一种粉末包覆原子层沉积装置

    公开(公告)号:CN107502873A

    公开(公告)日:2017-12-22

    申请号:CN201710945497.8

    申请日:2017-09-30

    CPC classification number: C23C16/4417 C23C16/45544

    Abstract: 本发明公开了一种粉末包覆原子层沉积装置,其包括粉末容器和反应腔体,反应腔体的一端设置有进源口,进源口中密封设置有用于输入反应气体或载气的进气管,反应腔体的另一端开设有腔门,粉末容器设置于腔门内侧,在动力装置的驱动下可实现旋转,粉末容器上开设有进气孔,进气管通过进气孔进入粉末容器的内腔,反应腔体的内部设置有超声振动杆,粉末容器通过导向装置进入反应腔体后,粉末容器的外侧壁与超声振动杆接触。本发明将旋转方法和超声振动方法相结合,可以利用旋转增大粉末与反应气体的接触概率,也可以利用振动产生的能量解除粉末团聚,使粉末分散,最终在粉末表面包覆均匀致密的薄膜。

    一种粉末包覆原子层沉积装置

    公开(公告)号:CN107502873B

    公开(公告)日:2019-02-15

    申请号:CN201710945497.8

    申请日:2017-09-30

    Abstract: 本发明公开了一种粉末包覆原子层沉积装置,其包括粉末容器和反应腔体,反应腔体的一端设置有进源口,进源口中密封设置有用于输入反应气体或载气的进气管,反应腔体的另一端开设有腔门,粉末容器设置于腔门内侧,在动力装置的驱动下可实现旋转,粉末容器上开设有进气孔,进气管通过进气孔进入粉末容器的内腔,反应腔体的内部设置有超声振动杆,粉末容器通过导向装置进入反应腔体后,粉末容器的外侧壁与超声振动杆接触。本发明将旋转方法和超声振动方法相结合,可以利用旋转增大粉末与反应气体的接触概率,也可以利用振动产生的能量解除粉末团聚,使粉末分散,最终在粉末表面包覆均匀致密的薄膜。

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