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公开(公告)号:CN109881180A
公开(公告)日:2019-06-14
申请号:CN201910095421.X
申请日:2019-01-31
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/455 , C23C16/52
Abstract: 本发明属于镀膜设备制造领域,并公开了一种用于微纳米颗粒的快速循环原子层沉积设备,该设备由两个直线运动装置和两个回转运动装置首尾相连,组成一个封闭的椭圆形,其中直线运动装置包括沿竖直方向从下到上依次连接的直线振动电机、第一水冷却板、第一支撑板、第一加热片和料槽,料槽的一端为原子层沉积反应区域,并且该区域上方安装有前驱体喷头;回转运动装置包括沿竖直方向从下到上依次连接的回转振动电机、第二水冷却板、第二支撑板、第二加热片和回转运动料槽。本发明能够实现颗粒以稳定的运动速度在料槽中循环运动,并通过控制微纳米颗粒经过原子层沉积反应区域的次数,实现对微纳米颗粒表面薄膜的厚度的控制。
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公开(公告)号:CN109355641A
公开(公告)日:2019-02-19
申请号:CN201811313431.8
申请日:2018-11-06
Applicant: 华中科技大学无锡研究院
IPC: C23C16/455 , C23C16/44
Abstract: 本发明涉及一种无机颜料表面改性的方法,属于工业无机颜料改性技术领域。其通过对无机颜料进行球磨粉碎后将其置于粉末原子层沉积设备中,在适当的反应温度和压力下,选择合适活性与蒸汽压的前驱体交替通入,在无机颜料表面通过活性官能团的交换形成单层化学吸附并完成自限制化学半反应,生成致密的薄膜,对表面的各个部位进行厚度均匀一致的薄膜包覆。本发明采用的原子层沉积生成的纳米薄膜包覆均匀性较高,尤其对于颗粒较小的无机颜料可实现其均匀包覆。本发明通过原子层沉积生成的纳米薄膜结构致密,具有均匀的厚度、优异的一致性,由于其反应机理的特点,可实现对不同粒径的无机颜料的包覆。
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公开(公告)号:CN107502873A
公开(公告)日:2017-12-22
申请号:CN201710945497.8
申请日:2017-09-30
Applicant: 华中科技大学无锡研究院
IPC: C23C16/455
CPC classification number: C23C16/4417 , C23C16/45544
Abstract: 本发明公开了一种粉末包覆原子层沉积装置,其包括粉末容器和反应腔体,反应腔体的一端设置有进源口,进源口中密封设置有用于输入反应气体或载气的进气管,反应腔体的另一端开设有腔门,粉末容器设置于腔门内侧,在动力装置的驱动下可实现旋转,粉末容器上开设有进气孔,进气管通过进气孔进入粉末容器的内腔,反应腔体的内部设置有超声振动杆,粉末容器通过导向装置进入反应腔体后,粉末容器的外侧壁与超声振动杆接触。本发明将旋转方法和超声振动方法相结合,可以利用旋转增大粉末与反应气体的接触概率,也可以利用振动产生的能量解除粉末团聚,使粉末分散,最终在粉末表面包覆均匀致密的薄膜。
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公开(公告)号:CN100432025C
公开(公告)日:2008-11-12
申请号:CN200610125222.1
申请日:2006-12-01
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种金属/陶瓷激光烧结制件的后处理方法。先对待处理的金属/陶瓷激光烧结制件进行脱脂处理和高温烧结;再将高温烧结后的制件附上包套,再放入冷等静压炉,进行加压处理;附包套的方法为:将制件浸入硅橡胶溶液中,在表面均匀附着一层液体后,进行加热烘干处理,使液体在制件表面形成封闭的保护膜;最后对近净成形得到的零件进行后续加工,使零件几何尺寸和形状符合要求。本发明将快速成形技术中的选择性激光烧结(SLS)技术与冷等静压(CIP)技术结合起来,可以成形复杂形状结构、高性能的制件。采用SLS技术,可以成形复杂形状结构的制件,特别是具有复杂的曲面和内部有孔的制件。
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公开(公告)号:CN1970503A
公开(公告)日:2007-05-30
申请号:CN200610125222.1
申请日:2006-12-01
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种金属/陶瓷激光烧结制件的后处理方法。先对待处理的金属/陶瓷激光烧结制件进行脱脂处理和高温烧结;再将高温烧结后的制件附上包套,再放入冷等静压炉,进行加压处理;附包套的方法为:将制件浸入硅橡胶溶液中,在表面均匀附着一层液体后,进行加热烘干处理,使液体在制件表面形成封闭的保护膜;最后对近净成形得到的零件进行后续加工,使零件几何尺寸和形状符合要求。本发明将快速成形技术中的选择性激光烧结(SLS)技术与冷等静压(CIP)技术结合起来,可以成形复杂形状结构、高性能的制件。采用SLS技术,可以成形复杂形状结构的制件,特别是具有复杂的曲面和内部有孔的制件。
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公开(公告)号:CN109576673B
