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公开(公告)号：CN103592714A
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201310484791.5
申请日：2013-10-17
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种易于制备的反射式多通道滤光元件的设计方法。所设计的这种反射式多通道滤光片的基本结构为：从基板侧开始是超宽波段高反射的金属、周期性的高低折射率交替膜堆、极薄的金属膜到入射媒介。该方法利用周期性高低折射率介质材料的一倍频和三倍频之间的透射振荡波纹，结合超宽波段的高反射金属和可以令原透射处指定波长达到高反的金属铬，设计一种多通道的反射滤光元件，并且其通道位置和个数可以通过给定的中心波长和介质折射率确定。不同于传统的对制备要求很高的基于Fabry-Perot结构的窄带多峰的中间层膜系，本发明的中间结构是传统的规整膜系结构，易于制备，且可以根据实际需要调整多通道的个数和位置，制作工艺方便，制作成本低，易于集成，在实际光学薄膜设计中有着重要意义。
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公开(公告)号：CN103018213A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201110288811.2
申请日：2011-09-26
Applicant: 同济大学
IPC: G01N21/59
Abstract: 本发明涉及一种光学薄膜0-70°入射的宽光谱透射率测量方法及装置，其方法具体包括以下步骤：1)测量基板在入射角为0°时的透射率T0°；2)根据1)中测得的透射率T0°计算基板在入射角为α时的S光和P光透射率的理论值和；3)测量基板在入射角为α时的S光和P光透射率的测量值和；4)计算偏振特性因子p；5)用测试样品替换基板，分别测量测试样品在入射角为α时的S光和P光透射率的测量值和；6)计算测试样品S光和P光的透射率TS和TP。与现有技术相比，本发明在理论上消除偏振因素对测量结果的影响，提高了测量精度，而且测量中通过旋转测试样品的入射面来实现在S光和P光之间的切换，降低了对偏振器的精度要求，从而降低了测量成本。
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公开(公告)号：CN102825028A
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201210332348.1
申请日：2012-09-11
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种YCOB晶体抛光表面的清洗方法，具体步骤为：用蘸有丙酮的棉签轻拭YCOB晶体抛光表面，将擦拭后的YCOB晶体置于第一清洗槽中，第一清洗槽中加入碱性溶液对该样品进行清洗，溶液温度为室温；所述碱性溶液体积比为NH4OH：H2O2：H2O=1:8:40；将所得溶液分别在20KHz～60KHz、80KHz～160KHz频率下先后超声2～4分钟；所得样品放置于第二清洗槽中，用去离子水漂洗，去离子水温度为室温；将样品放置第三清洗槽中，第三清洗槽中加入去离子水，分别在20KHz～60KHz、80KHz～160KHz频率下先后超声3～6分钟；取出样品，重复清洗，干燥，即得所需产品。本发明的优点是在达到较高清洗效率、有效去除表面有机污染物和污染颗粒的同时，对YCOB晶体抛光表面不会造成损伤，避免了晶体内部和表面的缺陷产生，保证晶体镀膜后具有高的损伤阈值。
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公开(公告)号：CN119619015A
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN202411739957.8
申请日：2024-11-29
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明公开了一种基于椭偏和紫外可见光谱互校准的介质薄膜测试方法，包括以下步骤：首先拟合椭偏光谱获得折射率和消光系数的初值，对比正常消光系数色散模型，确定异常波段；其次拟合透射光谱，截取对应椭偏仪异常波段的透射光谱折射率和消光系数；然后计算加权因子和平移因子，校准透射光谱在异常波段的折射率和消光系数；最后校正异常波段的椭偏光谱，重新拟合获得校准的折射率和消光系数。本发明采用上述的一种基于椭偏和紫外可见光谱互校准的介质薄膜测试方法，应用紫外可见光谱的结果内标特定波段的椭偏光谱，实现折射率和厚度的准确拟合，从而提高了介质薄膜检测精度。
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公开(公告)号：CN118938421A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202410983252.4
申请日：2024-07-22
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明公开了一种高能激光内通道的气体热效应控制装置，涉及激光技术领域，设置于内通道上，激光内通道包括依次垂直连接的进光段、转折段、输出段，包括波前探测装置和气体散热装置，波前探测装置包括设置于进光段一端的波前探测器和设置于输出段一端的信号光发射器，气体散热装置包括均匀气流单元、控温流道、气流通道和监测装置，若干气流通道均匀分布于内通道的侧壁上，控温流道设置于内通道的侧壁内，控温流道与气流通道间隔分布，均匀气流单元覆盖在气流通道上。本发明采用上述结构的一种用于高能激光内通道的气体热效应控制装置，能够实时探测内通道气体热效应导致的气体热畸变，均匀稳定控制内通道气体的温度，保证光束传输不变性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117991427B
