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公开(公告)号：CN108614395A
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：CN201810437683.5
申请日：2018-05-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开一种基于双轴柔性铰链的直线平行运动机构调整装置；该装置包括从动直线运动部件和从动导向机构，主动直线运动部件装配在主动导向机构上，在主动直线运动部件上通过固定螺钉固装二维调整模块，通过两根安装螺钉将连接座板装配在二维调整模块上，连接座板通过上、下调整定位螺母夹紧定位与从动直线运动部件连接，二维调整模块由偏转方向相互垂直的横向偏转倒角型铰链与纵向偏转倒角型铰链装配构成；本装置提高了曝光装置的稳定可靠性和运动机构的定位精度，及曝光窗口的扫描精度，使用范围光，结构合理、简单，使用可靠。
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公开(公告)号：CN105425549A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201610023014.4
申请日：2016-01-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70733 , G03F7/70716
Abstract: 基于干涉仪测量动线圈磁浮双工件台矢量圆弧换台方法及装置属于半导体制造装备技术，该装置包括支撑框架、平衡质量块、磁浮工件台、工件台测量装置、工件台驱动装置、工件台充电装置，两个工件台工作于测量位和曝光位之间，采用激光干涉仪对工件台位置进行测量，采用双电机曲柄摇杆机构组成的主动补偿结构对平衡质量块进行运动补偿，工件台采用磁悬浮平面电机驱动，双工件台交换过程中，采用平面电机驱动两个工件台实现单节拍弧线快速换台；本发明解决了现有换台方案节拍多、轨迹长、起停环节多、稳定时间长等问题，减少换台环节，缩短了换台时间，提高了光刻机的产率。
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公开(公告)号：CN114296322B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202111648320.4
申请日：2021-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种基于复合结构的准零刚度柔性导向结构，它涉及精密仪器及机械技术领域。本发明解决了现有的柔性导向机构存在无法通过纯柔性机构实现大行程，高精度的导向功能，且无法克服长行程柔性机构产生大变形回弹力带来的控制问题。本发明的直线电机驱动模块的动子与运动部件连接，两组负刚度复合结构组件对称设置在运动部件两侧，负刚度复合结构组件一端与运动部件侧面中部垂直连接，负刚度复合结构组件另一端与一组负刚度簧片固定组件连接，每个中部固定基座与两个中间连接体之间分别连接有一组外层导向结构，每个系统固定结构与两个中间连接体之间均分别通过一组折叠簧片结构连接。本发明在大行程直线运动中满足高精度要求，为光刻机提供高精度直线导向。
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公开(公告)号：CN114153127A
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202111541834.X
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出了一种基于多自由度柔性铰链的微型镜面阵列驱动装置，属于精密仪器及机械技术领域。解决了兼顾运动精度、运动范围、热耗散、尺寸控制的问题。它包括多个驱动单元，多个驱动单元以阵列形式排布，每个驱动单元上端均与镜面相连，所述驱动单元包括外壳、致动器、第一柔性铰链、第二柔性铰链、传动杆和滑块，所述致动器固定在外壳的内部，所述致动器与滑块相连，所述第一柔性铰链的一端与滑块相连，另一端与传动杆相连，所述第二柔性铰链一端固定在外壳上，另一端与镜面相连，所述传动杆穿过第二柔性铰链后与镜面相连。它主要用于镜面的驱动。
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公开(公告)号：CN108614395B
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201810437683.5
申请日：2018-05-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开一种基于双轴柔性铰链的直线平行运动机构调整装置；该装置包括从动直线运动部件和从动导向机构，主动直线运动部件装配在主动导向机构上，在主动直线运动部件上通过固定螺钉固装二维调整模块，通过两根安装螺钉将连接座板装配在二维调整模块上，连接座板通过上、下调整定位螺母夹紧定位与从动直线运动部件连接，二维调整模块由偏转方向相互垂直的横向偏转倒角型铰链与纵向偏转倒角型铰链装配构成；本装置提高了曝光装置的稳定可靠性和运动机构的定位精度，及曝光窗口的扫描精度，使用范围光，结构合理、简单，使用可靠。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108627968A
