公开(公告)号：CN108646519A

公开(公告)日：2018-10-12

申请号：CN201810436997.3

申请日：2018-05-09

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 吴剑威 ,  张银 ,  彬德尔 ,  温众普 ,  谭久彬

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明公开一种高加速往复运动恒重力补偿装置；该装置的直线运动部件可沿垂向运动配装在导轨上，低摩擦气缸的活塞杆通过解耦单元与直线运动部件连接；该装置可为直线运动部件高加速往复运动提供恒定的重力补偿，具有运动顺畅、结构紧凑、体积小，用途广泛，适用能力强的特点，尤其适合光刻机曝光系统中小空间的高加速往复运动的使用。

公开(公告)号：CN108627968B

公开(公告)日：2019-05-07

申请号：CN201810437726.X

申请日：2018-05-09

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 吴剑威 ,  温众普 ,  张银 ,  彬德尔 ,  崔继文 ,  谭久彬

IPC: G02B26/00 ,  G02B26/10

Abstract: 本发明公开一种多光阑共面的可变狭缝装置；该装置通过4只光阑片首尾相接并构成了矩形的狭缝式窗口，定位刀口平行安装在相邻的光阑片的运刀槽内，狭缝刀口平行安装在相邻的光阑片的定位刀槽内，实现了扫描窗口的4边共面，进而消除了由于边缘衍射对曝光均匀性的影响。本发明可用于建立一种高分辨率、高运动/定位精度的投影式曝光装置。

公开(公告)号：CN108627968A

公开(公告)日：2018-10-09

申请号：CN201810437726.X

申请日：2018-05-09

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 吴剑威 ,  温众普 ,  张银 ,  彬德尔 ,  崔继文 ,  谭久彬

IPC: G02B26/00 ,  G02B26/10

Abstract: 本发明公开一种多光阑共面的可变狭缝装置；该装置通过4只光阑片首尾相接并构成了矩形的狭缝式窗口，定位刀口平行安装在相邻的光阑片的运刀槽内，狭缝刀口平行安装在相邻的光阑片的定位刀槽内，实现了扫描窗口的4边共面，进而消除了由于边缘衍射对曝光均匀性的影响。本发明可用于建立一种高分辨率、高运动/定位精度的投影式曝光装置。

公开(公告)号：CN108663797B

公开(公告)日：2019-05-07

申请号：CN201810437084.3

申请日：2018-05-09

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 温众普 ,  吴剑威 ,  彬德尔 ,  张银 ,  谭久彬

IPC: G02B26/02

Abstract: 本发明公开一种基于气浮导向的狭缝式可变光阑；该装置正面板安装有2个X向驱动控制单元、2个Y向驱动控制单元、2个X向支撑导向单元、2个Y向支撑导向单元及光阑窗口；背面板安装有2个重力补偿单元；光阑窗口由2个X向光阑板、2个Y向光阑板、2个X向从动气浮导轨及2个Y向从动气浮导轨；其中成对的单元相对于系统的光学中心轴oo’旋转对称；该装置包括4个基于气浮原理的支承导向单元，对4个从动导轨进行导向，并通过驱动控制单元与重力补偿单元分别对4个光阑板进行控制，光阑板首尾相接形成了共面的矩形窗口，并最终实现平面内任意范围的扫描；本发明建立了一种兼顾高精度、高稳定性的气浮导向的狭缝式可变光阑。

公开(公告)号：CN108646519B

公开(公告)日：2019-05-07

申请号：CN201810436997.3

申请日：2018-05-09

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 吴剑威 ,  张银 ,  彬德尔 ,  温众普 ,  谭久彬

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明公开一种高加速往复运动恒重力补偿装置；该装置的直线运动部件可沿垂向运动配装在导轨上，低摩擦气缸的活塞杆通过解耦单元与直线运动部件连接；该装置可为直线运动部件高加速往复运动提供恒定的重力补偿，具有运动顺畅、结构紧凑、体积小，用途广泛，适用能力强的特点，尤其适合光刻机曝光系统中小空间的高加速往复运动的使用。

公开(公告)号：CN108663797A

公开(公告)日：2018-10-16

申请号：CN201810437084.3

申请日：2018-05-09

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 温众普 ,  吴剑威 ,  彬德尔 ,  张银 ,  谭久彬

IPC: G02B26/02

Abstract: 本发明公开一种基于气浮导向的狭缝式可变光阑；该装置正面板安装有2个X向驱动控制单元、2个Y向驱动控制单元、2个X向支撑导向单元、2个Y向支撑导向单元及光阑窗口；背面板安装有2个重力补偿单元；光阑窗口由2个X向光阑板、2个Y向光阑板、2个X向从动气浮导轨及2个Y向从动气浮导轨；其中成对的单元相对于系统的光学中心轴oo’旋转对称；该装置包括4个基于气浮原理的支承导向单元，对4个从动导轨进行导向，并通过驱动控制单元与重力补偿单元分别对4个光阑板进行控制，光阑板首尾相接形成了共面的矩形窗口，并最终实现平面内任意范围的扫描；本发明建立了一种兼顾高精度、高稳定性的气浮导向的狭缝式可变光阑。