一种扫描电子显微镜的图像畸变校正方法

    公开(公告)号:CN107590787A

    公开(公告)日:2018-01-16

    申请号:CN201710812587.X

    申请日:2017-09-11

    IPC分类号: G06T5/00

    摘要: 本发明公开一种针对扫描电子显微镜的图像畸变校正方法,属于计算机视觉领域,其包括S1:在预设的时间序列上连续采集图像,建立时间漂移畸变Dd与图像采集时间t的关系Dd(t);S2:根据S1中获得的Dd(t),预先去除漂移畸变,利用拍摄标准标靶获得稀疏图像像素位置信息及对应的畸变向量样本集;S3:建立图像平面的任意一个像素点的像素坐标u与该像素点对应的固有畸变向量l间的关系,进而推算获得成像的固有畸变模型Df;S4:利用S2得到的稀疏位置信息及对应畸变向量样本集,解算畸变模型矩阵Df,结合Df(u)和Dd(t)对图像进行畸变校正。本发明方法分别对扫描电子显微镜图像的两种主要畸变场进行畸变建模及校正,该方法可在实际工程中应用。