公开(公告)日：2018-10-09
申请号：CN201810437726.X
申请日：2018-05-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开一种多光阑共面的可变狭缝装置；该装置通过4只光阑片首尾相接并构成了矩形的狭缝式窗口，定位刀口平行安装在相邻的光阑片的运刀槽内，狭缝刀口平行安装在相邻的光阑片的定位刀槽内，实现了扫描窗口的4边共面，进而消除了由于边缘衍射对曝光均匀性的影响。本发明可用于建立一种高分辨率、高运动/定位精度的投影式曝光装置。
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公开(公告)号：CN113848684B
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202111110724.8
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及振动抑制领域，公开了一种光刻机掩模台隔振装置，该光刻机掩模台隔振装置包括：掩模台基座，投影物镜套筒，以及连接所述掩模台基座及所述投影物镜套筒的连接装置，其中连接装置为柔性支撑的装置，并且竖直放置的柔性片摆放成等腰三角形形状。本发明的有益效果为：通过柔性连接装置将掩模台基座与投影物镜套筒之间的连接形式从刚性连接转变为柔性连接，并且连接装置的三个支撑组件呈等腰三角形布置，支撑平稳可靠，同时利用竖直放置的柔性片使得连接装置在掩模台水平方向上具有低刚度甚至零刚度的特性，进而在掩模台水平方向上起到隔振效果。
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公开(公告)号：CN114153127B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202111541834.X
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出了一种基于多自由度柔性铰链的微型镜面阵列驱动装置，属于精密仪器及机械技术领域。解决了兼顾运动精度、运动范围、热耗散、尺寸控制的问题。它包括多个驱动单元，多个驱动单元以阵列形式排布，每个驱动单元上端均与镜面相连，所述驱动单元包括外壳、致动器、第一柔性铰链、第二柔性铰链、传动杆和滑块，所述致动器固定在外壳的内部，所述致动器与滑块相连，所述第一柔性铰链的一端与滑块相连，另一端与传动杆相连，所述第二柔性铰链一端固定在外壳上，另一端与镜面相连，所述传动杆穿过第二柔性铰链后与镜面相连。它主要用于镜面的驱动。
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公开(公告)号：CN114198389A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202111351439.5
申请日：2021-11-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种用于工件台微转动的柔性铰链组件，涉及铰链领域。该柔性铰链组件包括第一部件、第二部件和柔性铰链本体，柔性铰链本体包括层叠设置的第一铰链单体和第二铰链单体，第一铰链单体包括两个第一弧形段及第一X形连接段，两个第一弧形段相对间隔布置形成第一缺口；第二铰链单体包括两个第二弧形段及第二X形连接段，两个第二弧形段相对间隔布置形成第二缺口；第一缺口与第二缺口沿层叠方向连通构成缺口空间，第一部件连接于缺口空间一侧的弧形段上，第二部件连接于缺口空间另一侧的弧形段上；第一X形连接段的锐角朝向第一缺口，第二X形连接段的钝角朝向第二缺口。实现了Rz向的精密转动，适应性强，在重复工作条件下的稳定性好。
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公开(公告)号：CN113848684A
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN202111110724.8
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及振动抑制领域，公开了一种光刻机掩模台隔振装置，该光刻机掩模台隔振装置包括：掩模台基座，投影物镜套筒，以及连接所述掩模台基座及所述投影物镜套筒的连接装置，其中连接装置为柔性支撑的装置，并且竖直放置的柔性片摆放成等腰三角形形状。本发明的有益效果为：通过柔性连接装置将掩模台基座与投影物镜套筒之间的连接形式从刚性连接转变为柔性连接，并且连接装置的三个支撑组件呈等腰三角形布置，支撑平稳可靠，同时利用竖直放置的柔性片使得连接装置在掩模台水平方向上具有低刚度甚至零刚度的特性，进而在掩模台水平方向上起到隔振效果。
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