公开(公告)日:2020-02-14
申请号:CN201811502555.0
申请日:2018-12-10
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/455 , B82Y40/00
Abstract: 本发明属于真空镀膜相关技术领域,并公开了一种用于微纳米颗粒充分分散包覆的超声流化原子层沉积装置,其包括载气及反应前驱体供给组件、反应腔体和超声振动组件,其中载气及反应前驱体供给组件为原子层沉积反应提供全区体反应物、载气和吹扫过程中需要的惰性气体;反应腔体作为原子层沉积反应的发生区域,前驱体进入反应腔体部分在基底表面沉积成膜;超声振动组件用于产生超声振动并传递给反应腔体部分,破解微纳米颗粒之间的软团聚,使颗粒在原子层沉积反应过程中处于分散状态,实现薄膜在单个颗粒表面的生长。通过本发明,能够克服大批量粉体颗粒仅在气流作用下无法完全流化分散的缺点,使纳米颗粒在气流和超声振动作用下获得更充分的分散。
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公开(公告)号:CN108715998B
公开(公告)日:2019-08-13
申请号:CN201810614134.0
申请日:2018-06-14
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/455
Abstract: 本发明属于原子层沉积制备仪器相关领域,并公开了一种用于大批量微纳米颗粒包裹的原子层沉积装置,该装置包括颗粒容器和反应腔体,其中反应腔体的下端设置有进源口,进源口中密封设置有用于输入前驱体和载气的进气管;反应腔体的上端开设有腔门,颗粒容器可以自由放置于反应腔体中,或从中取出;颗粒容器下端设有进气孔,进气管通过进气孔进入颗粒容器的内腔。通过本发明,能够有效将气流内循环与外循环的方法相结合,显著增大颗粒间的碰撞及与气体分子的接触概率,提升反应速率和前驱体利用率,实现大批量微纳米颗粒的高质高效包覆。
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公开(公告)号:CN108220917A
公开(公告)日:2018-06-29
申请号:CN201810073257.8
申请日:2018-01-25
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/44
Abstract: 本发明属于原子层沉积设备领域,并具体公开了一种用于纳米颗粒表面包覆的连续原子层沉积设备,包括进料仓、第一反应室、第二反应室和出料仓,进料仓用于控制纳米颗粒进入第一反应室,纳米颗粒在第一反应室中利用超声振动网打散,与第一前驱体反应物发生反应;反应后的纳米颗粒经第一旋转给料装置进入第一清洗室,并通过气体吹扫清洗掉反应副产物;经过清洗后的纳米颗粒送入第二反应室中,并在第二反应室内部利用超声振动网打散,且与第二前驱体反应物发生反应;反应后的纳米颗粒经第二旋转给料装置进入第二清洗室,并通过气体吹扫清洗掉反应副产物,最后送入出料仓中。本发明可实现纳米颗粒表面薄膜的连续均匀沉积,且无团聚现象。
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公开(公告)号:CN101793844A
公开(公告)日:2010-08-04
申请号:CN201010028993.5
申请日:2010-01-15
Applicant: 苏州瑞派宁科技有限公司 , 华中科技大学
CPC classification number: A61B6/508
Abstract: 本发明提供了一种用于小动物PET散射分数测量大鼠模型的制备方法,该方法将大鼠模型的制作分为主圆柱体和辅助芯轴两部分,先制备直径为50mm,长度为150mm的正圆柱体聚乙烯棒,在其上距截面中心17.5mm处,采取两端钻孔的方法沿与其长轴平行方向钻通一个孔径为10mm、长为150mm的偏心圆孔,即制成主圆柱体。再制备三根直径10mm,长50mm,其中心有直径为3.2mm、长为50mm的中心圆孔的辅助芯轴。将三根辅助芯轴依次填充到主圆柱体上的偏心圆孔内即完成制作。因加工中的H/d值大大减小,大大降低了加工难度,容易到达精度要求。加工完成后无需对模型进行拆装制作,操作简单,模型稳定性好,使用寿命长。
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公开(公告)号:CN115644819A
公开(公告)日:2023-01-31
申请号:CN202211386028.4
申请日:2022-11-07
Applicant: 华中科技大学同济医学院附属协和医院
Abstract: 本发明公开了慢性病管理技术领域的一种远程探视居家病人的多功能医疗装置,包括,服务器;所述服务器上设置有病人信息自动采集模块;病人终端;所述病人终端上设置有探视模块一和显示模块一;医护终端;所述医护终端上设置有探视模块二和显示模块二;监测手环;所述探视模块一和探视模块二均为摄像组件;所述摄像组件包括安装板,所述安装板上设置有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的顶部设置有固定块,通过摄像头、麦克风和扬声器、显示模块一和显示模块二,使得医护人员和病人可以互相看到和沟通,以此完成对病人的探视和问诊,通过病人信息自动采集模块,便于采集摄像头前的病人信息,使得病人以往的病情可以通过病情存储模块调出。
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