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公开(公告)号：CN118980860B
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202411168206.5
申请日：2024-08-23
IPC: G01R23/14
Abstract: 本发明公开了一种基于感生荧光效应的425nm波长基准构建方法及装置，涉及跃迁频率测量领域，装置包括，连续可调谐激光器，原子炉，铬原子束，光学频率梳，倍频光路，保偏光纤分束器，保偏光纤合束器，拍频检测光路，光电接收器以及频率计数器；连续可调谐激光器的输出端与保偏光纤分束器的输入端连接；光学频率梳的输出端与倍频光路连接；倍频光路和和保偏光纤分束器的第一输出端分别与光纤合束器的输入端连接；铬原子束经原子炉喷发与保偏光纤分束器的第二输出端发生作用；保偏光纤合束器的输出端与拍频检测光路的输入端连接；拍频检测光路的输出端通过光电接收器与频率计数器的输入端连接。本方法填补了蓝紫光波段波长基准的空白。
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公开(公告)号：CN119126248B
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202411284562.3
申请日：2024-09-13
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明公开了一种基于自溯源光栅的高精度MOEMS相对重力仪，属于检测仪表领域，包括MEMS谐振子、自溯源光栅干涉仪和数据处理模块，所述MEMS谐振子包括折叠梁、固定框架和质量块，所述折叠梁两端与所述固定框架内侧壁连接，所述质量块通过所述折叠梁支撑悬浮于所述固定框架中心，所述自溯源光栅干涉仪包括自溯源光栅和干涉测量读数头，所述自溯源光栅设置在所述质量块上。本发明采用上述的一种基于自溯源光栅的高精度MOEMS相对重力仪，具有极高测量度，并且位移测量可实时溯源，相比于传统MOMES相对重力仪能够提高其位移测量的准确度，减小重力加速度测量的非线性效应。
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公开(公告)号：CN118938605A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202410993763.4
申请日：2024-07-24
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明公开了一种分振幅型准直平顶光束激光干涉光刻系统，属于微纳结构技术领域，包括激光器、第一反射镜、第一半波片、偏振分光棱镜、第二半波片、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、第五反射镜、第六反射镜、条纹锁定系统、激光光束整形系统和干涉系统。本发明采用上述的一种分振幅型准直平顶光束激光干涉光刻系统，光束通过光学系统后形成大面积、能量分布均匀的准直平顶光束，可实现占空比均匀性强的高性能光栅制造，满足高精度的纳米光栅加工需求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118938605B
公开(公告)日：2025-04-29
申请号：CN202410993763.4
申请日：2024-07-24
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明公开了一种分振幅型准直平顶光束激光干涉光刻系统，属于微纳结构技术领域，包括激光器、第一反射镜、第一半波片、偏振分光棱镜、第二半波片、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、第五反射镜、第六反射镜、条纹锁定系统、激光光束整形系统和干涉系统。本发明采用上述的一种分振幅型准直平顶光束激光干涉光刻系统，光束通过光学系统后形成大面积、能量分布均匀的准直平顶光束，可实现占空比均匀性强的高性能光栅制造，满足高精度的纳米光栅加工需求。
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公开(公告)号：CN119245502A
公开(公告)日：2025-01-03
申请号：CN202411278097.2
申请日：2024-09-12
Applicant: 同济大学
IPC: G01B9/02055 , G01B11/02
Abstract: 本发明公开了一种基于自溯源光栅干涉仪校准空气折射率的系统及方法，属于空气折射率测量技术领域。本发明采用上述的一种基于自溯源光栅干涉仪校准空气折射率的系统及方法，采用光栅作为位移测量基准，避免了空气因素对测量数据的干扰，在相同测量环境下比用激光波长作为基准的激光干涉仪更稳定，测得的数据可比性更高，测量重复稳定性更大。避免了传统依赖于大量环境传感器(如温度、湿度、气压传感器)的校准方法，简化校准过程，提高校准效率，校准过程与测量过程并行进行，无需中断测量执行独立的校准操作。在动态变化的测量环境中，能够即时调整校准参数以响应环境的波动，确保测量数据的精确性和可靠性。
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公开(公告)号：CN119125604A
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202411284558.7
申请日：2024-09-13
Applicant: 同济大学
IPC: G01P15/03 , G01P15/097 , G01B11/02
Abstract: 本发明公开了一种基于自溯源光栅的超高线性度MOMES加速度计，属于检测仪表领域，包括MEMS谐振子、自溯源光栅干涉仪和数据处理模块，所述MEMS谐振子包括折叠梁、固定外框和质量块，所述折叠梁外侧壁与所述固定外框内侧壁连接，所述质量块设置在所述折叠梁底部，所述自溯源光栅干涉仪包括自溯源光栅和干涉测量读数头，所述自溯源光栅设置在所述质量块上。本发明采用上述的一种基于自溯源光栅的超高线性度MOMES加速度计，具有极高测量线性度，并且位移测量可实时溯源，相比于传统MOMES加速度计能够提高其位移测量的准确度，减小加速度测量的非线性效应。
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公开(公告)号：CN119105121A
公开(公告)日：2024-12-10
申请号：CN202411227540.3
申请日：2024-09-03
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明公开了一种高衍射效率的直接溯源型光栅制备方法，属于高精密光栅制造领域，包括以下步骤：1)基于高温热蒸发法在真空中产生中性原子束；2)采用激光多普勒冷却降低中性原子束横向运动速度；3)利用激光驻波场对原子束进行会聚，并使其垂直沉积到基板上并形成直接溯源型光栅结构；4)在直接溯源型光栅表面利用热蒸发法依次蒸镀金属膜与保护膜，获得高衍射效率的直接溯源型光栅标准样板。本发明提供了一种高衍射效率的直接溯源型光栅制备方法，能够显著提高直接溯源型光栅的衍射效率，操作简单，同时能够不破坏直接溯源型光栅的自溯源性。
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公开(公告)号：CN118884591A
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202411168208.4
申请日：2024-08-23
Abstract: 本发明公开了一种基于光频梳偏频锁定波长的铬原子光刻光栅制备方法及装置，涉及原子光刻技术领域，装置中光学频率梳的输出端与倍频光路连接；连续可调谐激光器的输出端与保偏光纤分束器的输入端连接；倍频光路和和保偏光纤分束器的第一输出端分别与光纤合束器的输入端连接；保偏光纤合束器的输出端与拍频检测光路的输入端连接；拍频检测光路的输出端通过光电接收器与功分器的输入端连接；频率计数器的输入端与功分器的第一输出端连接；偏频锁定系统的输入端与功分器的第二输出端连接；偏频锁定系统的输出端与连续可调谐激光器的控制输入端连接，本发明在实现原子光刻光栅尺寸拓展的同时保证了光栅的高衍射效率。
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