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公开(公告)号:CN103592714A
公开(公告)日:2014-02-19
申请号:CN201310484791.5
申请日:2013-10-17
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种易于制备的反射式多通道滤光元件的设计方法。所设计的这种反射式多通道滤光片的基本结构为:从基板侧开始是超宽波段高反射的金属、周期性的高低折射率交替膜堆、极薄的金属膜到入射媒介。该方法利用周期性高低折射率介质材料的一倍频和三倍频之间的透射振荡波纹,结合超宽波段的高反射金属和可以令原透射处指定波长达到高反的金属铬,设计一种多通道的反射滤光元件,并且其通道位置和个数可以通过给定的中心波长和介质折射率确定。不同于传统的对制备要求很高的基于Fabry-Perot结构的窄带多峰的中间层膜系,本发明的中间结构是传统的规整膜系结构,易于制备,且可以根据实际需要调整多通道的个数和位置,制作工艺方便,制作成本低,易于集成,在实际光学薄膜设计中有着重要意义。
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公开(公告)号:CN103592714B
公开(公告)日:2015-07-08
申请号:CN201310484791.5
申请日:2013-10-17
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种易于制备的反射式多通道滤光元件的设计方法。所设计的这种反射式多通道滤光片的基本结构为:从基板侧开始是超宽波段高反射的金属、周期性的高低折射率交替膜堆、极薄的金属膜到入射媒介。该方法利用周期性高低折射率介质材料的一倍频和三倍频之间的透射振荡波纹,结合超宽波段的高反射金属和可以令原透射处指定波长达到高反的金属铬,设计一种多通道的反射滤光元件,并且其通道位置和个数可以通过给定的中心波长和介质折射率确定。不同于传统的对制备要求很高的基于Fabry-Perot结构的窄带多峰的中间层膜系,本发明的中间结构是传统的规整膜系结构,易于制备,且可以根据实际需要调整多通道的个数和位置,制作工艺方便,制作成本低,易于集成,在实际光学薄膜设计中有着重要意义。
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