申请日：2005-05-11
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: B81B7/0048 , B81B3/0072 , B81B2201/0235 , G01D11/30 , G01P1/023 , G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P15/18 , G01P2015/0842
Abstract: 加速度传感器。该加速度传感器减少了噪声，可以解决由于热膨胀系数差异而出现的应力问题。该加速度传感器检测三维坐标系统中的三个轴向的加速度，包括：具有四个侧面的框架，通过半导体基板一体形成；重物部分，位于该框架中；和四个梁部分，分别与四个侧面中的每一个相对应，所述梁部分的一端连接到重物部分上以支撑该重物部分，另一端连接到四个侧面的相应侧面的中心，在四个梁部分的每一个上形成检测元件，该检测元件检测与作用在重物部分上的加速度相对应的梁部分的挠曲；在框架的四个侧面的每一个上形成有接合部分对，在该接合部分对之间形成有间隙；在一个侧面上形成的所述接合部分对之间的间隙相对该侧面的中心对称，并具有预定的长度。
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公开(公告)号：CN101135562A
公开(公告)日：2008-03-05
申请号：CN200710147843.4
申请日：2007-08-30
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 本发明提供了一种振动传感器。该振动传感器包括：具有基座和从该基座延伸的臂的音叉式振动器；用于安装所述音叉式振动器的安装部；以及用于将所述音叉式振动器安装在所述安装部上的多个支撑件。
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公开(公告)号：CN101059347A
公开(公告)日：2007-10-24
申请号：CN200710096500.X
申请日：2007-04-19
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 本发明提供了一种角速度传感器。该角速度传感器包括多个音叉式振动器，这之中的每个音叉式振动器分别包括基部和从该基部延伸的多个臂部，并且所述多个音叉式振动器之间的臂部长度差至少为所述多个音叉式振动器的多个臂部长度的平均值的百分之一。
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公开(公告)号：CN101254894A
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：CN200810074162.4
申请日：2008-02-27
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体部品株式会社
CPC classification number: G01P15/125 , G01C19/5719 , G01P1/023 , G01P15/0802 , H01L23/041 , H01L2924/0002 , Y10T156/1052 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种封装的微型可移动器件及其制造方法，每个微型器件包括微型可移动元件、具有凹部的第一封装部件和具有另一凹部的第二封装部件。该微型可移动元件具有可移动部。根据此方法，制备器件晶片以形成多个微型可移动元件。第一封装晶片被连接至该器件晶片的一个表面，该第一封装晶片中形成有多个在位置上与各可移动元件对应的凹部。形成有多个凹部的第二封装晶片被连接至该器件晶片的另一个表面。最终制成的层叠组件被切割成分离的产品。
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公开(公告)号：CN1928496A
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：CN200610128999.3
申请日：2006-09-06
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 本发明提供了一种角速度传感器。该角速度传感器包括感测角速度的振动器、以及安装有所述振动器的外壳。所述振动器布置在所述外壳中，以使得该振动器的宽度方向与所述外壳的长边方向一致。所述振动器可附着于所述外壳，以使得该振动器相对于垂直方向倾斜。
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公开(公告)号：CN1854684A
公开(公告)日：2006-11-01
申请号：CN200610078626.X
申请日：2006-04-26
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 一种角速度传感器，包括检测角速度的振动器和其上安装有该振动器的外壳。所述振动器沿着所述外壳的对角方向布置。所述角速度传感器包括支撑所述外壳的电路板。所述振动器附接在所述电路板上，以使得所述振动器相对于垂直方向以预定角度倾斜。
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公开(公告)号：CN1773292A
公开(公告)日：2006-05-17
申请号：CN200510084468.4
申请日：2005-07-08
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: G01P15/123 , G01P1/006 , G01P15/18
Abstract: 提供了一种加速度传感器，其抑制了偏移电压的波动并且具有改善的温度特性。该加速度传感器包括：形成在半导体基板中央的重物；形成在重物周边的框架；连接重物和框架的梁或隔膜；检测元件，其形成在梁或隔膜上并且检测与施加的加速度对应的梁或隔膜的弯曲；以及引线，形成在梁或隔膜上并且将所述检测元件的检测输出引导到设置在框架上的焊盘，其中，在梁或隔膜上形成包括与形成在梁或隔膜上的配线引线独立的多个点状图案的伪引线。
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