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410284689.9
申请日：2024-03-13
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明公开了一种低损耗、高反射率的193nm薄膜及其制备方法，包括基底、薄膜，所述薄膜设置在所述基底上；膜系结构为Sub/(HL)^n/Air，其中，Sub为薄膜元件基板，Air为出射介质空气，H和L分别为1/4中心波长光学厚度的高折射率材料薄膜层和低折射率材料薄膜层，n为高低折射率材料的膜堆数。本发明采用上述一种低损耗、高反射率的193nm薄膜及其制备方法，能够有效抑制193nm高反射薄膜中的LaF3薄膜的结晶，进而降低反射膜的粗糙度、抑制散射损耗，并提高薄膜的反射率；而且有效提升了电子束蒸发193nm LaF3/AlF3多层高反膜的反射率和成膜质量，同时制作成本低，易于推广，在紫外光刻领域具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN117740332B
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202311552507.3
申请日：2023-11-21
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种双波长光束抖动和指向性的测量装置及方法，该装置包括：激光输出模块：该模块包括He‑Ne激光器和电机，用于电机与待测激光器或He‑Ne激光器连接；能量平衡模块：该模块包括分光镜和衰减片，分光镜设于待测激光器之后，衰减片设于分光镜之后；光斑分离模块：该模块包括楔形棱镜与消色差透镜，楔形棱镜设于分光镜与消色差透镜之间，消色差透镜设于楔形棱镜之后；快门：设于消色差透镜与衰减片之间，用于控制测量启停；CCD：设于衰减片之后，用于分区采集双波长光束的光斑数据，并实时拟合质心，计算双波长光束的抖动性和指向性。与现有技术相比，本发明实现了对双波长光束的指向性与抖动性进行准确、快速的实时测量。
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公开(公告)号：CN117740144B
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202311552508.8
申请日：2023-11-21
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种大口径激光光斑形貌的测量装置及方法，该装置包括：分光镜：设于待测激光器后，用于将待测激光器射出的大口径光束分成两路，分为第一光束和第二光束，分别用于能量监测和光斑形貌采集；能量监测模块：该模块包括依次设于分光镜之后的聚焦透镜、第一快门、第一衰减片和能量计，用于实时监测第一光束的能量波动；光斑形貌采集模块：该模块包括依次设于分光镜之后的第二衰减片、第二快门、CCD和二维电机，用于分区采集第二光束的CCD光斑图像，并基于第一光束的能量将所有分区采集的CCD光斑图像进行归一化后拼接，获得大口径激光光斑形貌。与现有技术相比，本发明具有测量口径大、拼接效果好等优点。
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公开(公告)号：CN115096177A
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202210010441.4
申请日：2022-01-06
Applicant: 同济大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明涉及一种用子光束位置监测激光合束系统光束的装置及方法，所述装置包括光栅、透镜、以及用于检测子束光斑相对位置的相机和计算机；所述相机与计算机连接；激光合束系统发出的激光合束光束依次经过光栅和透镜，并聚焦到相机的相面上。与现有技术相比，本发明通过光学设计的方法保证了子束光斑位置在同一相机上且能够分开，通过实时监测子束的相对位置，确保了激光合束光束中的各个子束光斑位置一直处于给定的范围位置内，从而保证激光合束光束质量。
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公开(公告)号：CN114879356A
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202210388294.4
申请日：2022-04-13
Applicant: 同济大学
IPC: G02B26/02
Abstract: 本发明涉及一种基于光学薄膜性能的激光连续可调衰减方法和装置，方法包括：将原始激光对准镜片进行照射，通过镜片的透射光即为功率衰减后的激光；通过调节所述镜片的角度，调节原始激光的功率衰减程度；装置包括衰减模块和能量吸收桶，所述衰减模块包括镜片、镜片固定组件和精密旋转台，所述精密旋转台的旋转端连接所述镜片固定组件，所述镜片固定在镜片固定组件上，所述原始激光照射所述镜片，形成反射光路和透射光路，所述能量吸收桶位于反射光路上，所述透射光路为功率衰减后的激光。与现有技术相比，本发明具有装置结构简单，易于集成与控制，成本也很低等优点。
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